本发明提供等离子处理方法及其处理装置，在对使用了含硼的无定形碳膜的层叠膜进行蚀刻时，通过实现高选择比、高蚀刻速率而能够进行连贯加工，通过简化掩模成膜工序来实现包括前后工序在内的高处理量化，进而具有垂直加工的形状控制性。本发明是通过对具有...

本发明提供即使自动分析装置分注的溶液的量是少量、有未测量的未知的参数，也能够高精度地预测分注状态的技术。自动分析装置具备：探头，其分注液体；注射器，其产生用于探头分注液体的压力变动；流路，其连接探头和注射器；压力传感器，其测定探头分注液...

在保证控制用的普通通信的实时性和高速性的同时，并行执行装置信息的收集。分布式控制系统具有：中央运算装置；中央通信装置(11)；连接至少一个控制装置的多个终端通信装置(12)；信息累积装置(15)；以及具备中央通信装置与终端通信装置之间、...

本发明将进行多个不同分析的测定单元集成为一台自动分析装置中，要求即使在某个测定单元发生异常时，仍能使可动作的其它测定单元工作。然而，关于共通管理的试剂、消耗品，存在如下问题：即使在实施屏蔽以不使用某个测定单元的情况下，屏蔽的状况不被反映...

本发明的电泳装置是利用电泳向毛细管内输送样品，对该样品进行光学测量的电泳装置，具备：毛细管；设于毛细管的前端的毛细管头；用于电泳的填充有泳动介质的泳动介质填充容器；覆盖泳动介质填充容器的侧面的导向部件；从下方密封填充于泳动介质填充容器的...

随着半导体器件的微细化而具有晶圆上的划线区域也减少的倾向。因此，划线区域所配置的TEG也需要减小，并且需要高效地配置供探针接触用的电极焊垫。因此，需要使电极焊垫的高效布局与探针对应。本发明的目的是提供一种使容易进行电气特性评价的TEG的...

本发明的目的在于提供一种在由电子显微镜取得连续倾斜图像时更高速且高倍率地拍摄图像的技术。在本发明的电子显微镜中，具备固定于电子显微镜的镜体并相对于试样支架的前端所具备的球形支点滑动的第一球面承载件、设于镜体的球面部、以及设于镜体的外部的...

随着半导体器件的微细化而具有晶圆上的划线区域也减少的倾向。因此，划线区域所配置的TEG也需要减小，并且需要高效地配置供探针接触用的电极焊垫。因此，需要使电极焊垫的高效布局与探针对应。本发明的目的是提供一种使容易进行电气特性评价的TEG的...

本发明的扫描电子显微镜具备：自旋检测器，其测定从试样释放的二次电子自旋极化；分析装置，其对上述自旋检测器的测定数据进行分析。在上述测定数据中，上述分析装置确定上述二次电子自旋极化局部性变化的区域的宽度。并且，上述分析装置根据上述区域的宽...

本发明提供一种带电粒子射线装置、截面形状推定程序，目的在于提供能够简便地推定图形的截面形状的带电粒子射线装置。本发明的带电粒子射线装置对能量辨别器的分别不同的每个辨别条件取得检测信号，将上述每个辨别条件的检测信号与基准图形进行比较，由此...

本公开的目的在于提供一种技术，在使反应容器内的磁性粒子溶液的液量阶段性减少的清洗工序中，使残留于反应容器壁面的磁性粒子量降低。本公开的自动分析装置以将在上次的清洗工序中残留于容器的壁面的磁性物质在下一清洗工序中被清洗液捕获的方式使上述搅...

本发明提供一种自动分析装置及分析方法，确认是否能够按照预约实施所预约的维护项目，在判断为无法按照预约实施所预约的维护项目时变更预约内容。自动分析装置具备：测定检体成分的分析部；用于对分析部输入分析预约、维护预约的输入部(107)；存储从...

本发明提供在观察面(相当于显微镜观察视野的平板的一部分)无裂纹的带抗菌剂的干燥平板。根据本实施方式，导入抗菌剂并进行了真空干燥的抗菌剂导入平板在洼坑的边缘部具有凹陷，在洼坑的中央附近具有显微镜观察部分，该显微镜观察部分具有与洼坑底面大致...

为了能将晶片均匀加热从而提高处理的吞吐量，样品的处理方法多次重复包含如下工序的处理工序来对样品进行处理：吸附工序，在导入了处理气体的等离子产生室内通过等离子产生单元产生了等离子的状态下，在载置于与等离子产生室连接的处理室的内部的样品台的...

为了在计算帧累积图像之前将试样表面的带电量控制为所希望的值，本发明具备：带电粒子束源(103)，向试样照射带电粒子束；偏转器(111)，在上述试样的观察区域扫描上述带电粒子束；检测器(112)，检测通过上述带电粒子束的扫描从上述试样释放...

本发明的目的在于，对于使用输出与离子浓度对应的电位的离子检测元件的离子浓度测定装置，抑制由存储器产生的噪声、热量对测定结果造成的影响。本发明的离子浓度测定装置具备收容有离子检测元件和存储器的盒，在除了取得离子检测元件所生成的电位的期间之...

本发明提供一种分注装置，其能够高速且高精度地进行分注并且实现了小型化。分注装置(300)将液体试样抽吸到一次性尖头(110)内并将抽吸的液体试样排出，该分注装置(300)具备：供活塞插入的活塞收容部(109)、通过对在活塞收容部(109...

使被蚀刻层的表面吸附原子团来形成反应层，在将其除去的情况下，为了能不使附着、堆积于被蚀刻层以外的表面的原子团引起的被蚀刻层以外的表面的粗糙发生地除去反应层，在对具备预先配置于被处理样品上的下层的膜以及配置于其上方的处理对象的上层的膜的膜...

本发明的目的在于：在获取多个样本切片的图像的拍摄装置中，容易地获取各切片之间的对应的位置的图像。本发明的拍摄装置根据第一样本切片的特征点和第一观察区域之间的对应关系，计算第二样本切片的第二观察区域的坐标，并生成该计算出的坐标处的观察图像...

为了实现在改善前端变细的形状的同时抑制蚀刻速率下降的等离子体蚀刻方法，等离子体处理装置具备对试料进行等离子体处理的处理室、供给用于生成等离子体的高频电力的第一高频电源、载置试料的试料台以及向试料台供给高频电力的第二高频电源，其中，该等离...