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珠海恒格微电子装备有限公司专利技术
珠海恒格微电子装备有限公司共有67项专利
等离子蚀刻装置及其双腔结构制造方法及图纸
本实用新型公开的等离子蚀刻装置及其双腔结构,包括外腔壳、两组气动门体机构、上冷却组件及上电极、下冷却组件及下电极和纵横导向机构,在外腔壳的相对两侧分别设有进料口和出料口,两组气动门体机构分别安装于外腔壳的进料口和出料口处;上冷却组件及上...
一种电极清洁方法技术
本发明提供的电极清洁方法包括以下步骤:S1,定位电极件;S2,将激光射枪放置于支撑架,激光射枪的激光口朝向电极件;S3,提起激光射枪,以两个红点合在一起为基准而调整激光射枪的枪头的高度;S4,同时按压激光射枪的把手的两个按钮;S5,摆动...
PCB板的立式上下料机制造技术
本实用新型公开的PCB板的立式上下料机,包括立柱支架、上下料吊升装置和上下料横移进给装置,上下料吊升装置安装于立柱支架上,上下料横移进给装置安装固定于上下料吊升装置上,用于将PCB板移送至其上的板框夹具锁紧、并在上下料吊升装置带动下升降...
一种PCB板的自动上下料控制装置制造方法及图纸
本实用新型公开的一种PCB板的自动上下料控制装置,包括基座板、两组限位立板、板体载具定位机构、两组板体横移机构、板体升降抓取机构和板框移送机构,板体载具定位机构上设置有对PCB板定位及装卸锁紧的板框夹具和用于板框夹具沿移送通道方向导向及...
半自动上板机制造技术
本发明公开的半自动上板机,用于板体的批量化装配和定位,包括底架座、板框夹具、至少二组板框锁定件和至少二组板体自锁夹持件,板框夹具用于承托固定板体,且外缘限位固定于底架座顶端的台面上;至少二组板框锁定件分别分置于板框夹具正对应的两侧边框外...
一种抓手装置及其物料移送系统制造方法及图纸
本发明公开的一种抓手装置及其物料移送系统,包括安装座、上夹手和下夹手机构,上夹手连接固定于安装座上,其上设置有位于物料上方的夹取支撑点;下夹手机构包括动力驱动部、下夹头和夹头转动件,上夹手的夹取支撑点侧旁的待抓取物料外缘还设有用于对夹头...
一种水平收板送板装置制造方法及图纸
本发明公开的一种水平收板送板装置,用于板框夹具或板框夹具上的物料自动水平移送,包括基座板、两组限位立板、多组顶侧限位压轮、多组底侧限位承托轮、多组旁侧限位轮和板框移送机构,两组限位立板分别相对的竖直安装于基座板两侧;多组顶侧限位压轮、多...
一种自动横移传送机构及其PCB板上下料装置制造方法及图纸
本发明公开的一种自动横移传送机构及其PCB板上下料装置,包括支撑板、驱动部、第一传送带、第一滑轨及第一滑块组件、第二滑轨及第二滑块组件、第二传送带和皮带固定柱,第一传送带一端套装于驱动部的主动轮上,另一端套装于支撑板上安装的第一从动轮上...
双工位等离子刻蚀机制造技术
本发明公开的双工位等离子刻蚀机,包括上料生产线、上料吊升装置、双工位等离子刻蚀装置、下料吊升装置和下料生产线,上料吊升装置用于将上料生产线输送的待加工PCB板放置于板框夹具上锁紧固定、以及送料至每个蚀刻加工单元;该双工位等离子刻蚀装置采...
一种夹持尺寸可调的夹持架及夹持装置制造方法及图纸
本实用新型提供的夹持尺寸可调的夹持架及夹持装置,夹持架包括第一横架、第二横架与竖架,夹持架还包括动夹板,动夹板可转动地连接于第一横架;第一横架设有第一定位孔,竖架设有若干第二定位孔,夹持架的定位件插入于第一定位孔与第二定位孔。电路板受夹...
