准分子激光发生器和准分子激光退火设备制造技术

本发明专利技术公开了一种准分子激光发生器和准分子激光退火设备，用以提高反应窗更换的方便性，提高更换效率，减少气体的浪费。准分子激光发生器包括依次排列的反射镜、激活介质腔和出射镜，激活介质腔具有朝向反射镜的第一开口和朝向出射镜的第二开口，还包括：两个更换单元，分别位于第一开口和反射镜之间以及第二开口和出射镜之间，每个更换单元包括：更换板和驱动元件，更换板上设有多个反应窗，驱动元件用于驱动更换板上的任一反应窗密封对应的开口；分别位于第一开口和第二开口处的压力平衡单元，压力平衡单元用于调节对应的开口处密封的反应窗的第一面和第二面所受的压力，第一面为反应窗朝向对应开口的一面，第二面为反应窗背离对应开口的一面。

【技术实现步骤摘要】
准分子激光发生器和准分子激光退火设备
本专利技术涉及显示器制备
，尤其涉及一种准分子激光发生器和准分子激光退火设备。
技术介绍
准分子激光退火设备所使用的激光系统为气体激光系统，在激光使用的过程中，会产生很多杂质或化学生成物沉积在反应窗表面，这些杂质使得准分子激光退火设备出射的激光的光斑品质和能量变差，引起脉冲污染或不良。目前，准分子激光发生器内的反应窗的设计是一次性更换设计，只能在激光谐振腔内的激光气体寿命末期(如100M)，对反应窗进行更换。这往往出现的问题是：在气体使用寿命到一定时间后(如50M时)，反应窗表面可能就已经很脏了，激光光斑品质和能量已经变差。这个时候就已经需要更换反应窗了，但现有的设计必须得把激光气体排出激光谐振腔后才能进行，中间还涉及到气体激光谐振腔、低温冷凝器等的升温和降温过程，这样会耗时很多(4小时左右)，而激光气体又非常昂贵，考虑成本和稼动率等问题，就只能等到激光气体寿命末期(如100M)再进行更换，而此时的激光光斑和能量等已经变得很差了。
技术实现思路
本专利技术实施例提供了一种准分子激光发生器和准分子激光退火设备，用以提高反应窗更换的方便性，提高更换效率，减少气体的浪费。为达到上述目的，本专利技术提供以下技术方案：本专利技术提供了一种准分子激光发生器，包括：依次排列的反射镜、激活介质腔和出射镜，所述激活介质腔具有朝向所述反射镜的第一开口和朝向所述出射镜的第二开口，还包括：两个更换单元，分别位于所述第一开口和所述反射镜之间以及所述第二开口和所述出射镜之间，每个所述更换单元包括：更换板和驱动元件，所述更换板上设有多个反应窗，所述驱动元件用于驱动更换板上的任一所述反应窗密封对应的开口；分别位于所述第一开口和所述第二开口处的压力平衡单元，所述压力平衡单元用于调节对应的开口处密封的所述反应窗的第一面和第二面所受的压力，其中所述第一面为所述反应窗朝向对应开口的一面，所述第二面为所述反应窗背离对应开口的一面。本专利技术提供的准分子激光发生器，通过设置更换单元可以便于反应窗的更换，在更换时，只需要驱动驱动元件工作即可完成反应窗的更换，同时通过设置的压力平衡单元可以调节处于密封状态下的反应窗的第一面和第二面所受的压力，这样可以便于将反应窗取下更换，本专利技术提供的准分子激光发生器在更换反应窗时不需要进行激光气体的排放和重新注入，也不需要气体激光谐振腔、低温冷凝器等的升温和降温过程，只需要调节反应窗的第一面和第二面所受的压力。故，本专利技术提供的准分子激光发生器，可以提高反应窗更换的方便性，提高更换效率，减少气体的浪费。在一些可选的实施方式中，准分子激光发生器还包括：位于所述反应窗和对应的开口之间的密封圈。密封圈的设置可以防止激活介质腔内的气体的泄漏。在一些可选的实施方式中，每个所述压力平衡单元包括：与所述第二面连通的压力调节腔，所述压力调节腔上设有进气口和排气口；供气元件，为所述压力调节腔内提供气体；设置于所述供气元件和所述进气口之间的连通管路上的调节阀；设置于所述排气口的开关阀。通过调节调节阀和开关阀，可以调节第二面所受到的气体压力，当需要更换反应窗时，可以将第二面的压力调节成与第一面的压力相同，以便反应窗的取下更换，更换完后可以将第二面的压力减小，以便更换后的反应窗更好的密封激光介质腔。在一些可选的实施方式中，所述供气元件为气囊或气垫。结构较简单。在一些可选的实施方式中，每个压力平衡单元还包括：用于在设定时间间隔内检测所述第一面所受压力值的传感器；与所述传感器、所述开关阀以及所述调节阀信号连接的控制器，所述控制器根据所述传感器检测的所述压力值调节所述调节阀的开度和所述开关阀的开、合以使所述第一面和所述第二面所受的压力相等。可以自动调节反应窗第一面和第二面所受到的压力，便于操作。在一些可选的实施方式中，所述控制器与所述驱动元件连接，所述控制器用于当所述第一面和所述第二面所受的压力相等时，控制所述驱动元件工作以驱动所述更换板移动直至新的所述反应窗密封对应的开口，并控制所述开关阀开启。实现自动更换。在一些可选的实施方式中，所述驱动元件包括：驱动电机；一端与所述更换板连接、另一端与所述驱动电机的输出轴传动连接的传动杆。在一些可选的实施方式中，所述更换板为圆形，且圆形的所述更换板沿其周向设有多个所述反应窗。在一些可选的实施方式中，所述更换板为矩形，且矩形的所述更换板上设有多个阵列分布的所述反应窗。本专利技术还提供了一种准分子激光退火设备，包括：上述任一项所述的准分子激光发生器。本专利技术提供的准分子激光发生器，通过设置更换单元可以便于反应窗的更换，在更换时，只需要驱动驱动元件工作即可完成反应窗的更换，同时通过设置的压力平衡单元可以调节处于密封状态下的反应窗的第一面和第二面所受的压力，这样可以便于将反应窗取下更换，本专利技术提供的准分子激光发生器在更换反应窗时不需要进行激光气体的排放和重新注入，也不需要气体激光谐振腔、低温冷凝器等的升温和降温过程，只需要调节反应窗的第一面和第二面所受的压力，故，本专利技术提供的准分子激光发生器，可以提高反应窗更换的方便性，提高更换效率，减少气体的浪费。附图说明图1为本专利技术实施例提供的准分子激光发生器的结构示意图；图2为本专利技术实施例提供的准分子激光发生器的部分截面图；图3为本专利技术实施例提供的准分子激光发发生器内的更换单元的结构示意图；图4为本专利技术实施例提供的更换板上的反应窗的排列结构示意图。附图标记：1-反射镜2-激活介质腔21-进气口22-出气口3-出射镜4-两个更换单元41-更换板411-反应窗42-驱动元件421-传动杆422-驱动电机5-压力平衡单元6-密封圈具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术专利保护的范围。现有技术中的准分子激光退火设备中的准分子激光发生器主要包括：反射镜，具有进气口和出气口的激活介质腔以及输出镜，其中反射镜、激活介质腔、输出镜构成气体激光谐振腔，激活介质腔朝向反射镜和输出镜的一端分别设有反应窗，反应窗与气体激光谐振腔密封连接，激活介质腔实现了粒子数反转后就能产生光放大，气体激光谐振腔的作用是选择频率一定、方向一致的光作最优先的放大，而把其他频率和方向的光加以抑制。凡不沿气体激光谐振腔轴线运动的光子均很快逸出腔外，与激活介质腔不再接触。沿轴线运动的光子将在激活介质腔继续前进，经过反应窗，并经反射镜和出射镜的反射不断往返运行产生振荡，运行时不断与受激粒子相遇而产生受激辐射，沿轴线运行的光子将不断增殖，在激活介质腔内形成传播方向一致、频率和相位相同的强光束，这就是激光。在激光使用的过程中，会产生很多杂质或化学生成物沉积在反应窗表面，这些杂质使得准分子激光退火设备出射的激光的光斑品质和能量变差，引起脉冲污染或不良。目前，准分子激光发生器内的反应窗的设计是一次性更换设计，只能在激光谐振腔内的激光气体寿命末期(如100M)，对反应窗进行更换。这往往出现的问题是：在气体使用寿命到一定时间后(如50M时)，反应窗表面可能就已经很脏了，激光光斑品质和能量已经变本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种准分子激光发生器，包括：依次排列的反射镜、激活介质腔和出射镜，所述激活介质腔具有朝向所述反射镜的第一开口和朝向所述出射镜的第二开口，其特征在于，还包括：两个更换单元，分别位于所述第一开口和所述反射镜之间以及所述第二开口和所述出射镜之间，每个所述更换单元包括：更换板和驱动元件，所述更换板上设有多个反应窗，所述驱动元件用于驱动更换板上的任一所述反应窗密封对应的开口；分别位于所述第一开口和所述第二开口处的压力平衡单元，所述压力平衡单元用于调节对应的开口处密封的所述反应窗的第一面和第二面所受的压力，其中所述第一面为所述反应窗朝向对应开口的一面，所述第二面为所述反应窗背离对应开口的一面。

