废液处理装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供废液处理装置，其将含有硅屑的废液分离成硅屑和不含硅屑的水，即使经过分离时间也能够高效地将废液分离成硅屑和水。废液处理装置（1）具备：分离次数存储部（322），其按照各个硅吸附板（21）中的每一个对从硅吸附板（21）分离出硅屑的次数进行计数并存储；判断部（323），其判断存储在分离次数存储部（322）中的分离次数是否达到了规定的次数；以及报知部（324），其在判断部（323）判断为各个硅吸附板（21）的分离次数达到了规定的次数的情况下进行报知，因此对于分离次数达到了规定的次数的硅吸附板（21），能够判断为劣化后的硅吸附板（21）并从液槽（20）取出，能够长期高效地将含有硅屑的废液分离成硅屑和净水。

【技术实现步骤摘要】
废液处理装置
本专利技术涉及将含有硅屑的液体分离成硅屑和液体的分离装置。
技术介绍
在硅器件的制造中，存在着将硅锭切断而形成硅晶片的工序、研磨硅晶片的工序、以及在硅晶片的表面上呈格子状地排列的大量区域中形成IC（IntegratedCircuit：集成电路）、LSI（largescaleintegration：大规模集成电路）等电路并将各区域沿规定的切断线切断而形成一个一个的硅芯片的工序等。在这些工序中，例如为了对切削刀、加工点、研磨部分等进行冷却、或者冲走硅屑而采用了水。硅屑是微细的粒子，以悬浊的状态包含于废液中。另一方面，近些年，出于水的再利用、硅的再利用的观点，要求将含有硅屑的废液分离成硅屑和不含硅屑的水的技术，已知通过过滤和离心分离法进行物理分离的方法、以及利用药品进行化学分离的方法（例如，参照专利文献1）。然而，在物理分离的方法中，存在着在过滤时发生网眼堵塞、或者硅颗粒竟然穿过的问题。特别是在离心分离法中，存在着硅颗粒相对于水分的浓度过稀而使离心分离的效率差的情况。此外，在化学分离的方法中，由于使用药品，因此存在着难以将液体（水）再利用的问题。因此，采用了通过硅吸附板吸附废液中的硅屑而高效地分离成硅屑和水的分离装置（例如，参照专利文献2）。【专利文献1】日本特开平8-164304号公报【专利文献2】日本特开2012-024661号公报但是，在上述分离装置中，通过分离板刮落硅屑来对硅屑进行了回收，但通过反复上述回收，存在硅吸附板表面粗糙，从而硅屑的回收量减少的问题。
技术实现思路
本专利技术正是鉴于上述情况而做出的，其目的在于在将含有硅屑的废液分离成硅屑和不含硅屑的水的分离装置中，即使经过分离时间也能够高效地将废液分离成硅屑和水。本专利技术涉及一种废液处理装置，其用于将含有硅屑的废液分离成硅屑和不含硅屑的净水，所述废液处理装置的特征在于，所述废液处理装置由以下构件构成：从废液分离成硅屑和不含硅屑的净水的分离处理构件、和回收通过分离处理构件分离出的硅屑的回收构件，分离处理构件具备：液槽，其用于积存废液；硅吸附板，其带有正电并在液槽中等间隔地配置了多个，且该硅吸附板用于吸附废液中的带负电的硅屑；阴极板，其带有负电，且以与硅吸附板相对地与硅吸附板隔开间隔的方式交替地配设了多个；搬出部，其配设在阴极板的上部，将澄清液体搬出到液槽外；以及电场形成部，其以硅吸附板为阳极并以阴极板为阴极，在硅吸附板与阴极板之间形成电场，回收构件具备：分离部，其用于从硅吸附板分离出硅屑；吸附板移动部，其用于将硅吸附板从分离处理构件的液槽中移动至分离部；以及管理构件，其管理硅吸附板，管理构件具备：吸附时间计数部，其按照各个