一种低辐射镀膜玻璃制造技术

本实用新型专利技术提供一种低辐射镀膜玻璃，包括玻璃基片和镀膜层，镀膜层自内向外依次包括：第一层TiOx、第二层：LaB6-AZO、第三层：Ag、第四层：NiCr、第五层：LaB6-AZO、第六层：Si3N4。本实用新型专利技术镀膜玻璃具有以下优点：本镀膜玻璃可见光透过率较高，透过率相对AZO可提高3～4%；在Low-E产品中，作为Ag的打底层与Ag的结合力更好；辐射率低；产品性能稳定，适于大规模生产，光学及热学性能稳定。该玻璃具有良好的外观颜色，膜层不易脱落。可夹层或合中空使用。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
一种低辐射镀膜玻璃
本技术涉及一种镀膜玻璃，更具体的涉及一种低辐射镀膜玻璃。
技术介绍
目前，透明介质膜在大面积镀膜玻璃中的应用十分广泛。其中，陶瓷态氧化锌铝(AZO)由于溅射速率快，可使用纯Ar进行溅射，溅射条件易控，可节省隔气靶位且薄膜可见光透过高等优点而得到广泛研究及应用。但是，陶瓷态AZO靶在安装使用一段时间后，表面容易出现结瘤放电现象，严重影响了靶材的使用功率和寿命，同时也会造成镀膜产品存在颜色波动的隐患。AZO膜层作为Ag的打底层容易脱膜。
技术实现思路
本技术的目的是针对现有技术的技术缺陷，本技术旨在提供一种低辐射镀膜玻璃，为实现以上技术目标，本技术采用以下技术方案:一种掺杂硼化镧AZO低辐射镀膜玻璃，包括玻璃基片和镀膜层，镀膜层自内向外依次包括:第一层TiOx、第二层:LaB6_AZ0、弟二层:Ag、弟四层:NiCr、弟五层:LaB6_AZ0、弟/、层:Si3N4，弟二层Ag打底层是LaBg-AZO0进一步，所述的LaB6-AZO层采用真空磁控溅射法直接溅射掺入LaB6的氧化锌铝靶材，其中LaB6掺入量是2.5~10wt%。一种低辐射 镀膜玻璃，第一层TiOx厚度为1本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种低辐射镀膜玻璃，其特征在于，包括玻璃基片和镀膜层，镀膜层自内向外依次包括：第一层：TiOx、第二层：LaB6‑AZO、第三层：Ag、第四层：NiCr、第五层：LaB6‑AZO、第六层：Si3N4。

【技术特征摘要】
1.一种低辐射镀膜玻璃，其特征在于，包括玻璃基片和镀膜层，镀膜层自内向外依次包括:弟一层:TiOx、j^5二层:LaB6_AZ0、弟二层:Ag、弟四层:NiCr、弟五层:LaB6_AZ0、弟/、层:Si3N4。2.根据权利要求1所述一种低辐射镀膜玻璃，其特征在于:第一层TiOx厚度为15~25nm、第二层:LaB6_AZ0厚度为20~30nm、第三层-.Ag厚度为5~15n...

【专利技术属性】
技术研发人员：王勇，胡冰，刘双，王烁，
申请(专利权)人：天津南玻节能玻璃有限公司，天津南玻工程玻璃有限公司，中国南玻集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：天津;12