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本发明提供废液处理装置，其将含有硅屑的废液分离成硅屑和不含硅屑的水，即使经过分离时间也能够高效地将废液分离成硅屑和水。废液处理装置（1）具备：分离次数存储部（322），其按照各个硅吸附板（21）中的每一个对从硅吸附板（21）分离出硅屑的次数...
该专利属于株式会社迪思科所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社迪思科授权不得商用。

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