珠海恒格微电子装备有限公司专利技术

珠海恒格微电子装备有限公司共有67项专利

  • 本实用新型涉及电路板加工设备技术领域,尤其涉及一种微波等离子体发生装置,包括:等离子腔,连接有第一冷却组件以及气体通入组件,所述等离子腔的下端开设有输出口;微波导入腔,设置在所述等离子腔的上端,并且所述等离子腔和所述微波导入腔之间通过石...
  • 本实用新型涉及电路板加工设备技术领域,尤其涉及一种等离子蚀刻设备,包括:基座;蚀刻腔,设置在基座上,用于容置电路板,并且蚀刻腔的一端敞开;门板,设置在蚀刻腔上敞开的一端,门板的一侧或两侧设置有限位杆;支架,设置在基座上,设置有与限位杆相...
  • 本实用新型涉及电路板技术领域,尤其涉及一种框式夹具,包括:第一框体;第二框体,一端与第一框体铰接;其中,第一框体和第二框体上均设置有相吸合的磁体,并且第一框体与第二框体之间设置有用于压紧产品的弹性压片本实用新型的框式夹具具有相铰接的第一...
  • 本发明涉及电路板加工设备技术领域,尤其涉及一种微波等离子体发生装置及等离子蚀刻设备;本发明的微波等离子体发生装置在的等离子腔的上端设置微波导入腔,并且微波导入腔和等离子腔之间通过石英板隔开,等离子腔连接第一冷却组件,所述第一冷却组件为形...
  • 本发明涉及PCB制造领域,公开了一种PCB显影废液的循环回用系统,包括前级处理装置、后级处理装置、高压泵、浓缩箱和回收箱,前级处理装置包括离心过滤组件,后级处理装置包括精细过滤组件。还公开了一种使用上述循环回用系统的PCB显影废液的循环...
  • 本发明涉及电路板加工设备保养维护技术领域,尤其涉及一种应用于线路板生产设备的低温保养方法及低温保养装置,本发明的低温保养方法通过低温清洁粒子冲击待清洗设备的表面,使得待清洗设备表面的污质迅速冷却凝结和脆化,从而能够从表面被剥离,随气流清...
  • 本实用新型涉及等离子清洗设备技术领域,尤其涉及一种抽拉式活动治具及等离子清洗装置,安装在机架上,包括基座,基座的底部设置有移动组件,移动组件采用绝缘材料制成,机架上设置有与移动组件相配合的导向组件,基座可沿导向组件往复移动,基座上还设置...