一种夹持尺寸可调的夹持装置制造方法及图纸
本实用新型提供的夹持尺寸可调的夹持装置包括相互可转动连接的第一夹板与第二夹板,夹持装置还包括定位条,定位条包括抵接部与连接部,抵接部包括第一板部、第二板部与主体部,第一板部与第二板部直接布置有容纳口,连接部设有定位孔,连接部受夹于第一夹...
一种用于电路板蚀刻或清洗的夹持装置制造方法及图纸
本实用新型提供的用于电路板蚀刻或清洗的夹持装置包括相互可转动连接的第一夹板与第二夹板,夹持装置还包括弹性片、紧固机构与磁性件,弹性片受夹于第一夹板与第二夹板,紧固机构的第一部可拆卸地固定连接于第一夹板,紧固机构的第二部可拆卸地固定连接于...
一种除胶设备制造技术
本实用新型提供的除胶设备包括除胶反应机构与基架,除胶反应机构布置于基架内,除胶设备包括滑动组件,滑动组件包括滑轨、滑块、连接件与弹性件,连接件包括第一横板、第二横板与竖板,弹性件的一端抵接于第二横板,弹性件的另一端抵接于除胶反应机构;沿...
一种用于微波蚀刻设备的测温机构制造技术
本实用新型提供的用于微波蚀刻设备的测温机构,微波蚀刻设备包括送料机构与蚀刻设备,送料机构的出料口对接于蚀刻设备的进料口,测温机构包括测温传感器与固定件,固定件包括依次布置的第一回转部、第二回转部与第三回转部,第一回转部与第三回转部的外径...
一种用于电路板蚀刻或清洗的夹持装置制造方法及图纸
本实用新型提供的用于电路板蚀刻或清洗的夹持装置包括相互可转动连接的第一夹板与第二夹板,夹持装置还包括夹持件与辅助件,夹持件与第二夹板之间设有调位区,辅助件位于第一位置时,辅助件与调位区为隔空相对设置;辅助件转动至第二位置时,辅助件的至少...
一种工件移送组件及等离子蚀刻装置制造方法及图纸
本实用新型涉及电路板、半导体制造技术领域,尤其涉及一种工件移送组件及等离子蚀刻装置,所述工件移送组件包括:托盘和设置在蚀刻腔内的第一导槽,托盘上设置有与第一导槽相配合的导轨,第一导槽的上方或下方设置有若干个第一主动齿轮,导轨上设置有与第...
PCB显影废液的循环回用系统技术方案
本实用新型涉及PCB制造领域,公开了一种PCB显影废液的循环回用系统,包括前级处理装置、后级处理装置、高压泵、浓缩箱和回收箱,前级处理装置包括离心过滤组件,后级处理装置包括精细过滤组件。本循环回用系统的前级处理装置将显影废液中直径大于1...
一种应用于线路板生产设备的低温保养装置制造方法及图纸
本实用新型涉及电路板加工设备保养维护技术领域,尤其涉及一种应用于线路板生产设备的低温保养装置,包括:机架,连接有移动组件,移动组件可驱使机架在水平面上往复移动;存储室,设置在机架上,用于存放固体低温清洁粒子;第一喷头,通过第一增压组件与...
一种可调式活动夹具制造技术
本实用新型涉及电路板技术领域,尤其涉及一种可调式活动夹具,包括框体、移动杆、压紧片和磁体,移动杆可沿框体的长度或宽度方向直线移动以调节工作平面的大小;压紧片铰接在框体上和/或移动杆上并且压紧片上设置有弹性压片;磁体用于磁吸框体与压紧片和...
一种方便维护的等离子蚀刻装置制造方法及图纸
本实用新型涉及电路板加工设备技术领域,尤其涉及一种方便维护的等离子蚀刻装置,包括:基座;蚀刻箱,设置在基座上,具有内腔并且上端敞开;盖体,可转动盖设在蚀刻箱的上端;等离子发生组件,设置在盖体上;转动驱动机构,一端铰接在基座上,另一端与盖...
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