激光振荡器的真空容器制造技术

本发明专利技术提供激光振荡器的真空容器，包括配置于配管与被插入部件之间的第一密封部件以及第二密封部件。第一密封部件由耐腐蚀性比第二密封部件的耐腐蚀性高的材料形成，第一密封部件配置在比第二密封部件更靠真空侧，第二密封部件由密封性比第一密封部件的密封性高的材料形成，第一密封部件至少局部地包含以提高第一密封部件的密封性能的方式变形的变形部。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及激光振荡器的真空容器，尤其涉及包括配置于配管与被插入部件之间的第一密封部件以及第二密封部件的激光振荡器的真空容器。
技术介绍
高速轴流型的二氧化碳气体激光振荡器的真空容器包括：含有激光气体的共振器；激励激光气体的放电部；使激光气体循环的送风机；以及对放电部所产生的热和送风机的压缩热进行冷却的换热器。图11是现有技术中的真空容器的局部剖视图。如图11所示，真空容器包括铝制的配管110、以及具备供配管110插入的凸缘130的不锈钢制的被插入部件120。此外，这些配管110以及被插入部件120也可以由其它的材料形成。而且，在被插入部件120的凸缘130的内周面形成有槽部140。在槽部140配置有O型圈160，由此对配管110与被插入部件120之间进行密封。存在如下情况：通过放电部(图11中未示出)后的激光气体的一部分离子化，而如图11中箭头所示那样在配管110与凸缘130之间的缝隙通过而到达O型圈160。在这样的情况下，O型圈160被氧化以及/或者被侵蚀，从而O型圈160的密封性降低。O型圈160的氧化以及/或者侵蚀进行的程度根据配管110与凸缘130之间的缝隙的长度方向距离、以及O型圈160与激光气体接触的接触面积(开口度)而定。换言之，上述的长度方向距离越短、以及接触面积越大，则O型圈160越快被氧化以及/或者被侵蚀。如图5所示，由于配置于配管110的周面的O型圈的接触面积比较大，所以存在O型圈160的更换周期较短的问题。这样，由于O型圈的耐腐蚀性较低，所以在利用真空系统处理腐蚀性气体的半导体制造装置、密封装置中，代替O型圈，而使用金属制的密封部件、具有耐腐蚀性的树脂制密封部件等。然而，金属制的密封部件、具有耐腐蚀性的树脂制密封部件的弹性较小，并且存在若一旦变形则无法再利用的问题。因此，日本特开2007-92892号公报、日本特开2000-106298号公报以及日本再表2004/038781号公报中，同时采用配置于真空侧的耐腐蚀性较高的密封部件、以及配置于大气压侧的弹性较高的密封部件。尤其，在日本再表2004/038781号公报中公开如下内容：例如如图12所示，作为配置于大气压侧的弹性较高的密封部件而配置O型圈160，并且作为配置于真空侧的密封部件150而配置截面呈V字形状的弹性部件。然而，在配置了O型圈160和密封部件150后，难以使O型圈160与密封部件150之间的区域为真空。在激光振荡器的运转过程中，存在O型圈160与密封部件150之间的区域的大气气体逐渐地向激光气体循环系统混入的情况。其结果，预先最优化了的激光气体的混合比率发生变化，而也有激光振荡器的性能变得不稳定的问题。并且，由于需要使O型圈160以及/或者密封部件150与配管110以及凸缘130接触，所以也有组装配管110以及凸缘130的自由度较小、且难以组装配管以及被插入部件的问题。
技术实现思路
本专利技术是鉴于这样的事情而完成的，其目的在于提供能够容易地使两个密封部件之间的区域成为真空而能够隔绝激光气体内的腐蚀性气体的激光振荡器的真空容器。为了实现上述的目的，根据方案1的专利技术，提供一种激光振荡器的真空容器，具备：圆筒形状或者方筒形状的配管；供该配管插入的被插入部件；以及配置于上述配管与上述被插入部件之间的第一密封部件和第二密封部件，上述第一密封部件由耐腐蚀性比上述第二密封部件的耐腐蚀性高的材料形成，上述第一密封部件配置在比上述第二密封部件更靠真空侧，上述第二密封部件由密封性比上述第一密封部件的密封性高的材料形成，上述第一密封部件至少局部地包含以提高上述第一密封部件的密封性能的方式变形的变形部。根据方案2的专利技术，在方案1的专利技术的基础上，上述变形部以提高了上述第一密封部件的密封性能的状态对上述第一密封部件进行保持。根据方案3的专利技术，在方案1或2的专利技术的基础上，上述变形部通过上述第一密封部件的周围的压力降低而变形。根据方案4的专利技术，在方案1或2的专利技术的基础上，上述变形部是上述第一密封部件所含有的形状记忆金属或者形状记忆树脂。根据方案5的专利技术，在方案1或2的专利技术的基础上，上述变形部含有挥发成分，并配置于上述第一密封部件的切口，上述变形部通过上述挥发成分挥发而变形。