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中国科学院上海微系统与信息技术研究所专利技术
中国科学院上海微系统与信息技术研究所共有5030项专利
纳米真空沟道晶体管及其制备方法技术
本发明提供了一种纳米真空沟道晶体管及其制备方法,本发明的纳米真空沟道晶体管中,发射极具有与收集极相对设置的尖端,于发射极和收集极之间限定一纳米间隙,能够实现纳米级的沟道,使得真空度对场发射晶体管的影响降低,栅电极设置于发射极和收集极的上...
一种半导体结构及其制作方法技术
本发明提供一种半导体结构及其制作方法,该方法包括以下步骤:提供一半导体衬底,衬底包括相对设置的顶面和底面;自所述顶面至底面方向,在所述衬底中形成环形凹槽,位于所述环形凹槽中间为所述衬底形成的低阻硅柱;对所述环形凹槽进行第一填充:提供第一...
一种针对通信信号的电磁感知装置制造方法及图纸
本发明涉及一种针对通信信号的电磁感知装置,包括:数据采集单元,用于实时获取通信信号的I/Q采样数据信号;信号处理单元,用于对所述I/Q采样数据信号进行信号处理得到数字基带信号,并基于所述数字基带信号获取用于信号调制识别的特征集合;所述特...
一种声表面波谐振器、滤波器及通信设备制造技术
本发明涉及微电子技术领域,特别涉及一种声表面波谐振器、滤波器及通信设备。该声表面波谐振器包括压电薄膜;以及位于所述压电薄膜上的叉指换能器;所述叉指换能器包括两个汇流条和多个电极指;每个所述汇流条连接有多个所述电极指,且不同汇流条上的多个...
泡沫蚕丝蛋白膜及制备方法、压力传感器及制备方法技术
本申请提供一种泡沫蚕丝蛋白膜及制备方法、基于泡沫蚕丝蛋白膜的压力传感器及制备方法,泡沫蚕丝蛋白膜的制备方法包括提供预设数量层辅助膜;制备第二预设浓度的蚕丝蛋白溶液;对第二预设浓度的蚕丝蛋白溶液进行泡沫化处理,得到泡沫蚕丝蛋白溶液;将泡沫...
一种超表面单元及微纳光子器件制造技术
本发明涉及一种超表面单元及微纳光子器件,其中,超表面单元包括:衬底;微纳结构,设置在所述衬底的上表面;其中,所述微纳结构为上窄下宽的几何构型。其中,微纳结构可以为圆台形几何构型,也可以为圆锥形几何构型。本发明能够在不损害光学性能的情况下...
一种状态误差消除方法、电路及存储介质技术
本发明提供一种状态误差消除方法、电路及存储介质,用于消除电阻式传感器阵列的串扰电流,包括:二维电阻阵列及辅助阵列,通过辅助阵列提供模拟串扰进而得到二维电阻阵列的真实串扰,基于状态误差消除方法能够快速、准确地得到状态误差值,进而完成对二维...
基于一类硫系化合物的开关器件及其存储设备制造技术
本发明涉及基于一类硫系化合物的开关器件及其存储设备,所述硫系化合物的化学通式为(S<subgt;x</subgt;Se<subgt;y</subgt;Te<subgt;100‑x‑y</subgt;)...
一种功能性蛋白质材料、制备方法及应用技术
本申请公开了一种功能性蛋白质材料、制备方法及应用,包括通过光引发剂对至少一种功能化蚕丝蛋白溶液进行化学修饰,得到各所述功能化蚕丝蛋白溶液各自对应的前体材料;所述功能化蚕丝蛋白溶液包括蚕丝蛋白和功能性材料,所述功能性材料包括生物活性分子、...
一种逐次变分模态分解的声音增强方法和装置制造方法及图纸
本发明涉及一种逐次变分模态分解的声音增强方法和装置,其中,方法包括:对接收到的声音信号进行逐次变分模态分解,得到若干本征模态函数;引入相关系数和欧几里德距离来确定模态的分界点,将所述若干本征模态函数分为信号主导模式、噪声主导模式和纯噪音...
