密封部件、密封装置和密封部件的制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术的主要目的是提供能够简单地制造并能够高精度地密封的密封部件、密封装置和密封部件的制造方法。所述密封部件是金属制的密封部件，且以被夹持在彼此相对的第一面与第二面之间的方式配置，其包括朝向所述第一面突出的第一突出部以及朝向所述第二面突出的一对第二突出部，所述第一突出部配置在一对所述第二突出部之间，所述第一突出部的前端部分和所述第二突出部的前端部分是彼此平行的平面。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术的主要目的是提供能够简单地制造并能够高精度地密封的。所述密封部件是金属制的密封部件，且以被夹持在彼此相对的第一面与第二面之间的方式配置，其包括朝向所述第一面突出的第一突出部以及朝向所述第二面突出的一对第二突出部，所述第一突出部配置在一对所述第二突出部之间，所述第一突出部的前端部分和所述第二突出部的前端部分是彼此平行的平面。【专利说明】
本专利技术涉及，密封部件用于防止例如控制气体流量的质量流控制器等的流体泄漏。
技术介绍
作为即使在苛刻的条件下也能够使用，并能够防止流体泄漏的具有气密性或液密性等的结构的部件，具有金属制密封部件。在该金属制密封部件与密封对象物平面接触的情况下，如果其表面粗糙，则在两者之间产生微小的间隙而造成流体泄漏，所以例如专利文献I所述的那样，将金属制密封部件的与密封对象物接触的部分作成圆弧形或进行削尖等加工。专利文献1:日本专利公开公报特开2010-242858号但是，例如将所述接触部分作成圆弧形或进行削尖等机械加工时，存在的问题是金属制密封部件发生变形或破损等不良，并由不良处发生泄漏。作为解决这样的不良的方法，可以列举的方法有进行精密加工而消除变形，或在机械加工后对金属制密封部件的表面例如进行镜面加工而修复破损的部分，但前者存在花费成本的问题，而后者则存在工序数增加导致制造复杂的新问题。
技术实现思路
为了解决所述问题，本专利技术的主要目的在于提供能够简单地制造并能够高精度地密封的。S卩，本专利技术的密封部件由金属制成，且以被夹持在彼此相对的第一面和第二面之间的方式配置，其包括:第一突出部，朝向所述第一面突出；以及一对第二突出部，朝向所述第二面突出，所述第一突出部配置在一对所述第二突出部之间，所述第一突出部的前端部分与所述第二突出部的前端部分是彼此平行的平面。这样，因为第一突出部的前端部分与第二突出部的前端部分是彼此平行的平面，所以无需对与第一面和第二面接触的部分另行进行机械加工，从而能够容易地制造。另外，因为不进行机械加工，所以能够防止如上所述的密封部件的不良，从而能够防止泄漏的发生。并且，因为本专利技术的密封部件的第一突出部与第一面接触的平面的面积比第二突出部与第二面接触的平面的面积小，所以施加于第一突出部的平面的平面压力比施加于第二突出部的平面的平面压力大。因此，第一突出部的平面被第一面压住，所以即使密封部件或者对象物的表面粗糙，也能够无泄漏地进行密封。并且，如果从第一面和第二面对密封部件施力，则该力的一部分以使第二突出部从外侧向内侧倾倒的方式发挥作用，所以第二突出部向槽部侧弯曲，第二突出部的槽部侧的端部与第二面压力接触。因此，第二突出部能够在其端点与第二面之间无间隙地接触，从而能够防止泄漏。另外，在密封时，对密封部件施加从第二面朝向第一面的力，且对密封部件施加从第一面朝向第二面的力，密封部件自身弯曲，所以第一突出部和第二突出部分别压力接触于第一面、第二面，从而能够防止泄漏的发生。而且，从密封部件的与延伸方向垂直的横断面观察时，因为第一突出部配置在一对第二突出部之间，所以即使不从第一面和第二面对密封部件施力时，密封部件也能够通过第一突出部和第二突出部这三点独自站立。本专利技术的密封部件优选的是，所述第一突出部的前端部分是与所述第一面平行的平面，所述第二突出部的前端部分是与所述第二面平行的平面。因为第一突出部的前端部分是与第一面平行的平面，且第二突出部的前端部分是与第二面平行的平面，所以第一突出部通过均匀的按压力按压第一面，且第二突出部通过均匀的按压力按压第二面，因此能够防止力不均匀，从而进一步可靠地防止泄漏。