本发明的课题在于，提供能够保证泳动介质的密封性并且使送液压力稳定化的泳动介质容器。为了解决上述课题，本发明的泳动介质容器构成为，具备保持泳动介质的注射筒部和密封上述注射筒部的一端的密封部件，上述泳动介质容器的特征在于，上述密封部件具有密...

提供能减少样品的针对面内方向的处理的偏差并提高处理的成品率的技术。本等离子处理装置(1)具备：配置于样品台(110)内的第1电极(基材(110B))；包围样品台(110)的上表面部(310)(电介质膜部(110A))的外周侧地配置的环状...

本发明的电荷粒子线装置对操作者的观察条件设定进行辅助，使得能够不局限于基于操作者的经验的试错地，通过电荷粒子线装置获取希望的画质(对比度等)的图像。为此，是一种电荷粒子线装置，其具备：试料(115)台，其载置试料；电荷粒子光学系统，其向...

一种带电粒子射线装置，具备：存储部，其存储有显示前述带电粒子射线照射于配置在试样上的层时得到的带电粒子信号的强度或强度比与前述层的厚度的关系的关系信息；以及运算部，其使用前述关系信息与前述带电粒子信号的强度或强度比，算出前述层的厚度作为...

本发明提供一种等离子处理装置以及等离子处理方法，等离子处理方法针对预先形成在真空容器的内部的处理室内所载置的晶片的上表面、且包含处理对象的膜以及配置于该膜的下方的基底膜的膜构造，利用形成于处理室内的等离子来进行处理，其具备：在任意的晶片...

本发明提供等离子处理装置以及等离子处理方法，即使不改变所期望的工艺条件也能提升等离子点火性，抑制给被处理物的处理后尺寸带来影响。等离子处理装置(100)具备：处理室(114)；产生微波并投射到处理室(114)内的磁控管(105)；配置于...

本发明提供一种色谱质谱分析方法，其具有下述工序：将具有与分析对象成分类似的保留时间并且质荷比不同的内标物质添加至试样的工序，利用色谱质谱分析装置测定试样，获得分析对象成分的色谱图(101)和内标物质的色谱图(102)的工序，由内标物质的...

提供一种自动分析装置，其特征在于，包括：用于使样本和试剂混合反应的反应单元；将试剂分注至所述反应单元的第1试剂分注机构；配置于所述第1试剂分注机构的轨道上的第1试剂容器；用于使样本和试剂混合反应的反应容器；从所述反应单元吸引试剂，并向所...

本发明提供一种带电粒子束装置，能够检测在光轴附近通过的能量高的信号电子，例如背散射电子(BSE)、辅助光学系统中的二次电子(SE)。因此，该带电粒子束装置具有：带电粒子束源(101)，其产生带电粒子束；物镜(105)，其将带电粒子束聚集...

一种薄膜器件保存装置，其具备具有包含Si的厚度100nm以下的绝缘性的薄膜的薄膜器件3、与薄膜接触的溶液以及具有将溶液密封的槽的容器，溶液为满足下述(1)～(3)的任一条件的溶液。(1)包含体积比0％以上30％以下的水的溶液，(2)被冷...

本发明提供防止反应容器内的液体与后添加的液体局部高浓度地接触、装置故障的产生频度少并且高性能的自动分析技术。自动分析装置(1)具备：反应容器盘(120)，其保持反应容器(116)；搅拌机构(124)，其非接触地搅拌反应容器(116)内的...

在氧化膜的各向同性干式蚀刻中兼顾异物污染产生和蚀刻量的高精度控制。通过处理对象的表面重整工序和膜除去的工序对氧化膜进行蚀刻，处理对象的表面重整工序将包含第一步骤、第二步骤和第三步骤的多个步骤作为步骤集合重复多次，第一步骤将包含氟化氢的气...

提供提升样品的蚀刻处理的均匀性、进而提升成品率的等离子处理装置以及等离子处理方法。在对放置在配置于真空容器内部的处理室内的样品台的上表面上方的晶片使用在该处理室内形成的等离子进行处理的等离子处理装置或等离子处理方法中，多个电极配置于所述...

本发明提供一种样品处理装置，其包括在下表面侧具有流路的分析芯片、在上表面侧具有多个凹部的驱动部、位于分析芯片与驱动部之间的弹性膜、切换弹性膜向分析芯片侧紧贴还是向驱动部侧紧贴的气压控制部，其中，分析芯片包括用于液体的定量的定量流路和从该...

自动分析装置具备：将自动分析装置(100)中的各种参数亦即按照使用自动分析装置(100)的每个标高而最佳化后的参数与各标高对应起来进行存储的存储部(21b)；获取设置了自动分析装置(100)的标高的信息的输入部(21d)；以及基于输入部...

本发明提供一种带电粒子束装置，其具有：照射系统，其对试样供给会聚的带电粒子束，并通过所述带电粒子束扫描所述试样；成像光学系统，其对来自所述试样的能量进行成像；检测系统，其通过雪崩光电二极管阵列检测由所述成像光学系统形成的图像；以及控制部...

本发明的目的在于通过简易的方法来提高恒温仪所保持的多个反应容器内的反应液的温度均匀性。本发明的自动分析装置包括：恒温仪，该恒温仪具有用于搭载反应容器的多个位置，该反应容器中注入了混合有试剂和检体的反应液；以及加热所述恒温仪的带状加热器，...

本发明的缺陷检查装置具备：照明部，其向试样的检查对象区域照明从光源射出的光；检测部，其检测从上述检查对象区域产生的多个方向的散射光；光电变换部，其将通过上述检测部检测出的上述散射光变换为电信号；信号处理部，其对通过上述光电变换部变换后的...

提供一种用于在基板上规则地配置、无扩增偏倚地形成扩增核酸片段簇的方法和装置。本发明涉及的方法中，在具有具备亲水性的多个第一表面、和围绕各个前述多个第一表面且亲水性比前述第一表面低的第二表面的基板上，形成封入有作为模板的核酸的液滴，在基板...

本发明提供在环境声音等干扰作用于装置而使试样台振动时，在维持使该试样台的振动降低的支撑部件的刚性的状态下赋予衰减的技术。本公开的带电粒子束装置具备能够移动试样的试样台、使该试样台的振动衰减的衰减部、以及容纳试样台和衰减部的试样室。在该带...