本发明涉及一种用于提高硅晶圆抛光速率的化学机械抛光液及其制备和应用，组分包括HOMO‑LUMO差值在‑8.00eV以上的含氮有机物。本发明通过加入HOMO‑LUMO差值在‑8.00eV以上的含氮有机物的抛光液对硅晶圆进行化学机械抛光，有...

本申请公开了声表面波器件的仿真方法、装置、电子设备及存储介质，其中，声表面波器件的仿真方法可应用于声表面波仿真技术领域，该方法包括：获取声表面波器件内部总声场的场分布数据；确定场分布数据中的目标空间域位移分布数据，基于目标空间域位移分布...

本发明提供了一种单片集成多功能复合传感器及其制备方法，采用单硅片单面体硅微制造技术，预定义并覆盖气体流量感知单元的第一微槽，先形成压力参考腔体及压力敏感膜片，再通过第一微槽和侧壁保护，预定义单晶硅热偶臂和加热电阻图案，后通过隔热介质层保...

本发明涉及一种运动目标识别方法，包括以下步骤：对采集到的多模态数据分别进行特征提取，获得第一模态特征、第二模态特征和第三模态特征；通过低秩多模态融合将具有频率特性的所述第二模态特征和所述第三模态特征融合成为融合模态特征；分别对所述第一模...

本申请提供一种MEMS微镜加固结构。该MEMS微镜加固结构包括支撑座和设置于支撑座上表面的框架，框架为敞口设置的中空结构；在第一方向上，镜面依次通过第一弹性结构、第一致动器悬臂与框架连接；在第二方向上，镜面依次通过第二弹性结构、第二致动...

本发明涉及一种用于硅晶圆抛光的化学机械抛光液及其制备方法和应用，组分包括同时含吗啉环和胺基侧链的水溶性小分子。本发明通过在抛光液中加入同时含吗啉环和胺基侧链的水溶性小分子，在显著提高硅晶圆抛光速率的前提下，有效改善了硅晶圆表面平坦度，既...

本发明涉及一种基于卷积神经网络的RHEED衍射图样分析方法，包括以下步骤：实时获取待测样品旋转到设定角度时所述待测样品表面状态的RHEED衍射图样及生长温度；利用卷积神经网络分析所述RHEED衍射图样，获得当前所述生长温度下所述待测样品...

本发明提供一种超导量子干涉器件读出电路、读出方法及测量系统，其中超导量子干涉器件读出电路包括：放大模块、积分运算模块以及温漂抑制模块；放大模块将检测信号低噪声放大处理并输出级间放大信号；温漂抑制模块将放大模块升温至预设温度并基于温度信号...

本发明提供一种超导参量放大器及其制备方法，超导参量放大器包括：约瑟夫森结阵列，用于提供谐振非线性；对地电容，用于阻抗匹配；线性腔，用于相位匹配；耦合电容，用于耦合线性腔与约瑟夫森结阵列；约瑟夫森结阵列的第一端与信号源相连，用于接受泵浦信...

本发明涉及一种自动睡眠分期方法、装置、设备及介质，其中，方法包括：获取待分析的全脑钙离子成像数据；对所述待分析的全脑钙离子成像数据进行预处理，得到优化后的全脑钙离子成像数据；将所述优化后的全脑钙离子成像数据输入自动睡眠分期模型，完成自动...

本发明涉及一种用于剥离的双层胶光刻工艺方法，首先在衬底上依次旋涂正性光刻胶和反转光刻胶，然后进行第一次曝光并反转烘，使反转光刻胶形成不溶于显影液的T型光刻胶结构两侧的凸出檐，再进行第二次曝光，使T型光刻胶结构之外的光刻胶溶于显影液，最后...

本发明提供一种非侵入式神经调控装置，包括光纤、设于光纤的一端的光纤固定装置、设于光纤的另一端的激光光源，光电转换材料定位与注入组件；光电转换材料定位与注入组件用于将光电转换材料注入指定的溶液注射点；光电转换材料为粉末状，其包含可将近红外...

本发明涉及一种用于负胶光刻工艺的去边胶方法，包括：(1)在衬底上旋涂负性光刻胶，衬底边缘堆积形成高于中间区域的边胶；对衬底进行第一次软烘；(2)旋涂正性光刻胶，对衬底进行第二次软烘；(3)用去边掩膜板和去边紫外光对衬底进行曝光；(4)用...

本发明提供微阀、色谱进样器及其制备方法和色谱系统及其应用方法，微阀依次包括第一密封衬底、硅衬底、SOI顶层硅、SOI埋氧层、SOI底层硅和第二密封衬底；SOI顶层硅与硅衬底有凹槽的第一面键合，硅衬底第二面有第一沟槽和第二沟槽，第一通道连...

本发明涉及一种同焦面多焦点透镜焦距测量装置和方法，其中，测量装置包括光源装置、滑动装置、组合透镜装置和探测装置；探测装置包括相互连接的CCD和计算机；滑动装置上设置有待测多焦点透镜，光源装置用于输出单波长的发散光线，发散光线依次经过待测...

本发明涉及一种基于异质集成压电衬底的叉指电容，所述叉指电容结构包括：提供一压电薄膜；位于所述压电薄膜上方的金属电极；位于所述压电薄膜下方的二氧化硅功能层；位于所述二氧化硅功能层下方的支撑衬底；其中，所述二氧化硅功能层为可选结构。本发明的...

本发明涉及一种兰姆波谐振器及其制备方法，包括：提供一压电薄膜；位于所述压电薄膜上方的叉指电极和汇流条；位于所述压电薄膜下方的功能散热薄膜；位于所述功能散热薄膜下方的支撑衬底；所述功能散热薄膜底部设有周期排布或非周期排布的高深宽比凹槽；所...

本发明提供一种液氮杜瓦组件，包括外筒、插设于外筒且用于容置液氮的内筒、插设于内筒的支柱、基台、套设于支柱的顶端且位于基台上方的顶盖、设于顶盖上方的盖板、两个真空阀、液氮加注阀以及泄压阀；基台固定于外筒和内筒上方，以将外筒和内筒固定在一起...

本发明涉及一种基于异质集成压电衬底的声表面波单向发射结构，所述结构包括：提供一压电薄膜；位于所述压电薄膜上方的金属电极和汇流条；位于所述压电薄膜下方的支撑衬底；其中，所述支撑衬底的慢剪切波的相速度大于激发的声表面波的相速度。对比传统的单...

本发明提供一种硬掩模版及其制备方法、应用方法和镀膜治具，硬掩模版包括镀膜通孔；镀膜通孔的侧壁设置有阶梯结构，阶梯结构包括一个以上镀膜台阶，镀膜台阶的踏面与第二表面之间的距离小于第一表面与第二表面之间的距离。本发明通过在硬掩模版的镀膜通孔...