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本实用新型提供了一种液体回收再利用装置，应用于对应用材料机台上制冷器的水管管路的保养中，所述水管管路上设置有出水口和进水口，所述液体回收再利用装置包括；一与所述进水口连接的吹气装置；一与所述出水口连接的弹性容器；其中，所述吹气装置向所述水管...
该专利属于武汉新芯集成电路制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉新芯集成电路制造有限公司授权不得商用。

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