一种炉口密封装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种半导体立式热处理设备，具体涉及了一种炉口密封装置。该炉口密封装置包括底板和依次连接的第一侧板、第二侧板和第三侧板，第一侧板、第二侧板和第三侧板的一边与底板密封连接，另一边与炉体的炉口密封连接，第一侧板包括第一侧边，第三侧板包括第二侧边，第一侧边和第二侧边分别通过连接块与主机箱密封连接，底板与主机箱密封连接，在第一侧板、第二侧板和第三侧板中的至少一个上设有通孔，底板上设有圆孔。该炉口密封装置能满足密封要求，避免工艺过程中有外界气体渗入微环境中，从而控制微环境中特定气体浓度上限（如氧含量），并实现炉口区域热量及泄露气体的排放，简化了安装固定结构，便于装卸，有较好的可维护性。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术涉及一种半导体立式热处理设备，具体涉及了一种炉口密封装置。该炉口密封装置包括底板和依次连接的第一侧板、第二侧板和第三侧板，第一侧板、第二侧板和第三侧板的一边与底板密封连接，另一边与炉体的炉口密封连接，第一侧板包括第一侧边，第三侧板包括第二侧边，第一侧边和第二侧边分别通过连接块与主机箱密封连接，底板与主机箱密封连接，在第一侧板、第二侧板和第三侧板中的至少一个上设有通孔，底板上设有圆孔。该炉口密封装置能满足密封要求，避免工艺过程中有外界气体渗入微环境中，从而控制微环境中特定气体浓度上限（如氧含量），并实现炉口区域热量及泄露气体的排放，简化了安装固定结构，便于装卸，有较好的可维护性。【专利说明】一种炉口密封装置
本技术涉及一种半导体立式热处理设备，特别是涉及一种炉口区域密封装置。
技术介绍
在半导体立式热处理设备中，主机箱的主要作用是在工艺前后进行硅片的取放和存储，这个过程要求在惰性气体(如氮气或氩气)环境中完成，因此保证微环境内部环境的洁净度及控制特定气体浓度上限(如氧含量)至关重要。另外，在炉口区域处包含多路工艺气体进出管路，一旦有工艺气体泄露，将直接进入微环境中，破坏微环境的洁净度，从而影响产品质量。此外，在工艺过程结束、炉口打开时，会有大量热量向外溢出到微环境中，引起微环境内部温度上升，而微环境内部分元器件材料有一定的耐温温度，一旦超出材料的耐温温度，将会导致材料变性、挥发或产生颗粒，从而影响产品质量。因此，炉口密封装置需要有很好的密封性才能有效控制微环境内部特定气体浓度(如氧含量)，并实现炉口区域热量及泄露气体的排放。由于炉口密封装置所处的位置会影响工艺管的拆装，在做设备维护时需经常进行拆卸，因此需要炉口密封装置便于安装和拆卸。常规的炉体密封装置为了满足密封性能的要求，往往安装固定结构做得较复杂，不便于安装和拆卸，同时加工制作难度也较大，加工成本高，可维护性差。
技术实现思路
(一)要解决的技术问题本技术要解决的技术问题是提供一种便于安装和拆卸的炉口密封装置，可以满足密封性能要求，避免在工艺过程中有外界气体进入微环境中，从而控制微环境中的洁净度及特定气体浓度上限(如氧含量)，并实现炉口区域热量及泄露气体的排放。(二)技术方案为了解决上述技术问题，本技术提供了一种炉口密封装置，包括底板和依次连接的第一侧板、第二侧板和第三侧板，所述第一侧板、第二侧板和第三侧板的一边与所述底板密封连接，另一边与炉体的炉口密封连接，所述第一侧板包括第一侧边，所述第三侧板包括第二侧边，所述第一侧边和第二侧边分别通过连接块与主机箱密封连接，所述底板与所述主机箱密封连接，在所述第一侧板、第二侧板和第三侧板中的至少一个上设有通孔，所述底板上设有圆孔。其中，所述第一侧边和第二侧边的一侧均连接有第一密封垫挡条，另一侧均连接有第二密封垫挡条，所述第一密封垫挡条与所述连接块连接，所述第二密封垫挡条与所述主机箱密封连接。其中，所述连接块为几字形，所述连接块的两翼分别设置有安装孔，所述连接块通过所述安装孔分别与所述主机箱和第一密封垫挡条连接。其中，所述底板为四边形，其中的三个边分别与所述第一侧板、第二侧板和第三侧板密封连接，另一条边与所述主机箱密封连接。其中，所述第一侧板、第二侧板和第三侧板通过第三密封垫挡条与所述底板密封连接。其中，所述第三密封垫挡条上设有第二密封垫，所述第一侧板、第二侧板和第三侧板的一边向一侧弯折，另一边设有刀边压条，所述刀边压条通过所述第二密封垫与所述底板密封连接。其中，所述圆孔连接有密封压圈。其中，所述圆孔的周围设有螺柱，通过螺母和所述螺柱的配合将所述底板与所述密封压圈连接，所述圆孔通过所述密封压圈与工艺管的基底连接。