中国科学院上海微系统与信息技术研究所专利技术

中国科学院上海微系统与信息技术研究所共有5030项专利

  • 本发明提供一种绝缘体岛上硅衬底材料及其制备方法,所述绝缘体岛上硅衬底材料,包括:底层硅;绝缘层,结合于所述底层硅表面,且于对应于制备晶体管沟道的位置具有直至所述底层硅或底部保留有部分绝缘层的凹槽;顶层硅,结合于所述绝缘层表面。本发明通过...
  • 双通孔结构的微型热电能量采集器及其制备方法
    本发明提供一种双通孔结构的微型热电能量采集器及其制备方法,所述采集器的制作过程中采用双通孔结构,即:环形沟槽和通孔。再在双通孔结构中分别填充第一热电层和第二热电层,形成热电偶对,并通过顶部电连接层实现热电偶对之间的串联,得到热电偶阵列,...
  • 耦合谐振的谐振式应变传感器
    本发明提供一种耦合谐振的谐振式应变传感器,包括两根敏感梁,各敏感梁的两端被固定支撑;检测梁,连接于所述两根敏感梁之间;其中,所述敏感梁工作于对应力敏感的横振动模态,检测梁工作于整体压阻效应显著的纵振动模态,敏感梁与检测梁形成耦合谐振,外...
  • 一种适用于MANET网络层的匿名安全通信方法
    本发明提供一种适用于MANET网络层的匿名安全通信方法,包括:系统初始化步骤:PKG生成主钥和网络公共参数,主钥由PKG自身保存,网络公共参数公开给网络中的所有节点;PKG根据各节点的ID生成对应于各节点的公钥和私钥,并将公钥公开给所有...
  • 一种含石墨烯的导电浆料及其制备方法
    本发明提供一种含石墨烯的导电浆料,按质量百分比计,包括以下组分:石墨烯0.05-15%;有机粘接剂10-50%;有机溶剂40-80%;功能添加剂2-20%。本发明还进一步提供一种含石墨烯的导电浆料的制备方法。本发明提供的一种含石墨烯的导...
  • 噪声可识别的高量程加速度传感器共振频率的提取方法
    本发明提供一种噪声可识别的高量程加速度传感器共振频率的提取方法,包括以下步骤:获取待测加速度传感器系统的电噪声频率谱;获取所述待检测加速度传感器系统的冲击频率谱;依据所述冲击频率谱及所述电噪声频率谱确定所述加速度传感器的共振频率。本发明...
  • 一种基于有源毫米波成像的隐私部位定位与保护方法
    本发明提供一种基于有源毫米波成像的隐私部位定位与保护方法,包括以下步骤:图像降噪预处理;面部、胸部和裆部位置定位;糊化处理;其中面部、胸部和裆部位置定位包括:图像二值化处理;形态学处理;人体目标高度确定;面部定位;胸部和裆部的初步定位;...
  • 一种太赫兹近场成像系统及方法
    本发明提供一种太赫兹近场成像系统及方法,所述太赫兹近场成像系统包括太赫兹相干光源模块、外腔光路模块及近场探针模块。本发明采用高功率太赫兹量子级联激光器产生高功率THz辐射,利用探针技术和激光器自混频效应探测目标的近场太赫兹信号,进而实现...
  • 扭转式微机械磁场传感器及其制备方法
    本发明提供一种扭转式微机械磁场传感器及其制备方法,所述扭转式微机械磁场传感器包括:谐振结构组件;所述谐振结构组件包括:谐振结构、第一绝缘层、感应线圈及驱动电极;所述第一绝缘层位于所述谐振结构表面;所述感应线圈位于所述第一绝缘层表面;所述...
  • 一种圆片级制备硅纳米线阵列场效应管的方法及其结构
    本发明提供一种圆片级制备硅纳米线阵列场效应管的方法,所述方法包括:提供(111)型SOI硅片,包括底层硅、氧化层及顶层硅;并在顶层硅表面形成氮化硅掩膜层,而后通过半导体工艺在(111)型SOI硅片上制备出硅纳米线阵列,再将硅纳米线阵列中...
