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中国科学院上海微系统与信息技术研究所专利技术
中国科学院上海微系统与信息技术研究所共有5030项专利
一种前倾双狭缝天线制造技术
本实用新型提供一种前倾双狭缝天线,其包括介质芯、套设于介质芯的外周的金属框架以及容置介质芯和金属框架的天线支架槽,所述介质芯包括介质层和覆盖于介质层的上表面的金属层,在金属薄层上开设有交替分布于介质芯的中轴线两侧的两排第一狭缝以及一位于...
一种宽水平角窄俯仰角单狭缝天线制造技术
本实用新型提供了一种宽水平角窄俯仰角单狭缝天线,其包括一金属空腔和填充于金属空腔的腔体内的介质层,所述金属空腔具有沿其长度方向延伸的第一壁,在第一壁上开设有多个等间距排布的狭缝,且该金属空腔的一端设有馈电点,另一端的腔体内填充有吸波材料...
基于太赫兹光谱仪的可弯曲样品的固定装置和测量系统制造方法及图纸
本实用新型公开了一种基于太赫兹光谱仪的可弯曲样品的固定装置,该固定装置包括:第一夹具组件和第二夹具组件,其中第一夹具组件至少包括第一固定夹,第二夹具组件至少包括第二固定夹,第一固定夹和第二固定夹被设置为:分别夹持待测样品的第一端和第二端...
一种小流量多用户非正交FHMA通信方法技术
本发明提供一种小流量多用户非正交FHMA通信方法,包括:提供一包含发送节点和接收节点的多用户通信网络;发送节点从所述多用户通信网络的上层获取待发送的信息块;发送节点将信息块处理为分割码块,并采用非正交FHMA技术发送分割码块;接收节点采...
Al-Sc-Sb-Te相变材料、相变存储器单元及其制备方法技术
本发明提供一种Al‑Sc‑Sb‑Te相变材料、相变存储器单元及其制备方法,所述Al‑Sc‑Sb‑Te相变材料包括铝、钪、锑、碲四种元素,所述Al‑Sc‑Sb‑Te相变材料的化学通式为(AlSc2)x(Sb2Te)y,其中,0
约瑟夫森结的制备方法技术
本发明提供一种约瑟夫森结的制备方法,包括:于基底上外延生长第一超导材料层、第一绝缘材料层及第二超导材料层的三层薄膜结构;刻蚀三层薄膜结构定义出底电极,刻蚀第一绝缘材料层及第二超导材料层定义出结区;于器件表面沉积第二绝缘材料层,第二绝缘材...
一种可提高荧光传感材料气相检测速率的方法、由此得到的薄膜传感器及其应用技术
本发明涉及一种可提高荧光传感材料气相检测速率的方法,包括如下步骤:S1,用氧等离子体处理基底的表面以在该表面上引入氧活性基团;S2,在已处理表面上涂覆有机荧光传感材料以在该基底上形成荧光传感薄膜。本发明还提供由上述方法得到的薄膜传感器及...
热堆式气体质量流量传感器及其制备方法技术
本发明提供一种热堆式气体质量流量传感器及其制备方法,包括:衬底;与衬底相连接的带类“非”字状槽的介质膜,且介质膜与衬底共同围成一个隔热腔体;加热元件;至少两个感测元件;单晶硅热偶臂的冷端与衬底之间呈“三明治”状热沉结构。通过引入类“非”...
一种悬空的黑介质薄膜及其制备方法以及应用技术
本发明提供一种悬空的黑介质薄膜及其制备方法以及应用,包括:S1:提供一种半导体单晶衬底,在该衬底表面制备出薄膜掩膜,并刻蚀出窗口阵列,露出窗口阵列内的半导体单晶衬底表面;S2:采用湿法技术腐蚀该半导体单晶衬底表面,形成微纳金字塔结构;S...
一种非正交复用方法技术
本发明提供一种非正交复用方法,包括:在发射端形成大并发码流a;发射端对大并发码流进行非正交复用调制编码,得到非正交发送矩阵;发射端对所述非正交发送矩阵进行多次K稀疏观测,得到一组紧凑的发射码字;将所述紧凑的发射码字映射到对应的时频资源上...
