集成硅光学机械陀螺仪（OMGS）制造技术

一种系统具有光学机械陀螺仪装置。光学机械圆盘充当光学环形谐振器和机械圆盘谐振器。驱动激光器生成光学驱动信号。驱动通道充当对于光学驱动信号的波导并且包括关于光学机械圆盘位于第一邻近处的驱动电极。该驱动电极通过渐逝耦合来激发环。驱动光电检测器配置成从驱动通道接收输出光学信号。感测激光器生成光学感测信号。感测通道充当对于光学感测信号的波导并且包括关于光学机械圆盘位于第二邻近处的感测电极。感测光电检测器配置成从所述感测通道接收输出光学信号。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】集成硅光学机械陀螺仪（OMGS）
本专利技术的实施例涉及光学机械装置。更特定地，本专利技术的实施例涉及光学机械陀螺仪。
技术介绍
陀螺仪是测量运动角速率的装置，其对于许多应用是有用的，包括动态车辆控制、手势识别和导航等。基于陀螺仪的系统当前在许多领域中使用，包括航空导航、工业机器监视、汽车电子稳定性控制、手持装置，等。陀螺仪性能的关键度量是灵敏度、带宽和稳定性（或偏差漂移）。最高性能目前可花费多达$1,000,000、频繁地基于光学器件并且展现低至几度/h或更好的漂移。在领域的另一端，消费级陀螺仪目前大约每轴花费$1、基于微机电系统（MEMS）技术并且经受大得多的漂移，例如在50-100度/h的范围内。对于个人导航，具有单一度/h范围内的漂移同时维持灵敏度和带宽来涵盖既慢又快的角旋转的三轴陀螺仪是可取的。这在使用已知的静电MEMS陀螺仪时基本上是不能获得的。附图说明本专利技术的实施例通过示例而非限制的方式在附图的图中图示，在图中类似的标号指示相似的元件。图1a是集成硅光学机械陀螺仪的一个实施例的顶视图。图1b是集成硅光学机械陀螺仪的一个实施例的侧视图。图2a是MEMS释放之前硅光子光本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种设备，其包括：光学机械圆盘，其充当光学环形谐振器和机械圆盘谐振器；驱动激光器，用于生成光学驱动信号；驱动通道，用于充当对于所述光学驱动信号的波导并且包括关于所述光学机械圆盘位于第一邻近处的驱动电极，所述驱动电极通过渐逝耦合来激发所述环；驱动光电检测器，其配置成从所述驱动通道接收输出光学信号；感测激光器，用于生成光学感测信号；感测通道，用于充当对于所述光学感测信号的波导并且包括关于所述光学机械圆盘位于第二邻近处的感测电极；感测光电检测器，其配置成从所述感测通道接收输出光学信号。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种集成硅光学机械陀螺仪，其包括：光学机械圆盘，其充当光学环形谐振器和机械圆盘谐振器；驱动激光器，用于生成光学驱动信号；驱动通道，用于充当对于所述光学驱动信号的波导并且包括关于所述光学机械圆盘位于第一邻近处的驱动电极，所述驱动电极通过渐逝耦合来激发所述环，其中在谐振时，所述驱动通道与所述光学机械圆盘的至少一个腹点对齐；驱动光电检测器，其配置成从所述驱动通道接收输出光学信号；感测激光器，用于生成光学感测信号；感测通道，用于充当对于所述光学感测信号的波导并且包括关于所述光学机械圆盘位于第二邻近处的感测电极，其中在谐振时，所述感测通道与所述光学机械圆盘的至少一个节点对齐；感测光电检测器，其配置成从所述感测通道接收输出光学信号。2.如权利要求1所述的陀螺仪，其中所述驱动激光器以所述光学机械圆盘的机械谐振频率来调制光以通过光学机械力来驱使所述圆盘振动。3.如权利要求2所述的陀螺仪，其中所述光学机械力包括辐射压力。4.如权利要求2所述的陀螺仪，其中所述光学机械力包括光学梯度力。5.如权利要求1所述的陀螺仪，其进一步包括调制器，用于以所述光学机械圆盘的机械谐振频率来调制光学驱动信号以通过光学机械力来驱使所述圆盘振动。6.如权利要求5所述的陀螺仪，其中所述光学机械力包括辐射压力。7.如权利要求5所述的陀螺仪，其中所述光学机械力包括光学梯度力。8.一种平板计算装置，其包括：触摸屏界面；光学机械圆盘，其充当光学环形谐振器和机械圆盘谐振器；驱动激光器，用于生成光学驱动信号；驱动通道，用于充当对于所述光学驱动信号的波导并且包括关于所述光学机械圆盘位于第一邻近处的驱动电极，所述驱动电极通过渐逝耦合来激发所述环，其中在谐振时，所述驱动通道与所述光学机械圆盘的至少一个腹点对齐；驱动光电检测器，其配置成从所述驱动通道接收输出光学信号；感测激光器，用于生成光学感测信号；感测通道，用于充当对于所述光学感测信号的波导并且包括关于所述光学机械圆盘位于第二邻近处的感测电极，其中在谐振时，所述感测通道与所述光学机械圆盘的至少一个节点对齐；感测光电检测器，其配置成从所述感测通道接收输出光学信号；处理器，其耦合成用于监视所述感测光电检测器和所述驱动光电检测器，并且与所述触摸屏界面耦...

【专利技术属性】
技术研发人员：J赫克，H荣，R琼斯，
申请(专利权)人：英特尔公司，
类型：发明
国别省市：美国;US