本实用新型专利技术公开一种平面靶材绑定整平装置，用于将平面靶材及附着平板靶材的铜背板绑定时整平用，而所述铜背板放置于平面桌上，该绑定整平装置包括绑定架及整平块，所述整平块放置在附着有靶材的铜背板且其尺寸与铜背板相适配，形成待施压整体；所述绑定架包括钩状架、施压架，所述钩状架的钩状端位于待施压整体下方，所述施压架一端与钩状架连接，该施压架另一端位于待施压整体上，形成针对待施压整体形成夹持施压结构的架体。本实用新型专利技术将绑定架及整平块配合，实现施压的力度调节，从而在确保靶材与铜背板之间不会出现气泡等现象的同时还能保证靶材本体不会受到损坏，进而提高工作效率。
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种平面靶材绑定整平装置，按国际专利分类表(IPC)划分属于靶材制造
技术介绍
平面靶材是将靶材绑定在铜背板上，从而形成能实现溅射加工的靶材原料，而平面靶材原料的生产及加工过程中，主要难点在于靶材与铜背板之间的绑定，怎样确保靶材与铜背板之间不会出现缝隙或气泡等，若出现缝隙或气泡现象直接影响靶材的质量，造成不合格。目前，现有靶材绑定在铜背板的整平结构一般采用铁块施压，极易将靶材表面造成划痕，令靶材本体受到损伤，同时铁块重量大，人工搬运非常费力。由此，本专利技术人考虑对现有的平面靶材绑定整平的结构进行改进，本案由此产生。
技术实现思路
针对现有技术的不足，本技术提供了一种平面靶材绑定整平装置，其有效实现平面靶材的整平，确保其内部不会出现气泡等现象，从而确保靶材的质量。为达到上述目的，本技术是通过以下技术方案实现的:一种平面靶材绑定整平装置，用于将平面靶材及附着平板靶材的铜背板绑定时整平用，而所述铜背板放置于平面桌上，该绑定整平装置包括绑定架及整平块，所述整平块放置在附着有靶材的铜背板且其尺寸与铜背板相适配，形成待施压整体；所述绑定架包括钩状架、施压架，所述钩状架的钩状端位于待施压整体下方，所述施压架一端与钩状架连接，该施压架另一端位于待施压整体上，形成针对待施压整体形成夹持施压结构的架体。进一步，所述施压架包括横杆及施压杆，所述横杆一端固定在钩状架上，该横杆另一端连接有所述施压杆，该施压杆为压力调节杆。进一步，所述施压杆的圆周侧面设置有外螺纹，该施压杆套设在横杆另一端的端孔内，而该端孔为带有内螺纹的通孔，所述施压杆与端孔配合形成可调节施压力度的旋转结构。进一步，所述施压杆上端还穿射一横向设置的手柄杆，形成带动施压杆在端孔旋转调节的手柄结构。进一步，所述绑定架的数量为至少一个，该绑定架的数量要根据附着有靶材的铜背板设置。进一步，所述整平块下方还设置有缓冲结构，用以在施压过程中的缓冲，有效避免靶材因压力过大而被刮伤或损坏。进一步，所述缓冲结构为纸板。与现有技术相比较，本技术的优点:本技术将绑定架及整平块配合，实现施压的力度调节，从而在确保靶材与铜背板之间不会出现气泡等现象的同时还能保证靶材本体不会受到损坏，进而提高工作效率。【附图说明】图1是本技术结构示意图。【具体实施方式】本技术所述的一种平面靶材绑定整平装置，用于将平面靶材及附着平板靶材的铜背板绑定时整平用，而所述铜背板放置于平面桌上，下面结合附图对本技术作进一步说明:实施例:请参阅图1所示，一种平面靶材绑定整平装置，其包括绑定架I及整平块2。请参阅图1所示，前述整平块2放置在附着有靶材的铜背板A且其尺寸与铜背板相适配，形成待施压整体。所述整平块2下方还设置有纸板3形成的缓冲结构，用以在施压过程中的缓冲，有效避免靶材因压力过大而被刮伤或损坏。请参阅图1所示，前述绑定架I的数量为至少一个，该绑定架I的数量要根据附着有靶材的铜背板A设置，每个绑定架I包括钩状架11、施压架12 ;其中钩状架11为呈直角弯折的杆体，所述钩状架11的钩状端伸入至平面桌B下并位于待施压整体下方，所述施压架12 —端与钩状架11连接，该施压架12另一端位于待施压整体上，形成针对待施压整体形成夹持施压结构的架体。请参阅图1所示，前述施压架12包括横杆121及施压杆122，所述横杆121 —端固定在钩状架11上，该横杆121另一端连接有所述施压杆122，该施压杆122为压力调节杆。所述施压杆122的圆周侧面设置有外螺纹，该施压杆122套设在横杆121另一端的端孔内，而该端孔为带有内螺纹的通孔，所述施压杆122与端孔配合形成可调节施压力度的旋转结构。所述施压杆122上端还穿射一横向设置的手柄杆123，形成带动施压杆在端孔旋转调节的手柄结构。以上所记载，仅为利用本创作
