中国科学院上海微系统与信息技术研究所专利技术

中国科学院上海微系统与信息技术研究所共有5030项专利

  • 本发明涉及微电子技术领域,特别涉及一种多层导电结构的制备方法、导电结构及电子器件。该多层导电结构的制备方法,通过提供至少两个丝素蛋白膜;在所述至少两个丝素蛋白膜中的每个丝素蛋白膜上制备导电孔和金属图形层,得到至少两个目标丝素蛋白膜;将所...
  • 本申请提供一种柔性电极及柔性电极的制备方法,柔性电极包括绝缘底层、绝缘顶层以及设置在绝缘底层上的金属布线层,金属布线层包括顶层、中层和底层,顶层设置在底层上,顶层层厚小于底层层厚。本申请实施例通过调节金属布线层顶层和底层厚度以控制顶层和...
  • 本发明提供一种具有TSV结构的半导体结构及其制作方法,该方法包括以下步骤:提供一包括相对设置的顶面及底面的晶圆,晶圆中设有多个在水平方向上间隔排列且自晶圆的顶面开口并向晶圆的底面方向延伸的孔状结构;形成覆盖晶圆的顶面及孔状结构的内壁的导...
  • 本发明提供一种双量程加速度传感器结构及制作方法,该方法包括:提供衬底;于衬底背面形成第一沟槽,于衬底正面形成多个压敏电阻;于衬底的正面形成介质层,介质层中设置有开口显露压敏电阻;于衬底内部选择性腐蚀出基于悬臂梁结构的高量程加速度传感器;...
  • 本发明涉及一种基于地下管网多元传感器数据的气体泄露检测方法,包括:获取设置在地下管网周边土壤的多种环境传感器的检测数据;采用训练好的生成模型对所述多种环境传感器的检测数据进行数据增强处理,得到时间序列数据;将所述时间序列数据输入至训练好...
  • 本发明提供一种高动态超导纳米线单光子探测器、标定系统及标定方法,探测器包括衬底及设置于其上的纳米线结构体,纳米线结构体包括一个视锥像素纳米线及至少一个视杆像素纳米线,视锥像素纳米线的灵敏度小于视杆像素纳米线的灵敏度;纳米线结构体由下至上...
  • 本发明涉及一种含有二维材料的碳化硅抛光液,其中磨料包括α‑氧化铝和二维材料或仅为二维材料。本发明通过在磨料中引入二维材料,使得抛光液的抛光质量(包括结晶性能)、抛光速率和抛光表面亦获得很大提升,具有良好的应用前景。
  • 本发明涉及一种光电化学适配体传感器及其制备方法和应用,所述光电化学适配体传感器包括光敏材料和适配体,所述光敏材料为CdS@NiMoS。本发明光电化学适配体传感器所采用的光敏材料具有较高的比表面积和高效的光转化效率,在光电化学测试中能具有...
  • 本发明提供一种星地融合网络的网络功能部署方法、系统、介质及网络设备,所述方法包括以下步骤:将满足预定条件的卫星配置为能够部署星载核心网网络功能的卫星;为用户分配支持网络切片服务的星载核心网网络功能;其中一个网络切片包含多个不同类型的网络...
  • 本发明提供一种高带宽MEMS扫描镜器件及其设计方法,高带宽MEMS扫描镜器件最大驱动扭矩τ,微反射镜最大扫描角度θ<subgt;max</subgt;,柔性扭转梁扭转刚度K<subgt;θ</subgt;=τ/(...
  • 本申请提供一种多层载药蛋白膜及制备方法,包括:制备初始载药蛋白溶液,对初始载药蛋白溶液进行干燥以及水交联处理后得到初始载药蛋白膜;将初始载药蛋白膜放置于预设模具中,得到当前载药蛋白膜;制备当前载药蛋白溶液,将当前载药蛋白溶液加入到预设模...
  • 本发明涉及一种太赫兹量子级联激光器双光梳控制系统,包括第一太赫兹量子级联激光器、第二太赫兹量子级联激光器、第一T型偏置器和第二T型偏置器;所述第一太赫兹量子级联激光器以光频梳模式工作,所述第二太赫兹量子级联激光器工作在阈值电流以上,所述...
  • 本发明涉及一种SARADC校准方法、模块及装置,包括以下步骤:S0对SARADC的输出码进行采样获得码值序列;S1对所述码值序列进行时频变换,并基于获得的频谱数据计算初始信噪失真比;S2基于理想电容权重和所述初始信噪失真比,利用模拟退火...
  • 本发明提供一种串联纳米线探测器及其制作方法,串联纳米线探测器包括衬底及形成于其上的探测结构,探测结构包括M个纳米线、2M个连接线及M个电阻,M个纳米线串联,M个电阻通过2M个连接线分别并联于M个纳米线的两端,M为大于或等于2的自然数;其...
  • 本申请提供一种丝素蛋白光纤的制备方法,方法包括:对丝素蛋白水溶液进行冻干处理,得到冻干后的丝素蛋白;将冻干后的丝素蛋白与六氟异丙醇溶液按照预设质量体积比混合,得到待注射溶液;预设质量体积比的范围为18‑23%;将所述待注射溶液注射入交联...
  • 本申请公开了一种多通道神经光电极及其制备方法,所述多通道神经光电极包括光遗传探针、多通道模具、电极和PCB板;电极的第一表面固定设置有PCB板,电极的第二表面固定设置有多通道模具;多通道模具内设置有第一插孔,第一插孔的孔径与光遗传探针的...
  • 本发明涉及生物材料加工与脑功能探测领域,尤其涉及一种皮层电极的制备方法、皮层电极及电子器件,通过获取包含第一器件图形和第二器件图形开口区的硅基掩膜版以及第一蛋白膜,将第一蛋白膜与硅基掩膜版临时固定;第一蛋白膜为预拉伸的定向卷曲膜;以硅基...
  • 本发明提供了一种实现模拟存算一体SRAM低功耗工作的电路,包括:SRAM存储单元;动态模拟乘积累加运算单元,与SRAM存储单元存储数位的端口连接,并包括特征数据输入端口和运算使能信号输入端口;特征数据输入端口用于接收来自外部输入或前级处...
  • 本发明涉及一种电磁超表面,包括沿电磁波入射方向依次排列的第一导体层、中间介质层以及第二导体层,所述第一导体层包括谐振器,所述谐振器包括一个C型开口环和两个L型导体条,所述C型开口环的中心点位于所述中间介质层的中心,两个所述L型导体条关于...
  • 本申请涉及一种导电薄膜的制备方法及导电薄膜,该导电薄膜的制备方法包括:制备丝素蛋白水溶液;制备碳纳米管水溶液;将丝素蛋白水溶液和碳纳米管水溶液按照预设比例混合,得到导电墨水;将导电墨水涂覆在丝素蛋白膜上,并风干处理,得到导电薄膜;导电薄...