本发明专利技术提供了一种用于液晶显示装置的阵列基板，所述阵列基板中央为显示区域，所述显示区域四周为非显示区域；所述非显示区域包括栅极驱动电路区域、数据线引线区域和公共电极线引线区域；所述数据线引线区域和公共电极线引线区域形成有引线膜层，所述引线膜层包括：第一金属层、绝缘层、第二金属层和钝化层，所述引线膜层还包括一层或多层增高层，所述增高层、第一金属层、绝缘层、第二金属层和钝化层层叠。本发明专利技术所提供的液晶显示装置的阵列基板在引线膜层内设置增高层，减小或消除了阵列基板四周非显示区域的高度差异，使得液晶显示器的显示画面品质提高。
【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术提供了一种用于液晶显示装置的阵列基板，所述阵列基板中央为显示区域，所述显示区域四周为非显示区域；所述非显示区域包括栅极驱动电路区域、数据线引线区域和公共电极线引线区域；所述数据线引线区域和公共电极线引线区域形成有引线膜层，所述引线膜层包括：第一金属层、绝缘层、第二金属层和钝化层，所述引线膜层还包括一层或多层增高层，所述增高层、第一金属层、绝缘层、第二金属层和钝化层层叠。本专利技术所提供的液晶显示装置的阵列基板在引线膜层内设置增高层，减小或消除了阵列基板四周非显示区域的高度差异，使得液晶显示器的显示画面品质提高。【专利说明】一种薄膜晶体管阵列基板、制造方法以及液晶显示面板
本专利技术涉及液晶显示领域，特别是涉及一种薄膜晶体管阵列基板、包含该薄膜晶体管阵列基板的液晶显示面板以及薄膜晶体管阵列基板的制造方法。
技术介绍
平面显示器是目前主流的显示器，其中液晶显示器因为具有外型轻薄、省电以及无辐射等优点而被广泛地应用于电脑屏幕、移动电话、个人数字助理、平面电视等电子产品上。液晶显示器中包括有液晶面板，通常液晶面板由阵列基板、彩膜基板以及封装于两基板之间的液晶组成。先前阵列基板上通常外接有硅片制作的驱动芯片，但是现如今，直接将栅极驱动电路(gate driver IC)集成制作在阵列基板的栅极线引线区域上的技术已经产生。现有技术中，当阵列基板上制作有栅极驱动电路时，阵列基板四周非显示区域上的膜层高度差异较大，降低了薄膜晶体管液晶显示器的显示画面品质。参考图1，图1为制作有栅极驱动电路的阵列基板5的基本结构示意图。所述薄膜晶体管阵列基板5中央区域为显示区域3，所述显示区域3四周为非显示区域，所述非显示区域包括栅极驱动电路区域1、数据线引线区域4和公共电极线引线区域2。所述栅极驱动电路区域I上的层叠结构定义为栅极驱动电路膜层，所述数据线引线区域4上的层叠结构定义为数据线引线膜层，所述公共电极线引线区域2上的层叠结构定义为公共电极线引线膜层。参考图2，图2为栅极驱动电路区域I的膜层最厚处层叠结构示意图。栅极驱动电路膜层最厚处包括层叠于所属基板上的第一金属层6、绝缘层12、半导体层7、第二金属层8、钝化层15。参考图3，图3为数据线引线区域4的一种布线示意图。其中数据线引线包括多条第一数据线引线11和多条第二数据线引线14，第一数据线引线11和第二数据线引线14相互间隔排列。参考图4，图4为图3中沿1-1线切开数据线引线膜层4所对应的剖面示意图。如图所示，第一数据线引线11的膜层结构从下至上依次为第一金属层11、绝缘层12和钝化层15，第二数据线引线14的膜层结构从下至上依次为绝缘层12、第二金属层14和钝化层15。需要说明的是，除了图3所显示的布线方式以外，数据线引线还可以有其它的布线方式，例如数据线引线全部位于绝缘层12的上面或者下面。但是图3中所显示的布线方式能够使得相临两条数据线引线的距离较大，防止数据线引线之间发生短路，是一种优选的布线方式。参考图5，图5为一种公共电极线引线膜层最厚处结构所对应的剖面示意图，公共电极线引线的排布方式可参照图3所示，为相互间隔排列。由图5可知，公共电极线引线区域2膜层的层叠结构从下到上为第一公共电极线引线9、绝缘层12和钝化层15。参考图6，图6为另一种公共电极线引线膜层结构所对应的剖面示意图。由图6可知，公共电极线引线区域2膜层的层叠结构从下到上为绝缘层12、第二公共电极线引线10和钝化层15。参考图7，图7为现有液晶显示面板的基本结构示意图，包括阵列基板5和彩膜基板19，阵列基板5和彩膜基板19周边通过框胶18密封贴合在一起，阵列基板5和彩膜基板19之间封装有液晶层21，在阵列基板5和彩膜基板19之间还分布有间隔支撑物硅球20。