本专利技术的密封部件优选的是，在所述密封部件的与延伸方向垂直的横断面中，以第一突出部的宽度随着从所述第一面朝向所述第二面而变宽的方式，使所述第一突出部的侧面弯曲，以所述第二突出部的宽度随着从所述第二面朝向所述第一面而变宽的方式，使所述第二突出部的侧面弯曲。这样，因为形成于一对第二突出部之间的槽的形状为拱形，所以能够分散施加于第二突出部的力，从而防止第二突出部破损等。本专利技术的密封部件优选的是，所述第一突出部的所述平面和所述第二突出部的所述平面被研磨处理。这样，能够消除第一突出部和第二突出部的表面粗糙等从而提高密封性。本专利技术的密封部件优选的是，所述横断面的形状是左右对称的形状。这样，因为施加于第一突出部和第二突出部的力均匀，所以能够防止因施加于密封部件的力不均匀，例如因第一突出部的平面按压第一面的平面压力变小而发生的泄漏或力集中于一个第二突出部而造成的第二突出部破损等。本专利技术的密封装置包括上述的密封部件和保持部件，所述保持部件设置于所述密封部件的周围，且保持所述密封部件，并被所述第一面或者所述第二面定位。并且，作为上述密封部件的制造方法，是以被夹持在彼此相对的第一面和第二面之间的方式配置的金属制密封部件的制造方法，其中，对具有彼此平行的正反面且以正面与所述第一面相对、反面与所述第二面相对的方式配置的金属部件，进行如下工序:第一工序，遮蔽所述金属部件的正面的规定区域，并从正面侧进行蚀刻，没有通过蚀刻去除的第一残留部分成为朝向所述第一面突出的第一突出部；以及第二工序，遮蔽所述金属部件的反面的规定区域，并从反面侧进行蚀刻，没有通过蚀刻去除的第二残留部分成为朝向所述第二面突出的一对第二突出部，在所述第一工序中形成的所述第一突出部配置于在所述第二工序中形成的一对所述第二突出部之间。通常，金属制的密封部件是将金属部件卷绕于筒形物而制造的，因此其形状被限定成圆环形，但是本专利技术的密封部件是通过蚀刻制造的，所以能够是任意形状。上述的密封部件的制造方法优选的是，从形成于一对所述第二突出部之间的槽部的底部到所述第二面的垂直距离，大于或等于从所述第一残留部分与所述第二残留部分交叉的交点到所述第二面的垂直距离。这样，因为通过第一工序的蚀刻去除的区域与通过第二工序的蚀刻去除的区域重合，所以能够通过两次的蚀刻从金属部件取下密封部件，从而容易地制造密封部件。并且，因为从金属部件取下密封部件时不需要进行机械加工，所以能够防止因进行机械加工而发生的密封部件变形或破损等不良，从而进一步高精度地防止泄漏。并且，上述的密封部件的制造方法优选的是，从所述第一残留部分与所述第二残留部分交叉的交点到所述第二面的垂直距离，小于从所述第一残留部分与所述第二残留部分交叉的交点到所述第一面的垂直距离。这样，能够进一步缩短从第二突出部的第一残留部分与第二残留部分交叉的交点到第二面的垂直距离，从而防止因施加于第二突出部的力造成第二突出部破损。根据这样构成的本专利技术，因为与第一面接触的第一突出部以及与第二面接触的第二突出部分别是平面，所以能够无需进行机械加工而容易地制造密封部件，且能够防止机械加工不良从而防止流体泄漏。并且，提高了第一突出部与第一面之间的平面压力，且第二突出部的端部与第二面点接触，所以能够进一步防止泄漏。【专利附图】【附图说明】图1是表示本实施方式的密封部件的俯视图。图2是用AA’线切断本实施方式的密封部件的剖视图。图3是表示本实施方式的密封部件的制造方法的第一工序的图，且是在厚度方向切断金属板的剖视图。图4是表示本实施方式的密封部件的制造方法的第一工序的图，且是在厚度方向切断金属板的剖视图。图5是表示本本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种密封部件，由金属制成，且以被夹持在彼此相对的第一面和第二面之间的方式配置，其特征在于包括：第一突出部，朝向所述第一面突出；以及一对第二突出部，朝向所述第二面突出，所述第一突出部配置在一对所述第二突出部之间，所述第一突出部的前端部分与所述第二突出部的前端部分是彼此平行的平面。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：安田忠弘，长澤政幸，林繁之，
申请(专利权)人：株式会社堀场STEC，
类型：发明
国别省市：日本;JP