硅吸附板中的每一个硅吸附板对向硅吸附板通电而吸附了硅的累积时间进行计数；指令部，其送出指令，所述指令表示应将累积时间经过了规定的时间的硅吸附板移动至分离部而从硅吸附板分离出硅屑；分离次数存储部，其按照各个硅吸附板中的每一个硅吸附板对由分离部从硅吸附板分离出硅屑的次数进行计数并存储；以及判断部，其判断存储在分离次数存储部中的分离次数是否达到了规定的次数，所述废液处理装置具备报知部，在判断部判断为各个硅吸附板的分离次数达到了规定的次数的情况下，该报知部进行报知。在本专利技术的废液处理装置中，具备：分离次数存储部，其按照各个硅吸附板中的每一个硅吸附板对从硅吸附板分离出硅屑的次数进行计数并存储；判断部，其判断存储在分离次数存储部中的分离次数是否达到了规定的次数；以及报知部，其在判断部判断为各个硅吸附板的分离次数达到了规定的次数的情况下进行报知，因此对于分离次数达到了规定的定次数的硅吸附板，能够判断为劣化后的硅吸附板并从液槽取出，能够长期高效地将含有硅屑的废液分离成硅屑和净水。附图说明图1是示出废液处理装置的一例的内部构造的立体图。图2是示出使部分断裂后的状态下的液槽以及硅吸附板和阴极板的一例的分解立体图。图3是示出在收纳到液槽中的硅吸附板与阴极板之间形成了电场的状态的截面图。图4是示出废液处理装置中的处理内容的流程图。标号说明1：废液处理装置；2：分离处理构件；20：液槽；200：侧板；200a：槽；21：硅吸附板；210：被卡合片；211：卡合孔；22：阴极板；220：排出部；221：吸引管；222：吸引口；223：送出口；25：泵；3：回收构件；30：分离部；300：狭缝；300a：闸板；301：分离容器；302：氢气排出构件；31：吸附板移动部；32：管理构件；320：吸附时间计数部；321：指令部；322：分离次数存储部；323：判断部；324：报知部；33：保持部；330：基台；331：卡盘缸；332：缸主体；333：销；34：升降部；340：铅直滚珠丝杠；341：导轨；342：带；35：水平移动部；350：水平滚珠丝杠；351：导轨；352：吊持部；40：废液收纳箱；41：净水贮水箱；410：箱主体；411：消泡倾斜板；412：供给口；5：电场形成部；50：阳极；51：阴极；60：硅屑箱；61：重量计；7：排出部；70：输送配管；71：开闭阀。具体实施方式图1所示的废液处理装置1具备从废液分离成硅屑和不含硅屑的净水的分离处理构件2、和回收通过分离处理构件2分离出的硅屑的回收构件3。分离处理构件2具备液槽20，所述液槽20由合成树脂等的绝缘部件形成且积存作为处理对象的废液。在液槽20的前方，设置有收纳含有硅屑的废液的废液收纳箱40，通过未图示的泵，将废液从废液收纳箱40导入到液槽20中。如图2所示，液槽20是上部开口的容器，在长度方向的侧板200的内周面上形成有铅直方向上延长的槽200a。在槽200a中交替插入了硅吸附板21和阴极板22。硅吸附板21和阴极板22分别等间隔地配置有多个。硅吸附板21由铜、不锈钢等导电性部件构成，在液槽20中等间隔地配设有多个。在硅吸附板21的上部，在宽度方向上隔开间隔地以向上方突出的状态形成了一对被卡合片210。在被卡合片210中形成有在硅吸附板21的宽度方向上贯通的卡合孔211。阴极板22与硅吸附板21相对，并且与硅吸附板21隔开间隔地配设有多个。在阴极板22的上部，具备将液槽20的澄清液体搬出到液槽20外的搬出部220。搬出部220具备在阴极板22的宽度方向上伸展的圆筒形状的吸引管221。