为了获得高质量的显示图像，阵列基板5和彩膜基板19之间的距离应当在各个位置相等或比较接近。如果阵列基板5和彩膜基板19之间的距离在各个位置相差较大，就会降低液晶显示面板的显示画面品质。由图7可知，由于在阵列基板5的栅极线引线区域上集成有栅极驱动电路，从上面的分析可知，阵列基板5上的栅极驱动电路区域I膜层的高度Hl大于数据线引线区域4膜层的高度H2，即H1>H2。由于各间隔支撑物硅球20的高度相同，因而，对阵列基板5和彩膜基板19而言，它们在临近栅极驱动电路区域I处的距离H4大于在它们在临近数据线引线区域4处的距离H5，即H4>H5。两基板之间的距离不相等，导致液晶显示面板颜色不均、图像变形等缺陷，进而导致液晶显示面板显示画面的品质降低。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术提供一种薄膜晶体管阵列基板、制造方法以及液晶显示面板。一种薄膜晶体管阵列基板，包括基板，所述薄膜晶体管阵列基板中央区域为显示区域，所述显示区域四周为非显示区域，所述非显示区域包括栅极驱动电路区域和数据线引线区域。所述栅极驱动电路区域形成有栅极驱动电路膜层，所述栅极驱动电路膜层包括依次层叠于所述基板上的第一金属层、绝缘层、半导体层、第二金属层、钝化层，依次层叠是指各膜层的叠加依照由下至上的次序，层间可根据需要加入其它膜层，例如在半导体层和第二金属层之间加入刻蚀阻挡层；所述数据线引线区域形成有引线膜层，所述引线膜层包括依次层叠于所述基板上的绝缘层、第二金属层、钝化层。所述引线膜层还包括增高层，所述增高层包括位于绝缘层和第二金属层之间的第一子增高层，以及位于钝化层上的第二子增高层，所述第一子增高层与第二子增高层均为半导体层，所述绝缘层、第一子增高层、第二金属层、钝化层和第二子增高层层叠。所述数据线引线区域形成有引线膜层的最大厚度Hl与所述栅极驱动电路膜层的最大厚度H2满足:(Hl/H2)-1的取值范围为_2%?2%。本专利技术还描述了一种液晶显示面板，包括所述薄膜晶体管阵列基板、一与该所述薄膜晶体管阵列基板相对设置的彩膜基板和封装于所述薄膜晶体管阵列基板与彩膜基板之间的液晶层。所述液晶显示面板还包括设置于所述液晶显示面板非显示区域，所述薄膜晶体管阵列基板和彩膜基板之间的框胶，及分布于所述框胶中的硅球。所述薄膜晶体管阵列基板的制造方法包括如下步骤:提供一基底，形成第一金属层在所述基底上，图案化第一金属层，形成位于栅极驱动电路区域的TFT的栅极图案以及位于数据线引线区域的第一数据线引线和位于公共电极线引线区域的第一公共电极线引线，还形成位于显示区域的TFT的栅极图案和扫描线图案；在基底上形成的所述第一金属层上形成绝缘层；在所述绝缘层上形成半导体层，图案化所述半导体层形成位于所述栅极驱动电路区域的半导体图案、位于所述数据线引线区域的第一子增高层及位于公共电极线引线区域的第三子增高层、第五子增高层；在所述半导体层上形成第二金属层，图案化第二金属层，形成位于栅极驱动电路区域的TFT的源极、漏极图案，还形成位于显示区域的TFT的源极、漏极图案和数据线图案、位于数据线引线区域的第二数据线引线，以及位于公共电极线引线区域的第二公共电极线引线；在所述第二金属层上依次形成钝化层和半导体层，采用灰度掩膜板进行曝光、刻蚀，形成了暴露出TFT漏极的贯穿钝化层的过孔，以及数据线引线区域内第二数据线引线处，位于钝化层上的第二子增高层，还形成位于公共电极线引线区域的第四子增高层、第六子本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种薄膜晶体管阵列基板，包括：基板，其中所述薄膜晶体管阵列基板中央区域为显示区域，所述显示区域四周为非显示区域；所述非显示区域包括栅极驱动电路区域和数据线引线区域；所述栅极驱动电路区域形成有栅极驱动电路膜层，所述栅极驱动电路膜层包括依次层叠于所述基板上的第一金属层、绝缘层、半导体层、第二金属层、钝化层：所述数据线引线区域形成有引线膜层，所述引线膜层包括依次层叠于所述基板上的绝缘层、第二金属层、钝化层；所述引线膜层还包括一层或多层增高层，所述增高层、绝缘层、第二金属层和钝化层层叠。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：梁艳峰，
申请(专利权)人：上海中航光电子有限公司，天马微电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。