本发明的分析系统具备：分析装置，其通过色谱将包含用M种荧光体的任意一种标记了的多个成分的试样进行分离，在上述多个成分的至少一部分没有完全分离的状态下，取得在N种的波长频带中检测出的荧光信号的第一时序数据，其中，M>N；计算机，其通过对上...

本发明提供等离子处理方法以及等离子处理装置。能提升被处理基体即晶片的处理的效率，提高处理的吞吐量。等离子处理装置具备：真空容器；在真空容器的内部载置样品的样品台；将真空容器的内部排气的排气部；对真空容器的内部供给处理气体的气体供给部；对...

本发明提供探索装置、探索方法以及等离子处理装置。实现处理装置中的最优处理条件探索的高效化。模型学习部(108)根据学习数据来学习预测模型，指标设定部(107)通过对目标输出参数值和学习数据的输出参数值当中最接近目标输出参数值的输出参数值...

本发明的目的是提供等离子体处理方法，对半导体基板等的晶片进行等离子体蚀刻，能够通过晶片的蚀刻处理除去在处理室内堆积的金属与非金属的复合堆积物，并减少基于堆积物的异物的产生。本发明中，在处理室内对试料进行等离子体蚀刻并对所述处理室内进行等...

本发明提供一种即使在使用六硼化物的情况下，也能够长时间稳定地使用的电子源和使用它的电子束装置。电子源包括：金属制的灯丝(103)；金属管(112)，其被固定在灯丝(103)上，在外周具有以包围中心轴的方式配置在至少2轴方向上的多个凹部(...

本发明实现一种能够利用简单且少量的机构来继续测定并连续地实施消耗品的供给的自动分析装置。自动分析装置具备执行样本的分析所需的处理的单元、向上述单元供给样本的分析所需的消耗品的消耗品供给单元、以及控制上述单元及上述消耗品供给单元的动作的控...

本发明存在以下课题，在标高高且外部气压不同的环境中设置自动分析装置的情况下，因真空泵的性能下降而真空抽吸量下降，分析后的反应液等的真空抽吸变得困难。因此，通过在连接真空罐(53)和真空泵(54)的流路之间新设置压力调节机构(62)，无论...

本发明涉及在具有带电粒子光学镜筒(2)、第一试样设置部(419)和隔膜(10)的带电粒子线装置中调整隔膜和试样的距离的方法，所述隔膜(10)用于将配置试样(6)的空间从所述带电粒子光学镜筒(2)内部隔离。调整中，使用具有第二试样设置部(...

为了分析性能的提高、装置的每单位空间的处理能力的提高，需要将具有分别不同的目标温度的多个单元更集中地配置于装置上。因此，需要减轻在单元间互相产生的温度的影响。基于装置的使用环境温度与各单元的目标温度的关系和单元要求的温度精度，使装置内的...

本发明提供一种照射带电粒子束来观察试样的测量装置，其特征在于，包括：输出带电粒子束的粒子源；使带电粒子束聚焦的透镜；对从照射了带电粒子束的试样发射的发射电子的信号进行检测的检测器；和基于观测条件对带电粒子束的输出和发射电子的信号的检测进...

自动分析装置具备：包含对试样进行测定的测定部的多个测定单元；经由第一路径与所述多个测定单元连接的吸引容器；经由第二路径与所述吸引容器连接的减压排气系统；经由第三路径与所述吸引容器连接的排出部；配置于所述第二路径的压力调整机构；以及以利用...

本发明的毛细管电泳装置能够保持多个毛细管的每一个的长度方向的温度均匀，因此能够使毛细管电泳装置的分离性能稳定化，能够提高分析性能。本发明的毛细管电泳装置具备：恒温槽，其具有热源、第一导热部件、以及试样检测用的检测窗，且将毛细管保持为预定...

在对具备液面检测功能的喷嘴进行清洗的喷嘴清洗器中，防止无意识的电蚀。在具有贮存清洗液的清洗槽(206)、在喷嘴清洗时以浸渍在清洗槽所贮存的清洗液中的方式配置的第一导电性部件(221)、以第二导电性部件(209)的至少一部分在喷嘴清洗时浸...

一种电流测量装置，具备第一槽(11)、第二槽(12)、具有连通第一槽和第二槽的纳米孔(2)且配置于第一槽与前述第二槽之间的薄膜(3)、设于第一槽的第一电极(13)以及设于第二槽的第二电极(14)，纳米孔的壁面具有防止填充于第一槽和/或第...

本发明的等离子体处理装置提高等离子体处理装置的合格率。具备：处理室；样品台，设置在该处理室内部，对被处理物进行载置；真空排气部，将处理室内部排气成真空；和等离子体产生部，在处理室内部产生等离子体，在处理室内部载置被处理物的样品台，具备：...

为了提供像差校正范围宽且容易控制并能够实现高精度的像差校正并且低成本的像差校正器，在使电子射线经过中心轴(201)的像差校正器中，具备：第一电流线群(101‑112)，在从中心轴起相隔R1的位置处与光轴平行地配置，激励第一多极场；以及第...

实现除了具备能够在驱动频率20～100kHz的范围中对喷嘴前端(特别是外周)进行清洗的振动部的结构以外还具备即使在低的液位下也在液体中发生驻波的清洗槽的超声波清洗器。超声波清洗器具有：清洗槽(206)；超声波振子；振动头(209)，从超...

本发明提供一种用于简单地更换色谱柱的色谱柱更换装置以及适用于该色谱柱更换装置的色谱柱。本发明的结构是一种色谱柱更换机构，包括：在两端具有内螺纹的色谱柱；固定所述色谱柱的端部的第一接合部；以及第二接合部，该色谱柱更换机构的特征在于，所述第...

具备：检体架投放部(12)，其能够保持一个以上的检体架(5)，该检体架(5)搭载有收容了成为分析对象的检体的一个以上的检体容器(6)；一个以上的分析装置(2、3)，其分析检体容器(6)中收容的检体；检体架输送部(14)，其将检体架(5)...

自动分析装置具备：产生中心波长为340nm以下的光的光源；被上述光源的光激励而发光，且与上述光源的透射光结合而产生波长340nm～800nm的光的荧光体；聚光透镜；至少一个狭缝；保持试样和试剂混合而成的反应溶液且供来自上述光源的光和来自...