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本发明公开了一种准分子激光发生器和准分子激光退火设备，用以提高反应窗更换的方便性，提高更换效率，减少气体的浪费。准分子激光发生器包括依次排列的反射镜、激活介质腔和出射镜，激活介质腔具有朝向反射镜的第一开口和朝向出射镜的第二开口，还包括：两个...该专利属于京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司授权不得商用。