  • 一种铜锌锡硫薄膜的制备方法
    本发明提供一种铜锌锡硫薄膜的制备方法,包括步骤:1)以铜盐、锌盐、锡盐、硫脲四种化合物为原料,按原子比Cu/(Zn+Sn)=0.7~1,Zn/Sn=1~1.2的比例溶解于有机溶剂中形成铜锌锡硫溶液;2)将所述铜锌锡硫溶液旋涂于基底;3)...
  • 高精度波长形加速度传感器及其制备方法
    本发明提供一种高精度波长形加速度传感器及其制备方法,包括:1)提供第一半导体基底,在第一半导体基底的表面形成第一凹槽;2)提供第二半导体基底,在第二半导体基底的表面形成闪耀光栅结构;3)将第一半导体基底与第二半导体基底键合以形成键合基底...
  • 单行载流子光电二极管的收集区结构
    本发明提供一种单行载流子光电二极管的收集区结构,所述收集区结构包括掺杂区和非掺杂区,其中,所述掺杂区靠近吸收区一侧。通过本发明提供的单行载流子光电二极管的收集区结构,解决了现有单行载流子光电二极管因空间电荷效应饱和电流较小的问题,进一步...
  • 增强型堆叠式ESD电路及混合电压输入输出接口电路
    本发明提供增强型堆叠式ESD电路及混合电压输入输出接口电路,所述ESD电路在传统堆叠电路的基础上增加了偏置电压传输电路和高压传输电路;偏置电压传输电路,分别与分压电路及反相器电路连接,用于实现当内部ESD总线的电压为正常上电脉冲时,偏置...
  • 一类可检测有机磷酸酯类神经毒剂模拟物的化合物及其应用
    本发明涉及一类可检测有机磷酸酯类神经毒剂模拟物的化合物及其应用,其结构通式如下所示:用于制备溶液、薄膜或者试纸,根据颜色或荧光的变化检测有机磷酸酯类神经毒剂模拟物。本发明制备方法简单、产率高、易分离、纯度高,对有机磷神经毒剂模拟物的响应...
  • 本发明涉及一种OFDM训练序列的构造方法及同步方法,包括以下步骤:利用PN序列构造一个具有前后重复共轭对称结构的序列;对所述序列进行加权处理,得到发射端用于同步的训练序列;接收端定义定时度量函数,通过搜索其最大值完成符号定时同步;通过计...
  • 基于代价参考粒子滤波的RSSI测距方法
    本发明提供一种基于代价参考粒子滤波的RSSI测距方法,包括:在室内环境中布置锚节点,并规划移动节点的移动路径;使移动节点按规划好的路径移动,并在每个预定位置采集不同锚节点发送的数据包;对每个位置采到的数据包进行高斯滤波预处理;对预处理后...
  • 相变存储器读出电路及其数据读取方法
    本发明提供一种相变存储器读出电路及其数据读取方法,所述相变存储器读出电路至少包括:预充电电压产生模块,用于预设并产生一预充电电压;控制模块,用于在接收到外部读使能信号后,产生预充电信号;预充电模块,分别与m条所述本地位线、所述预充电电压...
  • 适用于非授权频段的增强型FBE帧结构及信道接入方法
    本发明提供一种适用于非授权频段的增强型FBE帧结构及信道接入方法,所述FBE帧结构包括一空闲时隙和一传输时隙,所述空闲时隙中包含一初始CCA时隙,所述空闲时隙与所述传输时隙之间设有一随机退避时隙,所述随机退避时隙包含N个扩展CCA时隙,...
  • 一种基于N-ary树结构的随机访问的文件系统的实现方法
    本发明提供一种基于N‑ary树结构的随机访问的文件系统的实现方法,以页为单位来管理文件系统所有的文件数据;在文件系统中设置iNode区和数据区,所述数据区包括节点页和数据页;所述iNode区中所存储的iNode节点包括N‑ary树级数字...