透光设备及具有所述透光设备的退火设备制造技术

本发明专利技术提供一种透光设备及具有所述透光设备的退火设备，所述透光设备包括：光可穿透的透射窗；提供于所述透射窗的边缘上的框架；以及多个夹钳，其用于将压力施加到所述框架以紧密地固定所述透射窗；其中所述夹钳包括本体、插入于所述本体中的弹性部件及经由所述弹性部件穿过所述本体且从所述本体的下端突出的紧固件部件，且所述弹性部件将由所述紧固件部件所施加的压力控制在所要范围内。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术提供一种透光设备及具有所述透光设备的退火设备，所述透光设备包括：光可穿透的透射窗；提供于所述透射窗的边缘上的框架；以及多个夹钳，其用于将压力施加到所述框架以紧密地固定所述透射窗；其中所述夹钳包括本体、插入于所述本体中的弹性部件及经由所述弹性部件穿过所述本体且从所述本体的下端突出的紧固件部件，且所述弹性部件将由所述紧固件部件所施加的压力控制在所要范围内。【专利说明】透光设备及具有所述透光设备的退火设备
本专利技术涉及一种退火设备。尤其涉及一种透光(light penetration)设备及具有所述透光设备的退火设备，在所述透光设备中，激光束可穿透的透射窗(transmissionwindow)可固定而无破损。
技术介绍
薄膜晶体管(TFT)被用作用于独立地驱动显示装置中的像素中的每一者的电路，显示装置例如液晶显示器(IXD)或有机电致发光(Electro Luminescence ;EL)。此薄膜晶体管包括栅极电极、主动层(active layer)、源极电极及栅极绝缘膜。在此薄膜晶体管中，主动层充当栅极电极与源极/漏极电极之间的通道。已使用非晶硅或结晶硅本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种透光设备，其特征在于，包括：光可穿透的透射窗；提供于所述透射窗的边缘上的框架；以及多个夹钳，其用于将压力施加到所述框架以紧密地固定所述透射窗，其中所述夹钳包括本体、插入于所述本体中的弹性部件及经由所述弹性部件穿过所述本体且从所述本体的下端突出的紧固件部件，且所述弹性部件将由所述紧固件部件所施加的压力控制在所要范围内。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：梁相熙，李基雄，权五成，金圣进，
申请(专利权)人：AP系统股份有限公司，三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：