下载透光设备及具有所述透光设备的退火设备的技术资料

文档序号:10065108

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本发明提供一种透光设备及具有所述透光设备的退火设备,所述透光设备包括:光可穿透的透射窗;提供于所述透射窗的边缘上的框架;以及多个夹钳,其用于将压力施加到所述框架以紧密地固定所述透射窗;其中所述夹钳包括本体、插入于所述本体中的弹性部件及经由所...
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