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集成硅光学机械陀螺仪(OMGS)制造技术
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文档序号:10344212
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一种系统具有光学机械陀螺仪装置。光学机械圆盘充当光学环形谐振器和机械圆盘谐振器。驱动激光器生成光学驱动信号。驱动通道充当对于光学驱动信号的波导并且包括关于光学机械圆盘位于第一邻近处的驱动电极。该驱动电极通过渐逝耦合来激发环。驱动光电检测器配...
该专利属于英特尔公司所有,仅供学习研究参考,未经过英特尔公司授权不得商用。
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