高灵敏磁传感器及其制作方法技术

本发明专利技术提供一种高灵敏磁传感器，包括芯片(21)和封装基板(22)，芯片(21)包括衬底(31)以及设于所述衬底(31)的磁感应膜(32)和芯片焊盘(33)；所述磁感应膜(32)用于感应磁场并输出感应信号，所述芯片焊盘(33)作为所述芯片(21)的输入输出端与所述磁感应膜(32)对应电连接，所述磁感应膜(32)和所述芯片焊盘(33)设于所述衬底(31)的同一面；封装基板(22)上设有导电线路(26)，所述芯片焊盘(33)与所述导电线路(26)对应电连接；所述芯片(21)设置所述磁感应膜(32)的面朝向所述封装基板(22)叠置，而且所述芯片焊盘(33)与设于所述封装基板(22)表面的第一基板焊盘(24)对应电连接。该高灵敏磁传感器的灵敏度和一致性好，而且制作工艺简单，成品率高。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】PCT国内申请，说明书已公开。

【技术保护点】
PCT国内申请，权利要求书已公开。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】PCT国内申请，...

【专利技术属性】
技术研发人员：时启猛，王春华，
申请(专利权)人：北京嘉岳同乐极电子有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11