【技术实现步骤摘要】
本申请是申请日为2014年3月24日、国家申请号为201480000756.4、专利技术名称为“磁传感器及其磁检测方法”的PCT申请(国际申请号为PCT/JP2014/001676)的分案申请。
本专利技术涉及一种磁传感器及其磁检测方法,更详细地说,涉及一种至少将与基板垂直的磁场和与基板平行的磁场混合并能够以可将各磁场分量分离的状态检测各磁场分量的磁传感器及其磁检测方法。
技术介绍
通常,众所周知一种检测是否存在磁的巨磁阻(Giant Magnet Resistance;GMR)元件。将施加磁场时电阻率增加的现象称为磁阻效应,但是在通常的物质中变化率为百分之几,但是在该GMR元件中达到百分之几十,因此广泛使用于硬盘磁头。图1是用于说明以往的GMR元件的动作原理的立体图,图2是图1的局部截面图。在图中,附图标记1表示反铁磁性层,附图标记2表示钉扎层(固定层),附图标记3表示Cu层(分隔层),附图标记4表示自由层(自由旋转层)。在磁性材料的磁化方向上电子的自旋散射发生变化而电阻发生变化。也就是说,用ΔR=(RAP-RP)RP(RAP:为上下磁化方向反平行时,RP:为上下磁化方向平行时)来表示。通过与反铁磁性层1之间的磁耦合,固定层2的磁矩的方向被固定。当磁化自由旋转层4的磁矩的方向由于漏磁场而发生变化时,流过Cu层3的电流发生变化而能够读取漏磁场的变化。图3是用于说明以往的GMR元件的层叠结构的结构图,在图中,附图标记11表示绝缘膜,12表示自由层(自由旋转层),13表示导电层,14表示钉扎
层(固定层),15表示反铁磁性层,16表示绝缘膜。自 ...
【技术保护点】
一种磁传感器,对2轴方向或者3轴方向的磁进行检测,具备配置图案,该配置图案包括相对于基板平面分别平行地配置的三个以上的磁检测部以及相对于上述基板平面分别平行地配置的第一聚磁部至第三聚磁部,上述第一聚磁部至上述第三聚磁部配置成在沿上述第二聚磁部的长边方向输入磁场时,从上述第二聚磁部至上述第一聚磁部形成磁通分量的磁路以及从上述第二聚磁部至上述第三聚磁部形成磁通分量的磁路,上述三个以上的磁检测部具备一方的磁检测部群和另一方的磁检测部群,该一方的磁检测部群配置在上述第二聚磁部与上述第一聚磁部之间,该另一方的磁检测部群配置在上述第二聚磁部与上述第三聚磁部之间。
【技术特征摘要】
2013.03.26 JP 2013-064646;2013.07.09 JP 2013-143431.一种磁传感器,对2轴方向或者3轴方向的磁进行检测,具备配置图案,该配置图案包括相对于基板平面分别平行地配置的三个以上的磁检测部以及相对于上述基板平面分别平行地配置的第一聚磁部至第三聚磁部,上述第一聚磁部至上述第三聚磁部配置成在沿上述第二聚磁部的长边方向输入磁场时,从上述第二聚磁部至上述第一聚磁部形成磁通分量的磁路以及从上述第二聚磁部至上述第三聚磁部形成磁通分量的磁路,上述三个以上的磁检测部具备一方的磁检测部群和另一方的磁检测部群,该一方的磁检测部群配置在上述第二聚磁部与上述第一聚磁部之间,该另一方的磁检测部群配置在上述第二聚磁部与上述第三聚磁部之间。2.根据权利要求1所述的磁传感器,其特征在于,上述三个以上的磁检测部均在与上述基板平面平行的第一轴方向上具有感磁轴,上述2轴为与上述基板平面平行且与上述第一轴垂直的第二轴以及与上述基板平面垂直的第三轴,上述3轴为上述第一轴至上述第三轴。3.根据权利要求1或者2所述的磁传感器,其特征在于,在上述三个以上的磁检测部的各磁检测部中,从上述第一聚磁部与上述第二聚磁部之间的第一虚拟中线至上述一方的磁检测部群的各磁检测部的长边方向的中线为止的中线间距离以及从上述第二聚磁部与上述第三聚磁部之间的第二虚拟中线至上述另一方的磁检测部群的各磁检测部的长边方向的中线为止的中线间距离相互为0.7倍以上且1.3倍以下。4.根据权利要求3所述的磁传感器,其特征在于,各上述中线间距离相互相等。5.根据权利要求1或者2所述的磁传感器,其特征在于,上述第二聚磁部相对于上述第一聚磁部和第三聚磁部配置成在上述第二聚磁部的长边方向上错开。6.根据权利要求1或者2所述的磁传感器,其特征在于,俯视观察时上述第二聚磁部的重心不在连结上述第一聚磁部的重心和
\t上述第三聚磁部的重心的虚拟线上。7.根据权利要求1或者2所述的磁传感器,其特征在于,上述第一聚磁部与上述第二聚磁部的边缘间距离同上述第二聚磁部与上述第三聚磁部的边缘间距离相互为0.7倍以上且1.3倍以下。8.根据权利要求7所述的磁传感器,其特征在于,各上述边缘间距离相等。9.根据权利要求1或者2所述的磁传感器,其特征在于,还具备第四聚磁部和/或第五聚磁部,该第四聚磁部配置于该第四聚磁部与上述第二聚磁部夹持上述第一聚磁部的位置,该第五聚磁部配置于该第五聚磁部与上述第二聚磁部夹持上述第三聚磁部的位置。10.根据权利要求1或者2所述的磁传感器,其特征在于,在上述聚磁部的端部设置有聚磁部件而该聚磁部构成T字型、Y字型或者L字型的聚磁部。11.根据权利要求10所述的磁传感器,其特征在于,上述T字型、Y字型或者L字型的聚磁部的聚磁部件相互具有空隙部。12.根据权利要求1或者2所述的磁传感器,其特征在于,上述三个以上的磁检测部的沿长边方向的一部分隔着上述基板平面被上述第一聚磁部至上述第三聚磁部中的某一个覆盖。13.根据权利要求1或者2所述的磁传感器,其特征在于,上述配置图案除了具备上述三个以上的磁检测部以外,还具备辅助磁检测部,该辅助磁检测部被聚磁部覆盖。14.根据权利要求13所述的磁传感器,其特征在于,上述三个以上的磁检测部为四个磁检测部。15.根据权利要求13所述的磁传感器,其特征在于,上述辅助磁检测部被上述第一聚磁部至上述第三聚磁部中的某一个覆盖。16.根据权利要求1或者2所述的磁传感器,其特征在于,具有多个上述配置图案。17.根据权利要求16所述的磁传感器,其特征在于,在多个上述配置图案中,各配置图案中的上述第三聚磁部兼作邻接的后级的配置图案中的上述第一聚磁部。18.根据权利要求13所述的磁传感器,其特征在于,具有多个上述配置图案,在重复多个的上述配置图案中,各配置图案中的上述三个以上的磁检测部和/或上述辅助磁检测部与邻接的后级的配置图案中的上述三个以上的...
【专利技术属性】
技术研发人员:山下昌哉,山县曜,田中健,御子柴宪彦,
申请(专利权)人:旭化成微电子株式会社,
类型:发明
国别省市:日本;JP
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