下载检查/维修/检查系统的技术资料

文档序号:10146373

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本发明揭示一种用于电路的检查/维修/检查系统的透镜组合件,所述透镜组合件包含:扫描透镜,其操作以在用于维修的激光束的特定波长下校正所述激光束的偏差;及相机透镜,其操作以通过所述扫描透镜接收来自工件的光并在由相机感测的至少一个特定波长下校正偏...
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