中国科学院上海微系统与信息技术研究所专利技术

中国科学院上海微系统与信息技术研究所共有5030项专利

  • 本实用新型提供一种温度不敏感马赫曾德尔干涉仪,包括:第一模式转换器;第二模式转换器,位于第一模式转换器的一侧,且与第一模式转换器具有间距;连接臂,位于第一模式转换器与第二模式转换器之间,一端与第一模式转换器相连接,另一端与第二模式转换器...
  • 本发明提供一种基于AlGaN/p‑GaN沟道的增强型纵向功率器件及制作方法,该器件包括层叠的GaN衬底、GaN漂移区、GaN阱区以及GaN外延层,所述GaN衬底、GaN漂移区、GaN阱区及GaN外延层的晶向为a轴竖直向上;栅沟槽,穿过n...
  • 本发明公开了一种基准电压温度系数修调方法、装置及终端,所述的方法包括:获取第一修调电阻的第一码值和第二修调电阻的第二码值;获取第一码值的温度特性曲线的斜率、第二码值的温度特性曲线的斜率以及第一码值和第二码值之间数值的差值;根据第一码值的...
  • 本发明提供一种图像传感器及图像检测方法,包括:多个像素点形成的像素阵列,各像素点包括可见光传感器像素元件、红外传感器像素元件及设置于红外传感器像素元件上表面的红外遮光层;连接于像素阵列的处理电路。将可见光传感器像素元件采集到的图像与红外...
  • 本发明提供一种金属侧壁的制备方法及器件结构,所述制备方法包括:提供一衬底,并于所述衬底的上表面由下至上依次形成金属薄膜层及掩膜图形层,其中所述掩膜图形层暴露出部分所述金属薄膜层;以所述掩膜图形层为刻蚀掩膜,采用离子束刻蚀工艺对所述金属薄...
  • 本发明提供一种移动机器人的领航跟随系统,包括:机器人,广播自身的历史速度信息,设有标志板;雾计算节点,包括无线接入模块和通用计算模块;视觉识别模块,包括相机和视觉处理模块,视觉处理模块接收相机数据,识别标志板,并估计其与前车的相对位置和...
  • 本发明涉及一种改进的汉明码纠错方法,其中改进的汉明码纠错方法包括以下步骤:将待传输数据依次划分为4位一组的子数据;根据子数据生成4位第一校验码和4位第二校验码;将第一校验码和第二校验码插入到子数据中;将重组后的数据传输到校验码的接收端;...
  • 本发明提供一种柔性SOI器件结构及其制备方法,该结构自下而上依次包括:柔性衬底;第一背栅区、第二背栅区以及背栅间隔离部;绝缘埋层;位于绝缘埋层上方的第一有源区、第二有源区,以及器件隔离部,该第一、第二有源区分别包括:栅区、位于栅区下的体...
  • 本发明提供一种含氧单晶薄膜的制备方法,包括如下步骤:提供含氧化合物衬底;对含氧化合物衬底进行氢离子注入,以于含氧化合物衬底内预设深度形成缺陷层,缺陷层内形成有氢‑氧化学键;提供键合衬底,将键合衬底与氢离子注入后的含氧化合物衬底进行键合,...
  • 本发明涉及一种高质量石墨烯材料的制备方法,包括:将电解质溶液、石墨原料和电极加入到电解容器中,使电极与电解质溶液接触,电极与石墨原料之间形成物理隔离;对电极施加电场,在石墨原料没有和电极接触的情况下发生插层和解理,电解质为硫酸、硝酸、磷...
  • 本发明涉及一种无线通信全数字射频发射装置,包括:多相差值滤波处理模块,用于将经过数字调制后的基带信号的同相分量和正交分量分别进行多相内插处理,使输入信号频谱特性适合相应信道传输;时间交织增量求和调制模块,用于将经过多相内插处理的同相分量...
  • 本发明涉及一种硅纳米线的制备方法,包括:提供硅片;通过窗口干法刻蚀以形成刻蚀凹槽,该刻蚀凹槽的底壁与埋氧层之间保留有第一剩余顶层硅结构;湿法刻蚀以形成各向异性刻蚀槽,第一剩余顶层硅结构被减薄以形成位于各向异性刻蚀槽的底壁与埋氧层之间的第...
  • 本发明提供基于硅纳米线阵列的微富集器芯片及制备方法,制备包括:提供衬底,制备凹槽结构;制备若干个微柱结构,相邻所述微柱结构基于所述开口嵌套设置;制备微流控端口,与所述凹槽结构相连通;及提供一盖板,并将所述盖板制备于所述衬底形成有所述凹槽...
  • 本实用新型提供一种镀膜设备,所述镀膜设备包括:至少两个射频磁控溅射源,以形成第一缓冲层及第二缓冲层;至少两个直流磁控溅射源,以在第一缓冲层上制备第一主导层及在第二缓冲层上制备第二主导层;具有低成本、高稳定性、方法兼容的特点。
  • 本实用新型提供一种滤波器及测试系统,滤波器包括:螺旋线圈,包括若干条双绞线,半数双绞线的绕线方向为顺时针方向,其余双绞线的绕线方向为逆时针方向;屏蔽盒,屏蔽盒包括盒体及盖体;盒体内形成有容纳槽,盒体的侧壁上形成有与容纳槽相连通的通孔;螺...
  • 本发明提供一种具有微纳结构增强的微加热器及其制备方法,包括步骤:提供半导体单晶衬底,在衬底表面制备薄膜掩膜,并刻蚀窗口阵列;采用湿法技术腐蚀衬底表面,在该表面形成微纳金字塔结构;移除薄膜掩膜,在衬底表面制备出薄膜,在微纳金字塔结构表面制...
  • 本实用新型提供一种样品托,样品托包括:第一单元,第一单元包括第一表面及与第一表面相对的第二表面,第一单元包括贯穿第一表面及第二表面的第一通孔;第一单元的传递方式包括水平传递;固定单元,固定单元位于第一单元的第一表面上,并与第一单元相连接...
  • 本发明提供一种基于深度学习的智能抗干扰装置,包括依次排布的时频数据生成模块、干扰特征提取网络和干扰时频识别网络,时频数据生成模块获得空间信号时频数据并输出不同时频分辨率的时频数据图谱;干扰特征提取网络包括三个CNN网络以及加权合成模块;...
  • 本发明提供一种基于黑薄膜的热电红外探测器及其制备方法,方法包括:提供一种半导体单晶衬底,在衬底表面制备出薄膜掩膜,刻蚀出窗口阵列;采用湿法技术腐蚀衬底表面,形成微纳金字塔结构;移除薄膜掩膜,在衬底表面制备单层或复合薄膜,在微纳金字塔结构...
  • 本发明提供一种非易失存储器灵敏放大器及相变存储器,包括:控制模块,产生第一控制信号及第二控制信号;低功耗模块,在外部使能信号失效时关闭比较模块;第一读取电压模块,在外部使能信号起效时读取被选中存储单元的读取电流并转化为第一读取电压;比较...