技术实现思路
的实施例，任何熟悉本项技艺者运用本创作所做的修饰、变化，皆属本创作主张的专利范围，而不限于实施例所揭示者。【主权项】1.一种平面靶材绑定整平装置，用于将平面靶材及附着平板靶材的铜背板绑定时整平用，而所述铜背板放置于平面桌上，其特征在于:该绑定整平装置包括绑定架及整平块，所述整平块放置在附着有靶材的铜背板且其尺寸与铜背板相适配，形成待施压整体；所述绑定架包括钩状架、施压架，所述钩状架的钩状端位于待施压整体下方，所述施压架一端与钩状架连接，该施压架另一端位于待施压整体上，形成针对待施压整体形成夹持施压结构的架体。2.根据权利要求1所述的一种平面靶材绑定整平装置，其特征在于:所述施压架包括横杆及施压杆，所述横杆一端固定在钩状架上，该横杆另一端连接有所述施压杆，该施压杆为压力调节杆。3.根据权利要求2所述的一种平面靶材绑定整平装置，其特征在于:所述施压杆的圆周侧面设置有外螺纹，该施压杆套设在横杆另一端的端孔内，而该端孔为带有内螺纹的通孔，所述施压杆与端孔配合形成可调节施压力度的旋转结构。4.根据权利要求3所述的一种平面靶材绑定整平装置，其特征在于:所述施压杆上端还穿射一横向设置的手柄杆，形成带动施压杆在端孔旋转调节的手柄结构。5.根据权利要求1至4任意一项所述的一种平面靶材绑定整平装置，其特征在于:所述绑定架的数量为至少一个，该绑定架的数量要根据附着有靶材的铜背板设置。6.根据权利要求1所述的一种平面靶材绑定整平装置，其特征在于:所述整平块下方还设置有缓冲结构。7.根据权利要求6所述的一种平面靶材绑定整平装置，其特征在于:所述缓冲结构为纸板。【专利摘要】本技术公开一种平面靶材绑定整平装置，用于将平面靶材及附着平板靶材的铜背板绑定时整平用，而所述铜背板放置于平面桌上，该绑定整平装置包括绑定架及整平块，所述整平块放置在附着有靶材的铜背板且其尺寸与铜背板相适配，形成待施压整体；所述绑定架包括钩状架、施压架，所述钩状架的钩状端位于待施压整体下方，所述施压架一端与钩状架连接，该施压架另一端位于待施压整体上，形成针对待施压整体形成夹持施压结构的架体。本技术将绑定架及整平块配合，实现施压的力度调节，从而在确保靶材与铜背板之间不会出现气泡等现象的同时还能保证靶材本体不会受到损坏，进而提高工作效率。【IPC分类】B21D1-00【公开号】CN204338612【申请号】CN201420833245【专利技术人】王志强, 张斐, 罗建冬, 罗文富 【申请人】厦门映日新材料科技有限公司【公开日】2015年5月20日【申请日】2014年12月25日本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种平面靶材绑定整平装置，用于将平面靶材及附着平板靶材的铜背板绑定时整平用，而所述铜背板放置于平面桌上，其特征在于：该绑定整平装置包括绑定架及整平块，所述整平块放置在附着有靶材的铜背板且其尺寸与铜背板相适配，形成待施压整体；所述绑定架包括钩状架、施压架，所述钩状架的钩状端位于待施压整体下方，所述施压架一端与钩状架连接，该施压架另一端位于待施压整体上，形成针对待施压整体形成夹持施压结构的架体。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：王志强，张斐，罗建冬，罗文富，
申请(专利权)人：厦门映日新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：福建;35
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