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株式会社日立高新技术专利技术
株式会社日立高新技术共有2368项专利
扫描电子显微镜制造技术
本发明提供不应用减速法的扫描电子显微镜,其抑制因BSE而激发的SE3的检测量,具备针对在样品上产生的SE1的能量筛选检测功能。该扫描电子显微镜具有:电子光学系统,其具有产生照射电子束的电子源(21)和使照射电子束会聚于样品上的物镜(12...
自动分析装置制造方法及图纸
本发明实现一种自动分析装置,即使在液面检测到了气泡的情况下也再次执行气泡的检测而能不伴随高价格化地减轻用户的作业负担。具备:吸引液体的液体分注机构(15);测定液体分注机构(15)具有的探针(16)内的压力变化的压力传感器(26);基于...
检体处理系统技术方案
提供一种能有助于节省空间的检体处理系统。检体处理系统包括:将投入托盘上的检体投入至托架的投入模块;将所述检体从所述托架收纳至收纳托盘的收纳模块;以及存储所述托架的储备模块,其特征在于通过所述检体被收纳从而产生的空托架无需传送至所述储备模...
自动分析系统技术方案
通过将多个维护项目并行地执行,从而缩短自动分析装置的维护时间。自动分析系统10具备自动分析装置11和终端装置38。自动分析装置11对样本进行测定。终端装置38具有显示部32、操作部32、以及设置于计算机30的控制部。显示部32显示对自动...
离子铣削装置制造方法及图纸
本发明的目的在于提供一种减少通过离子束照射而被弹飞的来自试样的微粒再次附着于离子铣削面的现象的技术。在本发明的离子铣削装置中,具备:离子源,其照射离子束;腔室;试样台,其在腔室内载置试样;遮蔽板,其载置于试样;以及磁铁,其配置在腔室内,...
电荷粒子显微镜装置和广角图像生成方法制造方法及图纸
本发明在生成的广角图像中残存局部的位置偏差时,也能够促使进行用于修正局部位置偏差的用户输入,并根据该用户输入重新生成在重叠区域的局部区域中位置偏差量也小的广角图像。电荷粒子显微镜维持相邻的拍摄图像重叠的区域即重叠区域并拍摄多张拍摄图像,...
凹面衍射光栅的制造方法、凹面衍射光栅及使用其的分析装置制造方法及图纸
能够容易地、高精度地将衍射光栅的沟槽图案的沟槽周期与凸面固定基板的位置进行对准。为此,将形成于平面衍射光栅(101)的、具有不等间隔的沟槽周期的沟槽图案(103)转印至金属薄膜(105),在具有固定金属薄膜(105)的凸面的固定基板(1...
检体处理系统技术方案
本发明的检体处理系统包括对收纳于检体容器(24)的检体进行分析前处理的前处理单元(1);对由前处理单元(1)实施了前处理的检体进行分析处理的分析装置(4);在前处理单元(1)和分析装置(4)之间传送检体容器(24)的检体传送单元(2);...
检体处理系统技术方案
进行检体的前处理、分析的检体处理系统(100)具备:检测系统内所设置的驱动设备的驱动状态的传感器(5a、5b、…),基于传感器(5a、5b、…)所检测到的信号波形,判定驱动设备是否发生异常的异常检测部(3a),以及记录装置;记录装置在依...
分析装置制造方法及图纸
本发明实现一种分析装置,结构简单、低价,可提高安全性,且可进行利用了紫外线的微生物的繁殖抑制。在向共用试剂收纳容器(110)内照射紫外线的紫外LED(204)与向紫外LED(204)供给电力的电源(206)之间串联连接第一电力开闭器(2...
自动分析装置制造方法及图纸
本发明提供自动分析装置,即使在小规模的结构中,也能够容易地实现动作中的追加试剂的投入、更换。因此,具备从容纳有试剂的试剂容器(113)中分注试剂的试剂分注机构(107)和保管试剂容器的通常试剂保管部(130)及追加试剂保管部(111)。...
自动分析装置以及自动分析方法制造方法及图纸
本发明提供一种技术,其涉及具备两种以上的多个光度计的自动分析装置,即使在存在测定时的异常等的情况下,也能够根据多个光度计的测定结果以及数据警报实现合适的输出。自动分析装置具备定量范围不同的例如两种光度计、以及控制分析的分析控制部,所述分...
图案测量装置及图案测量方法制造方法及图纸
提供一种图案测量装置,具备运算装置,该运算装置基于由带电粒子束装置得到的信号,对形成在试料上的图案的尺寸进行测定,所述运算装置具有:位置偏移量算出部,其根据以任意的射束倾转角获取到的图像,算出不同高度的两个图案之间的与晶片表面平行的方向...
生物化学-凝固复合型分析装置制造方法及图纸
应用于生物化学或血液凝固分析中的生物化学‑凝固分析装置中,即使使用者新将反应容器架设在反应容器架设架上,在没有设置自动识别所架设的反应容器的传感器的情况下,自动分析装置存在如下课题:不自动更新反应容器数量,在分析中途反应容器消失而无法进...
自动分析装置制造方法及图纸
将驱动机构设于比容器的底面靠下部,该驱动机构将载置废弃盒的容器沿与抽屉的开闭方向相同的前后方向移动,设置沿操作部的移动方向延伸的第一轨道和沿设于抽屉的容器的移动方向延伸的第二轨道,以使带齿传送带在水平面内旋转的方式配置带齿滑轮,第一轨道...
连接模块及干涉避免方法技术
本发明提供不依赖于搬出目的地的装置的自由度高的自动分析装置的连接模块。因此,连接于具有架转子机构(4)的自动分析装置(70)的连接模块(71)具有:使架(3)从架转子机构(4)向旋转保持件(9)移动的架搬出机构(5);使移动至旋转保持件...
自动分析装置制造方法及图纸
本发明的目的是提供一种自动分析装置,抑制各种环境变化对免疫结合反应的平衡状态造成的影响。本发明的一个方式的自动分析装置包括:B/F分离部,该B/F分离部执行从使试料和试剂进行反应的液体中分离未反应成分和反应成分的B/F分离工序;检测部,...
带电粒子束装置以及清洁方法制造方法及图纸
本发明提供一种带电粒子束装置,具备载置试样的工作台、将上述试样上的污染物质除去的清洁器、以及在上述清洁器的使用时通过使上述工作台移动来调节上述清洁器与上述试样的相对位置关系的工作台控制部。
带电粒子线装置制造方法及图纸
本发明提供能够有效减少实施SEM观察时的残留磁场的作用的带电粒子线装置。本发明涉及的带电粒子线装置实施将第1线圈截止后在第2线圈流过直流电流的第1模式和将所述第1线圈截止后在所述第2线圈流过交流电流的第2模式中的至少任一种模式。
带电粒子线装置制造方法及图纸
本发明通过简单的构造来实现能够抑制来自形成SEM的物镜的磁极片的泄漏磁场的复合带电粒子线装置。本发明涉及的带电粒子线装置一面使电流流过构成物镜的第1线圈一面取得粒子束观察像,在多个电流值下实施通过使电流流过第2线圈来减少该像偏差的动作,...
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