本申请实施例提供了一种碳基半导体薄膜材料的制备方法，首先通过键合经过离子注入的半导体和具有介质层的硅基衬底，得到硅基半导体材料，通过在硅基衬底上制备用于介质层释放的通孔，为介质层释放提供来自于支撑衬底的通孔，解决了现有技术中介质层释放需...

本发明提供一种基于约瑟夫森结的超导量子干涉器件及其制备方法，通过改进约瑟夫森结的制作工艺，在对光刻胶剥离的过程中，加入有机清洗工艺，使得进行连续堆积形成的侧墙能够被去除，提高了后续沉积的薄膜质量，使得SQUID输出曲线不易发生谐振，提高...

本申请公开了一种声表面波带通滤波器以及其设计方法、电子设备，其中，该方法包括：确定谐振器的第一结构参数以及确定第二结构参数，第二结构参数包括压电薄膜的压电材料及厚度；提取构建的各谐振器的面内传输方向相关的第一关系和第二关系；基于第一关系...

本发明提供了一种声表面波器件的仿真方法、装置及存储介质，通过获取待仿真的声表面波器件的多个单元模型；针对每个单元模型，基于有限元单元法提取单元模型的自由度矢量、约束矢量和系统矩阵；约束矢量表征施加在声表面波器件的电学边界条件；根据单元模...

本发明涉及一种多无人机辅助通感一体化的轨迹规划和资源分配方法，包括以下步骤：搭建包括多个无人机、多个地面节点和多个移动终端的通感一体化系统，其中，无人机发射的通感一体化信号被移动终端接收和反射，反射的所述通感一体化信号由地面节点接收并处...

本发明涉及一种声表面波器件，包括：衬底；第一压电薄膜，设在所述衬底上；第二压电薄膜，设在所述第一压电薄膜上；第一换能器电极，设在所述第二压电薄膜上；第二换能器电极，设在所述第二压电薄膜上并与所述第一换能器电极的位置相对应；所述第一压电薄...

本发明涉及一种导电水凝胶，其为Ga嫁接的MXene的CS水凝胶，其中，Ga为液态金属镓，MXene为Ti<subgt;3</subgt;C<subgt;2</subgt;T<subgt;x</subg...

本发明涉及一种基于通信感知一体化的多传感器协同监测组网方法，包括以下步骤：构建包括数据中心和多个传感器的通信感知一体化系统；数据中心根据各个传感器的特征数据进行部署，形成由多个子网组成的监测网络构型，其中每个子网包括一个中心节点传感器和...

本发明提供一种光声传感器及其制作方法，该光声传感器包括：第一衬底、条形波导、平板波导及振动膜，其中第一衬底包括依次层叠的基底、埋氧层、顶层半导体层及介质层；条形波导位于埋氧层上方，包括间隔第一预设距离的环形部以及条形部，条形波导周围设有...

本发明提供一种MEMS陀螺仪，该MEMS陀螺仪包括：衬底、器件层、驱动结构、驱动电极结构、检测结构、检测梁及检测电极单元，其中器件层固定于衬底上且包括多个相互连接且呈阵列排布的结构单元；驱动结构位于结构单元中且包括质量体、驱动框架、弹性...

本发明提供一种MEMS加速度传感器及其制备方法，MEMS加速度传感器中，单晶硅衬底上质量块通过悬臂梁与基底框架连接并悬在基底框架内，质量块与基底框架相邻的侧面连接有第一梳齿组，基底框架与质量块相邻的侧面连接有第二梳齿组；悬臂梁包括压敏电...

本发明公开了一种表面电极的热仿真建模方法、装置及存储介质。通过获取声表面波器件的器件模型；对器件模型进行网格划分；按照网格划分对应的网格尺度从器件模型中提取多个电极单元模型，构成表面电极的等效模型；每个电极单元模型包括一个电极指的模型以...

本发明涉及一种一体化多靶标检测微流控芯片，包括上层和下层，所述上层为芯片层(1)，所述下层为旋转磁控层(8)；所述芯片层(1)由位于中央的核酸提取室(3)以及围绕所述核酸提取室(3)圆周等分排布的若干个互相连通的第一洗涤室(4)、第二洗...

本发明提供一种超导微米线单光子探测器件及其制备方法，通过刻蚀超导微米线的直线部，形成具有一定宽度和深度的直凹槽区和过渡区，同时，控制直凹槽区的刻蚀深度，使得该区域的临界电流低于弯角区的临界值，有效缓解弯角区因高占空比造成的“电流拥挤效应...

本发明涉及一种声学延迟线器件，包括：衬底；第一换能器和第二换能器，设置在所述衬底表面，并分别分布在所述衬底的两侧；激励源，用于对所述第一换能器或第二换能器施加复频率声波，以在所述声学延迟线器件实现均匀振幅波传输；所述激励源包括：若干简谐...

本发明涉及一种宽带定向光发射结构及设计方法，其中，宽带定向光发射结构包括若干独立的超透镜环，其中，每个超透镜环均由多个基元构成；每个超透镜环的焦点不同，且所述超透镜环的半径越大，焦点的焦距越短。本发明能够对热辐射进行有效的定向散热。

本发明公开了一种可重构的声学谐振器及其制备方法，所述声学谐振器包括支撑衬底；位于支撑衬底上的具有凹槽的压电膜；凹槽中设置有发热金属层；位于发热金属层上的第二绝缘介质层；位于压电膜上的第一汇流条、第二汇流条、叉指电极以及相变开关；其中，第...

本发明涉及一种声表面波谐振器，所述声表面波谐振器的结构包括：提供一支撑衬底；位于所述支撑衬底上方的复合压电薄膜；位于所述复合压电薄膜上方的电极层；其中，所述复合压电薄膜包括上层压电薄膜和下层压电薄膜；所述上层压电薄膜和下层压电薄膜的切向...

本发明涉及一种基于金属纳米颗粒的等离激元增强荧光的多层膜光学结构及其制备方法和应用，所述多层膜光学结构通过以自组装金属纳米颗粒作为增强衬底，将待测荧光探针分子置于所述增强衬底表面而得。本发明通过自组装金属纳米颗粒的表面等离子体共振，在均...

本发明涉及一种微流控器件，包括由下至上依次排列的基板、微流道层、多孔微电极阵列和细胞培养层，微流道层固定在基板上，多孔微电极阵列的至少部分固定于微流道层和细胞培养层之间，细胞培养层与微流道层固定；细胞培养层上设有第一通孔和第二通孔，微流...