根据方案6的专利技术，在方案1～5中任一个专利技术的基础上，上述第一密封部件的一部分被把持在上述第二密封部件与上述被插入部件之间。根据方案7的专利技术，在方案1～6中任一个专利技术的基础上，上述第一密封部件的至少一部分由氟树脂构成。通过附图所示的本专利技术的典型的实施方式的详细说明，本专利技术的上述目的、特征及优点、以及其它目的、特征以及优点会变得清楚。附图说明图1是包括基于本专利技术的真空容器的激光振荡器的简图。图2是基于本专利技术的真空容器的局部立体图。图3A是基于本专利技术的第一实施方式的真空容器的局部剖视图。图3B是基于本专利技术的第一实施方式的真空容器的其它的局部剖视图。图4A是一个例子的第一密封部件的主视图。图4B是图4A所示的第一密封部件的剖视图。图5A是表示第一密封部件的第一例的局部剖视图。图5B是表示第一密封部件的第一例的其它的局部剖视图。图6A是表示第一密封部件的第二例的局部剖视图。图6B是表示第一密封部件的第二例的其它的局部剖视图。图7A是表示第一密封部件的第三例的局部剖视图。图7B是表示第一密封部件的第三例的其它的局部剖视图。图8A是表示第一密封部件的第四例的局部剖视图。图8B是表示第一密封部件的第四例的其它的局部剖视图。图9A是表示第一密封部件的第五例的局部剖视图。图9B是表示第一密封部件的第五例的其它的局部剖视图。图10A是表示第一密封部件的第六例的局部剖视图。图10B是配置有图10A所示的第一密封部件的真空容器的局部剖视图。图11是现有技术中的真空容器的局部剖视图。图12是现有技术中的真空容器的其它的局部剖视图。具体实施方式以下，参照附图对本专利技术的实施方式进行说明。以下的附图中对于相同的部件标注相同的参照符号。为了容易理解，适当地变更了这些附图的比例尺。图1是包括基于本专利技术的真空容器的激光振荡器的简图。图1所示的激光振荡器30例如是二氧化碳气体激光振荡器。图1中，激光振荡器30包括串联配置的放电管31a、31b、将这些放电管31a、31b相互连结的中央块32、以及分别与放电管31a的一端及放电管31b的另一端连结的端部块33a、33b。如图示那样，从中央块32延伸有从放电管31a以及放电管31b之间吸入作为气体的激光介质的吸入管路38。并且，延伸有向端部块33a、33b排出激光介质的返回管路39a、39b。如图1所示，在放电管31a的一端以及放电管31b的另一端分别配设有输出镜34以及后镜35。而且，在输出镜34与后镜35之间形成有光共振空间。并且，虽未图示，但以分别夹持放电管31a、31b的方式配置有电极对。另外，如图1所示，从中央块32延伸的吸入管路38在涡轮鼓风机36处结束。涡轮鼓风机36以使激光气体返回的方式使激光气体在从涡轮鼓风机36的左右端分别延伸至端部块33a、33b的两个返回管路39a、39b循环。并且，在吸入管路38配置有第一换热器37a，并在返回管路39a、39b分别配置有第二换热器37b以及第三换热器37c。这本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种激光振荡器的真空容器，其特征在于，具备：圆筒形状或者方筒形状的配管；供该配管插入的被插入部件；以及配置于上述配管与上述被插入部件之间的第一密封部件和第二密封部件，上述第一密封部件由耐腐蚀性比上述第二密封部件的耐腐蚀性高的材料形成，上述第一密封部件配置在比上述第二密封部件更靠真空侧，上述第二密封部件由密封性比上述第一密封部件的密封性高的材料形成，上述第一密封部件至少局部地包含以提高上述第一密封部件的密封性能的方式变形的变形部。

【技术特征摘要】
2015.08.12 JP 2015-1594881.一种激光振荡器的真空容器，其特征在于，具备：圆筒形状或者方筒形状的配管；供该配管插入的被插入部件；以及配置于上述配管与上述被插入部件之间的第一密封部件和第二密封部件，上述第一密封部件由耐腐蚀性比上述第二密封部件的耐腐蚀性高的材料形成，上述第一密封部件配置在比上述第二密封部件更靠真空侧，上述第二密封部件由密封性比上述第一密封部件的密封性高的材料形成，上述第一密封部件至少局部地包含以提高上述第一密封部件的密封性能的方式变形的变形部。2.根据权利要求1所述的激光振荡器的真空容器，其特征在于，上述变形部以提高了上述第一密封部件的密封性能的状态对上述第一密封部件...

【专利技术属性】
技术研发人员：佐藤孝德，高实哲久，
申请(专利权)人：发那科株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP