【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
【技术保护点】
一种用于电路的检查/维修/检查系统中的透镜组合件,其包括:扫描透镜,其操作以在用于维修的激光束的特定波长下校正所述激光束的偏差;及相机透镜,其操作以通过所述扫描透镜接收来自工件的光并在由所述相机感测的至少一个特定波长下校正偏差,所述波长不是用于维修的所述激光束的所述特定波长。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员:维克多·莱巴尔金,伊利亚·拉茨科,
申请(专利权)人:奥宝科技有限公司,
类型:发明
国别省市:以色列;IL
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