在吸引管221的侧面上沿着长度方向设置有多个吸引口222。此外，在一个端部上形成有送出口223。吸引管220能够从吸引口221吸入液槽20中的澄清液体，并从送出口223搬出到液槽20外。如图3所示，插入到液槽20的硅吸附板21与由直流电源构成的电场形成部5的阳极50连接，带正电而成为阳极，阴极板22与直流电源5的阴极51连接，带负电而成为阴极，因此在硅吸附板21与阴极板22之间形成有电场。废液中的硅屑带负电，因此从带负电的阴极板22排斥开，被吸附到带正电的硅吸附板22。此外，阴极板22具备的送出口223与输送泵25连通。如图1所示，回收构件3具备：分离部30，其配设于分离处理构件2的侧方，使硅屑从硅吸附板21分离；吸附板移动部31，其将硅吸附板21从分离处理构件2的液槽20中移动至分离部30；以及管理构件32，其与硅吸附板21电连接并对硅吸附板21进行管理。分离部30具备：箱状的分离容器301本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种废液处理装置，其将含有硅屑的废液分离成硅屑和不含硅屑的净水，该废液处理装置的特征在于，该废液处理装置由以下部分构成：分离处理构件，其从废液分离成硅屑和不含硅屑的净水；以及回收构件，其回收通过该分离处理构件分离出的硅屑，该分离处理构件具备：液槽，其积存该废液；硅吸附板，其带有正电并用于吸附该废液中的带负电的硅屑，且该硅吸附板在该液槽中等间隔地配置了多个；阴极板，其带有负电，且以与该硅吸附板相对并与该硅吸附板隔开间隔的方式交替地配设了多个；搬出部，其配设在该阴极板的上部并用于将澄清液体搬出到该液槽外；以及电场形成部，其以该硅吸附板为阳极并以该阴极板为阴极，在该硅吸附板与该阴极板之间形成电场，该回收构件具备：分离部，其从该硅吸附板分离出硅屑；吸附板移动部，其将该硅吸附板从该分离处理构件的该液槽中移动至该分离部；以及管理构件，其对该硅吸附板进行管理，该管理构件具备：吸附时间计数部，其按照各个硅吸附板中的每一个对向该硅吸附板通电而吸附了硅的累积时间进行计数；指令部，其送出指令，该指令表示应将该累积时间经过了规定的时间的硅吸附板移动至分离部而从该硅吸附板分离出硅屑；分离次数存储部，其按照各个硅吸附板中的每一个对通过该分离部从该硅吸附板分离出硅屑的次数进行计数并存储；以及判断部，其判断存储在该分离次数存储部中的分离次数是否达到了规定的次数，该废液处理装置具备报知部，在该判断部判断为各个硅吸附板的分离次数达到了规定的次数的情况下，该报知部进行报知。...

【技术特征摘要】
2012.12.26 JP 2012-2825851.一种废液处理装置，其将含有硅屑的废液分离成硅屑和不含硅屑的净水，该废液处理装置的特征在于，该废液处理装置由以下部分构成：分离处理构件，其从废液分离成硅屑和不含硅屑的净水；以及回收构件，其回收通过该分离处理构件分离出的硅屑，该分离处理构件具备：液槽，其积存该废液；硅吸附板，其带有正电并用于吸附该废液中的带负电的硅屑，且该硅吸附板在该液槽中等间隔地配置了多个；阴极板，其带有负电，且以与该硅吸附板相对并与该硅吸附板隔开间隔的方式交替地配设了多个；搬出部，其配设在该阴极板的上部并用于将澄清液体搬出到该液槽外；以及电场形成部，其以该硅吸附板为阳极并以该阴极板为阴极，在该硅吸附板与该阴极板之间形成电...

【专利技术属性】
技术研发人员：吉田干，藤田敦史，石黑裕隆，
申请(专利权)人：株式会社迪思科，
类型：发明
国别省市：日本;JP