【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于磁传感器
，具体涉及一种薄膜磁传感器及其制作方法。
技术介绍
敏感单元能够对磁场、电流、应力应变、温度、光等变化引起的磁变化起敏感作用并导致其磁性能发生变化。磁传感器是利用敏感单元的磁性能的变化特性，并将磁性能的变化转换成电信号，再分析电信号获得对应的物理量、特别是微弱信号的物理量的器件，其被广泛应用于航空、航天、微电子，地质探矿、医学成像、信息采集以及金融及军事等领域。在传统的工业领域里，线圈式磁传感器是应用较为广泛的磁传感器，但由于其体积大，灵敏度低和制作工艺复杂而难以集成。为此，相关技术人员开发了薄膜磁传感器，即利用磁感应薄膜形成惠斯通电桥电路，并利用惠斯通电桥电路获得感应磁变化。这种磁传感器不仅体积小，灵敏度高，易于集成，而且响应快、分辨率高、稳定性和可靠性高，因此具有广泛地应用前景。图1为目前使用的磁传感器的截面图。如图1所示，磁传感器包括壳体11、磁传感器芯片12、电路板13以及焊针18，磁传感器...
【技术保护点】
一种磁传感器，包括磁传感器芯片、第一印制电路板和屏蔽外壳，在所述屏蔽外壳上设有导磁孔，所述磁传感器芯片由所述第一印制电路板支撑，所述磁传感器芯片的感应面与所述导磁孔相对，其特征在于，所述磁传感器芯片的感应面不低于所述屏蔽外壳的内表面，并且所述磁传感器芯片的感应面不高于所述屏蔽外壳的外表面。
【技术特征摘要】
1.一种磁传感器，包括磁传感器芯片、第一印制电路板和屏蔽外
壳，在所述屏蔽外壳上设有导磁孔，所述磁传感器芯片由所述第一印
制电路板支撑，所述磁传感器芯片的感应面与所述导磁孔相对，其特
征在于，所述磁传感器芯片的感应面不低于所述屏蔽外壳的内表面，
并且所述磁传感器芯片的感应面不高于所述屏蔽外壳的外表面。
2.根据权利要求1所述的磁传感器，其特征在于，还包括第二印
制电路板，所述磁传感器芯片设置于所述第二印制电路板的表面，所
述第二印制电路板设置于所述第一印制电路板的表面，并将所述第二
印制电路板嵌置在所述导磁孔内，借助所述第二印制电路板使所述磁
传感器芯片的感应面高于所述屏蔽外壳的内表面。
3.根据权利要求2所述的磁传感器，其特征在于，所述磁传感器
芯片将感应到的磁信号转换为电信号，还包括用于将所述电信号放大
的功放电路，以及用于降低噪声干扰的第一滤波电路，所述功放电路
和所述第一滤波电路设置在所述第二印制电路板上。
4.根据权利要求1所述的磁传感器，其特征在于，在所述屏蔽外
壳的内侧，且在设置所述导磁孔的顶壁与与所述顶壁相邻的侧壁的连
接位置处设有倒角。
5.根据权利要求1所述的磁传感器，其特征在于，在设置所述导
磁孔的顶壁的内侧设有朝向所述顶壁的外表面凹进的凹部。
6.根据权利要求1所述的磁传感器，其特征在于，设置所述导磁
孔的顶壁的壁厚小于与其相邻的侧壁的壁厚。
7.根据权利要求1所述的磁传感器，其特征在于，所述磁传感器
芯片的感应面与设置所述导磁孔的顶壁的外表面之间的距离小于或等
于3μm。
8.根据权利要求1所述的磁传感器，其特征在于，在所述屏蔽外
壳的外表面，所述屏蔽外壳的顶壁与所述屏蔽外壳的侧壁的连接位置
处设有倒角。
9.根据权利要求1所述的磁传感器，其特征在于，所述磁传感器
芯片将其感应到的磁信号转换为电信号，还包括用于将所述电信号放
大的功放电路，以及用于降低噪声干扰的第一滤波电路，所述功放电
路和所述第一滤波电路设置在所述第一印制电路板上。
10.根据权利要求1所述的磁传感器，其特征在于，还包括多个
焊针，所述焊针固定于所述第一印制电路板，并与所述第一印制电路
板上...
【专利技术属性】
技术研发人员：时启猛，刘乐杰，曲炳郡，
申请(专利权)人：北京嘉岳同乐极电子有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11
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