用以改进准确缺陷位置报告的面板设计制造技术

技术编号:40431101 阅读:31 留言:0更新日期:2024-02-20 22:53
描述一种阵列检查器(AC)。所述阵列检查器可包含经配置以实施方法的软件。通过实施所述方法,所述阵列检查器可检测缺陷的位置且接着补偿所述缺陷的移位。特定来说,所述方法可包含在面板中产生一或多个参考线。所述参考线可包含在产生所述面板的图像之前已知的位置。所述阵列检查器可接着撷取所述面板的图像。可通过电压成像而撷取所述图像。所述图像可包含所述缺陷及所述一或多个参考线。所述方法可接着包含从所述已知位置计算所述参考线的偏移。可接着将所述偏移应用到所述缺陷位置以用于补偿所述缺陷的所述移位。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

本专利技术大体上涉及平板显示器且更特定来说,涉及检测平板显示器中的缺陷。


技术介绍

1、在一或多个生产步骤期间,生产缺陷可出现在平板显示器中。生产缺陷可限制产品良率且不利地影响平板显示器的成本。阵列检查器(ac)系统可用于针对生产缺陷检查面板。当像素足够大时,阵列检查器可准确地报告像素的缺陷位置。然而,随着像素的大小减小,阵列检查器可经历准确度问题。小大小的像素的准确度的降低可引起阵列检查器不准确地确定缺陷的位置。像素缺陷的不准确位置可引起缺陷修复系统修复阵列上的错误像素。因此,提供一种解决上文描述的缺点的装置、系统及方法将是有利的。


技术实现思路

1、根据本公开的一或多项实施例,描述一种方法。在一些实施例中,所述方法可包含激活面板的有源区域中的一或多个参考线;在一些实施例中,所述一或多个参考线包含所述有源区域中的已知参考线位置。在一些实施例中,所述方法包含产生所述面板的至少一部分的图像;在一些实施例中,所述方法包含在所述图像中检测所述有源区域中的缺陷位置及所述一或多个参考线的参考线位置。在一些实施例中,所述本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种方法,其包括:

2.根据权利要求1所述的方法,其中通过切换耦合到所述面板的栅极线或数据线中的一者的一或多个开关而激活所述一或多个参考线。

3.根据权利要求1所述的方法,其中通过使用阵列检查器的电压成像而产生所述图像,其中所述电压成像包括将所述阵列检查器的电光调制器电容耦合到所述面板,其中当所述电光调制器电容耦合到所述面板时所述电光调制器对于所述缺陷及所述一或多个参考线上方的照明局部不透明,其中所述电光调制器局部不透明引起所述电光调制器防止所述照明行进穿透到所述面板且从所述面板反射,其中所述阵列检查器的检测器基于所述照明产生所述图像。p>

4.根据权...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

1.一种方法,其包括:

2.根据权利要求1所述的方法,其中通过切换耦合到所述面板的栅极线或数据线中的一者的一或多个开关而激活所述一或多个参考线。

3.根据权利要求1所述的方法,其中通过使用阵列检查器的电压成像而产生所述图像,其中所述电压成像包括将所述阵列检查器的电光调制器电容耦合到所述面板,其中当所述电光调制器电容耦合到所述面板时所述电光调制器对于所述缺陷及所述一或多个参考线上方的照明局部不透明,其中所述电光调制器局部不透明引起所述电光调制器防止所述照明行进穿透到所述面板且从所述面板反射,其中所述阵列检查器的检测器基于所述照明产生所述图像。

4.根据权利要求1所述的方法,其进一步包括修复所述经补偿缺陷位置处的所述缺陷。

5.根据权利要求4所述的方法,其中薄膜晶体管阵列修复工具修复所述经补偿缺陷位置处的所述缺陷。

6.一种阵列检查器,其包含:

7.根据权利要求6所述的阵列检查器,其中所述阵列检查器经配置以耦合到所述面板的一或多个垫;其中所述阵列检查器通过凭借所述一或多个垫将控制信号提供到所述面板的一或多个开关而引起所述一或多个参考线激活,其中所述开关耦合到所述面板的栅极线或所述面板的数据线中的一者。

8.根据权利要求6所述的阵列检查器,其中所述电光调制器经配置以电容耦合到所述面板;其中当所述电光调制器电容耦合到所述面板时所述电光调制器对于所述缺陷及所述一或多个参考线上方的所述照明局部不透明;其中所述电光调制器局部不透明引起所述电光调制器防止所述照明行进穿透到所述面板且从所述面板反射。

9.根据权利要求6所述的阵列检查器,其中所述缺陷在所述面板的有源片段中;其中所述阵列检查器经配置以确定其中所述有源片段具有至少30微米的宽度的所述缺陷的所述经补偿缺陷位置。

10.一种成像系统,其包括:

11.根据权利要求10所述的成像系统,其中所述面板包含一或多个开关;其中所述一或多个开关耦合...

【专利技术属性】
技术研发人员:陈乃维陈岳男赖峙彰李官燮李钟浩
申请(专利权)人:奥宝科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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