【技术特征摘要】
1.一种准分子激光发生器，包括：依次排列的反射镜、激活介质腔和出射镜，所述激活介质腔具有朝向所述反射镜的第一开口和朝向所述出射镜的第二开口，其特征在于，还包括：两个更换单元，分别位于所述第一开口和所述反射镜之间以及所述第二开口和所述出射镜之间，每个所述更换单元包括：更换板和驱动元件，所述更换板上设有多个反应窗，所述驱动元件用于驱动更换板上的任一所述反应窗密封对应的开口；分别位于所述第一开口和所述第二开口处的压力平衡单元，所述压力平衡单元用于调节对应的开口处密封的所述反应窗的第一面和第二面所受的压力，其中所述第一面为所述反应窗朝向对应开口的一面，所述第二面为所述反应窗背离对应开口的一面。2.如权利要求1所示的准分子激光发生器，其特征在于，还包括：位于所述反应窗和对应的开口之间的密封圈。3.如权利要求1所述的准分子激光发生器，其特征在于，每个所述压力平衡单元包括：与所述第二面连通的压力调节腔，所述压力调节腔上设有进气口和排气口；供气元件，为所述压力调节腔内提供气体；设置于所述供气元件和所述进气口之间的连通管路上的调节阀；设置于所述排气口的开关阀。4.如权利要求3所述的准分子激光发生器，其特征在于，所述供气元件为气囊或气垫。5...

【专利技术属性】
技术研发人员：谢银，吕祖彬，张宇，令勇洲，王亚煜，王景帅，刘晨亮，李儒健，罗康，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，成都京东方光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11