一种高频声表面波谐振器及其制备方法技术
本发明提供一种高频声表面波谐振器及其制备方法,所述高频声表面波谐振器包括:高波速支撑衬底,位于所述高波速支撑衬底上表面的压电膜,及位于所述压电膜上表面的顶电极;其中,所述高波速支撑衬底中传播的体波波速大于所述压电膜中传播的目标弹性波波速...
单晶压电薄膜异质衬底的制备方法技术
本发明提供一种单晶压电薄膜异质衬底的制备方法,包括如下步骤:1)提供一单晶压电衬底,单晶压电衬底的一表面为注入面;2)于注入面进行离子注入,于单晶压电衬底的预设深度处形成缺陷层;3)提供一支撑衬底;4)将单晶压电衬底经由介质埋层与支撑衬...
航空超导全张量磁补偿系数的获取方法、终端及存储介质技术
本发明提供一种航空超导全张量磁补偿系数的获取方法、终端及存储介质,所述获取方法包括:基于动态测量数据获取平面梯度计关于涡流干扰的磁补偿系数近似值,并以此获取平面梯度计关于涡流干扰的磁补偿系数取值约束范围;在飞行器携带置于其内的航空超导全...
约瑟夫森结寄生电感的测量方法技术
本发明提供一种约瑟夫森结寄生电感的测量方法,包括:提供第一测试结构,得到第一电感;提供第二测试结构,得到第二电感;提供第三测试结构,得到第三电感;提供第四测试结构,得到第四电感;基于第一测试结构及第二测试结构中导线的电感之和与第三测试结...
一种用于X射线光电子能谱原位测试的样品托及其应用制造技术
本发明提供一种用于X射线光电子能谱原位测试的样品托及其应用,该样品托包括:底座、电极基板、电极探针、样品放置台以及绝缘轴承;其中,底座具有圆环状结构;电极基板固定于底座的上方;样品放置台设置于底座的内侧,包括一样品加热衬片;电极探针的一...
一种超薄TEM样品的原位制备方法以及由此得到的超薄TEM薄膜技术
本发明涉及一种超薄TEM样品的原位制备方法,包括如下步骤:S1,在原样品的表面,用离子束刻蚀,做好缺陷的位置标记;S2,参照位置标记进行原样品的粗减薄,得到薄膜样品;S3,进行薄膜样品的精细减薄,得到覆盖有碳保护膜的超薄TEM样品。本发...
一种用于Nanoprobe-FIB-TEM失效分析的多用途样品座及其应用制造技术
本发明涉及一种用于Nanoprobe‑FIB‑TEM失效分析的多用途样品座,包括:半月形样品台为具有窗口的半圆形硅片,TEM薄片样品固定在该窗口上;基座包括本体、用于安装Nanoprobe样品的第一支柱和用于安装半月形样品台的第二支柱,...
太赫兹光谱测量系统及分析物质的太赫兹光谱的方法技术方案
本发明涉及一种太赫兹光谱测量系统及分析物质的太赫兹光谱的方法,其中所述太赫兹光谱测量系统包括:两个太赫兹量子级联激光器,出射口相对设置;真空罩,设置于两个太赫兹量子级联激光器的出射口之间。所述太赫兹光谱测量系统及分析物质的太赫兹光谱的方...
一种吩噻嗪苯甲醛衍生物及其制备方法,吩噻嗪喹啉分子荧光探针及其制备方法和应用技术
本发明提供了一种吩噻嗪苯甲醛衍生物及其制备方法,吩噻嗪喹啉分子荧光探针及其制备方法和应用,所述吩噻嗪喹啉分子荧光探针是1‑{2‑[4‑二乙氨基‑2‑(4‑吩噻嗪‑己氧基)‑苯基]‑乙烯基}‑N‑甲基喹啉鎓盐。根据本发明提供的吩噻嗪喹啉分...
一种C-Ti-Sb-Te相变材料制造技术
本发明提供一种C‑Ti‑Sb‑Te相变材料,所述C‑Ti‑Sb‑Te相变材料为包括碳、钛、锑及碲四种元素的化合物,所述C‑Ti‑Sb‑Te相变材料的化学式为Cz[Tix(SbyTe100‑y)100‑x]100‑z;其中,0
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