其中，所述通孔连接有排气管道。其中，所述排气管道的一侧连接第一法兰，另一侧连接第二法兰，所述第一法兰与所述通孔连接，所述第二法兰与所述主机箱连接。(三)有益效果本技术的上述技术方案具有以下有益效果:本技术的炉口密封装置包括底板和依次连接的第一侧板、第二侧板和第三侧板，第一侧板、第二侧板和第三侧板的一边与底板密封连接，另一边与炉体的炉口密封连接，第一侧板包括第一侧边，第三侧板包括第二侧边，第一侧边和第二侧边分别通过连接块与主机箱密封连接，底板与主机箱密封连接，在第一侧板、第二侧板和第三侧板中的至少一个上设有通孔，与排气管道连接时，可以将出舟过程中的大量热量通过排气管道排出，底板上设有圆孔，与工艺管的基底可以密封连接，以确保该炉口密封装置将微环境与外界环境直接密封隔离。本技术的炉口密封装置可以满足密封要求，有效避免在工艺过程中有外界气体进入微环境中，从而控制微环境中的洁净度及特定气体浓度上限(如氧含量)，并实现炉口区域热量及泄露气体的排放，同时极大地简化了安装固定结构，便于进行频繁的安装和拆卸，降低了加工制作难度及加工成本，具有较好的可维护性。【专利附图】【附图说明】图1为本技术实施例的炉口密封装置的轴测视图；图2为本技术实施例的炉口密封装置A处的局部放大视图；图3为本技术实施例的连接块的轴测视图；图4为本技术实施例的侧板的轴测视图；图5为本技术实施例的侧板的正视图；图6为本技术实施例的侧板B处的局部放大视图；图7为本技术实施例的底板的主视图；图8为本技术实施例的底板C-C线的局部放大剖视图；图9为本技术实施例的排气管道的轴测视图；图10为本技术实施例的炉口密封装置在主机箱中和炉体之间的安装位置示意图；图11为本技术实施例的炉口密封装置内部及其与炉体之间的密封连接结构示意图。其中，1:炉口密封装置；201:第一侧板；202:第二侧板；203:第三侧板；204:第一侧边；205:第二侧边；21:通孔；22:第一密封垫挡条；23:刀边压条；25:第二密封垫挡条；26:第一密封垫；27:第二密封垫；3:密封压圈；4:排气管道；41:第一法兰；42:第二法兰；5:底板；51:圆孔；52:第三密封垫挡条；54:螺柱；6:连接块；7:螺母；8:主机箱；9:工艺管；10:炉体。【具体实施方式】下面结合附图和实施例对本技术的实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本技术，但不能用来限制本技术的范围。在本技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上；除非另有说明，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”、“前端”、“后端”、“头部”、“尾部”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。本技术的炉口密封装置安装在炉体10和主机箱8之间的炉口对应位置，包括底板5和依次连接的第一侧板201、第二侧板202和第三侧板203，第一侧板201、第二侧板202和第三侧板203的一边与底板5密封连接，另一边与炉体10的炉口密封连接，第一侧板201包括第一侧边204，第三侧板203包括第二侧边205，第一侧边204和第二侧边205分别通过连本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种炉口密封装置，其特征在于，包括底板和依次连接的第一侧板（201）、第二侧板（202）和第三侧板（203），所述第一侧板（201）、第二侧板（202）和第三侧板（203）的一边与所述底板（5）密封连接，另一边与炉体（10）的炉口密封连接，所述第一侧板（201）包括第一侧边（204），所述第三侧板（203）包括第二侧边（205），所述第一侧边（204）和第二侧边（205）分别通过连接块（6）与主机箱（8）密封连接，所述底板（5）与所述主机箱（8）密封连接，在所述第一侧板（201）、第二侧板（202）和第三侧板（203）中的至少一个上设有通孔（21），所述底板（5）上设有圆孔（51）。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：周厉颖，王丽荣，孙少东，
申请(专利权)人：北京七星华创电子股份有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11