液体回收再利用装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种液体回收再利用装置，应用于对应用材料机台上制冷器的水管管路的保养中，所述水管管路上设置有出水口和进水口，所述液体回收再利用装置包括；一与所述进水口连接的吹气装置；一与所述出水口连接的弹性容器；其中，所述吹气装置向所述水管管路中吹气，以将该水管管路中残留的液体流入所述弹性容器中，进而实现将管路中残余的液体进行回收并可再次利用，减少了生产成本，保障了操作人员的安全；同时结构简单，操作快捷，可广泛应用于各领域的管路清洗及维护中。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
液体回收再利用装置
本技术涉及半导体清洗领域，确切的说，涉及一种液体回收再利用装置，利用该装置可很好的实现将水管管路中残留的液体回收并再利用。
技术介绍
在半导体制备领域中，经常需要化学药剂来进行生产，例如:1、在经过某些生产工艺后，在晶圆表面可能会留有杂质，而这些残留在晶圆表面的杂质会对产品的稳定性造成影响，可采用湿法清洗将其去除；2、湿法刻蚀，利用湿法刻蚀来去除晶圆不需要的位置，相关工艺为本领域技术人员所公知，故在此不予赘述；3、日常保养，某些特殊的半导体材料需要利用化学药剂来进行特殊处理，例如利用乙二醇来产品进行处理。在进行上述工艺时，一般是通过一水管管路来进行化学药剂的输送，在完成相应工艺后或者进行保养时，则需要将水管管路内剩余的液体进行排出。目前所采用的做法是将水管进行拆除后用快速接头分别连接水管的进水口和出水口，然后一端用气枪插入水管中，而水管的另一端则放置在可以盛放化学药剂的容器中，利用气枪喷射出的气体将管内残留的液体进行排出。但是该做法有一定弊端:由于气枪喷射的气体流速过快，水管另一端在排出液体时在气体的推动容易造成液体喷溅的风险，不仅容易对容器造成损伤，同时本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种液体回收再利用装置，应用于对应用材料机台上制冷器的水管管路的保养中，所述水管管路上设置有出水口和进水口，其特征在于，所述液体回收再利用装置包括；一与所述进水口连接的吹气装置；一与所述出水口连接的弹性容器；其中，所述吹气装置向所述水管管路中吹气，以将该水管管路中残留的液体流入所述弹性容器中。

【技术特征摘要】
1.一种液体回收再利用装置，应用于对应用材料机台上制冷器的水管管路的保养中，所述水管管路上设置有出水口和进水口，其特征在于，所述液体回收再利用装置包括； 一与所述进水口连接的吹气装置； 一与所述出水口连接的弹性容器； 其中，所述吹气装置向所述水管管路中吹气，以将该水管管路中残留的液体流入所述弹性容器中。2.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述弹性容器上还设置有接头母头，用以将所述弹性容器与所述出水口密封连接。3.如权利要求2所述的装置，其特征在于，所述弹性容器上和/或接头母头上还设置有排气嘴，用...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭佩，
申请(专利权)人：武汉新芯集成电路制造有限公司，
类型：新型
国别省市：湖北;42