芯片埋入式印刷电路板结构及其制备方法技术
本发明提供一种芯片埋入式印刷电路板结构及其制备方法,该结构包括:导电基板;粘合于导电基板同一表面且上表面齐平的导电金属层及芯片;绝缘材料层;重新布线层;导电通孔。导电金属层及芯片粘合于导电基板表面,不需要制备粘合芯片的深腔结构,避免了深...
一种柔性可拉伸的延伸栅极有机场效应晶体管传感器件制造技术
本发明涉及一种柔性可拉伸的延伸栅极有机场效应晶体管传感器件,所述器件由构建在同一基底上的器件端和延伸栅极组成。本发明相比使用导线连接的方式,降低了信号传输过程中的噪声和损耗。此外,在充分利用有机场效应晶体管的原位放大和可拉伸能力的同时,...
一种卫星通信系统的下行链路资源分配方法、系统及介质技术方案
本发明提供一种卫星通信系统的下行链路资源分配方法、系统及介质,包括以下步骤:获取次卫星波束分配方案集合和主卫星跳波束模式;基于主卫星跳波束模式,根据次卫星的最大发射功率和预设波束功率约束条件,确定各时隙下的次卫星终端分组对应的发射功率分...
电化学检测装置及其使用方法制造方法及图纸
本发明涉及一种电化学检测装置及其使用方法,包括电化学传感阵列和检测电路,所述电化学传感阵列包括衬底、多个电极阵列和反应腔体,各电极阵列间隔设置在所述衬底上,每个电极阵列均包括参比电极、工作电极和对电极,所述反应腔体上开设有多个反应腔,各...
一种甜蜜素含量的预测方法技术
本发明涉及一种甜蜜素含量的预测方法,包括:采用太赫兹时域光谱系统对待测含甜蜜素的制品进行测量,得到待测含甜蜜素的制品的时域光谱;对所述待测含甜蜜素的制品的时域光谱进行傅里叶变换得到频域光谱,并根据频域光谱计算出所述待测含甜蜜素的制品的透...
超导条带光子探测器本征暗计数抑制方法和装置制造方法及图纸
本发明提供一种超导条带光子探测器本征暗计数抑制方法和装置,至少包括如下步骤:步骤一,确定表征本征暗计数率的因变量;所述本征暗计数率的因变量包括暗计数率阈值电流和暗计数率上升速率;步骤二,确定影响本征暗计数率的初始自变量;所述初始自变量至...
一种DNA四面体纳米结构介导的一维场效应晶体管传感器及其制备方法技术
本发明提供一种DNA四面体纳米结构介导的一维场效应晶体管传感器,所述一维场效应晶体管传感器包括:一维场效应晶体管和修饰在其表面的DNA四面体纳米结构。用于解决现有技术中一维场效应晶体管传感器在高盐离子浓度检测中的德拜屏蔽长度的限制问题,...
一种具有高深度分辨率的晶圆近表面缺陷表征装置和方法制造方法及图纸
本发明涉及一种具有高深度分辨率的晶圆近表面缺陷表征装置和方法,其中,装置包括:晶圆载盘,用于放置待测晶圆;同步辐射光源,用于产生同步辐射光;双晶单色器,用于对所述同步辐射光进行单色化处理,并使得处理后的光束以掠入射的方式射入所述待测晶圆...
一种基于同步辐射衍射的晶圆缺陷三维表征装置和方法制造方法及图纸
本发明涉及一种基于同步辐射衍射的晶圆缺陷三维表征装置和方法,其中,装置包括:晶圆载盘,用于放置待测晶圆;同步辐射光源,用于产生同步辐射光;双晶单色器,用于对所述同步辐射光进行单色化处理,并使得处理后的光束穿过狭缝照射到所述待测晶圆;X射...
一种碳化硅抛光液及其制备方法和应用技术
本发明涉及一种碳化硅抛光液及其制备方法和应用,组分包括液相载体、磨料、氧化剂、pH稳定剂、pH调节剂。本发明碳化硅抛光液克服现有技术中的不足,其制备方法简单、高效。此外,所述抛光液通过加入特定结构的有机磨料,使得抛光液的抛光质量、抛光速...
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