一种带有菱形卡点的石墨舟制造技术

技术编号:10325649 阅读:117 留言:0更新日期:2014-08-14 12:16
本实用新型专利技术公开了一种带有菱形卡点的石墨舟,它包括石墨舟、陶瓷杆、电池片槽和电极,其特征在于:它还包括:菱形块、凸块和石墨舟槽,所述的菱形块固设于凸块上形成菱形卡点,石墨舟上设有石墨舟槽,凸块与石墨舟槽通过配合连接的方式紧固。该带有菱形卡点的石墨舟在保持设备最小的变动前提下对石墨舟进行改造,达到提高产能并降低返工率的作用。(*该技术在2023年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】
一种带有菱形卡点的石墨舟
本技术涉光一种硅基太阳能电池领域,具体是一种带有菱形卡点的石墨舟。
技术介绍
氮化硅减反射膜的制备是太阳电池制作流程中一道重要的工序,工业化生产中通过改造石墨舟,增加舟片数量,即将舟片数量由19片增加到21片的方法达到扩大单舟产能的目的,目前,改造石墨舟的主要方法有2种,一种是使用圆形工艺卡点,维持舟片间距,即保持Ilmm不变,在原19片舟片的石墨舟外侧增加两片舟片,产能由每舟216片增加为240片,这种改造方法简单、易操作,但直接在石墨舟上加2片舟片,石墨舟整体变宽,并需要加高,导致不能满足机械手自动上下料,石墨舟在周转小车上易侧翻,而且增加的两片舟片距离炉管壁太近,使得沉积的氮化硅膜较中间舟片明显偏厚;另一种改造方法为使用原圆形工艺卡点,缩短石墨舟舟片间距为IOmm,石墨舟整体大小与改造前相当,同时避免了最外侧舟片镀膜明显偏厚的现象。但使用这种改造方式的石墨舟会导致工艺卡点附近区域a、b、c明显偏厚,与正常区域膜厚差在7nm以上,而且,由于舟片间距变小,使用现有镀膜工艺容易出现硅片中心区域附近d出现膜厚严重偏薄的现象。
技术实现思路
技术目的:针对上述问本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种带有菱形卡点的石墨舟,它包括石墨舟(2)、陶瓷杆(3)、电池片槽(4)和电极(7),其特征在于:它还包括:菱形块(11)、凸块(12)和石墨舟槽(5),所述的菱形块(11)固设于凸块(12)上形成菱形卡点(1),石墨舟(2)上设有石墨舟槽(5),凸块(12)与石墨舟槽(5)通过配合连接的方式紧固。

【技术特征摘要】
1.一种带有菱形卡点的石墨舟,它包括石墨舟(2)、陶瓷杆(3)、电池片槽(4)和电极(7),其特征在于:它还包括:菱形块(11)、凸块(12)和石墨舟槽(5),所述的菱形块(11)固设于凸块(12)上形成菱形卡点(1),石墨舟(2)上设有石墨舟槽(5),凸块(12)与石墨...

【专利技术属性】
技术研发人员:牛广磊姚晓波陈龙梁汉杰
申请(专利权)人:奥特斯维能源太仓有限公司
类型:新型
国别省市:江苏;32

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