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中国科学院上海微系统与信息技术研究所专利技术
中国科学院上海微系统与信息技术研究所共有5030项专利
一种平板型双频段探测器的前端系统及其制作方法技术方案
本发明提供一种平板型双频段探测器的前端系统,包括壳体,其包括腔体且其表面凹槽内嵌有K波段天线和F波段天线,腔体内部容纳有信号处理板、K波段射频板、F波段射频板、K波段中频板和F波段中频板;K波段天线、K波段射频板、K波段中频板和信号处理...
扫描隧道显微镜针尖传递托制造技术
本实用新型提供一种扫描隧道显微镜针尖传递托,针尖传递托包括:第一单元,第一单元包括第一表面及第二表面;第一单元的传递方式包括水平传递;底座,底座位于第一表面上,并与第一单元相连接,底座包括第一通孔及第二通孔,第一通孔的直径大于第二通孔的...
高通量气相沉积设备及气相沉积方法技术
本发明提供一种高通量气相沉积设备及气相沉积方法,高通量气相沉积设备包括:反应腔室;旋转工作台,位于反应腔室内;气体导入装置,位于所述反应腔室内,且位于旋转工作台的上方;气体导入装置将反应腔室分割为上部腔室及下部腔室;气体导入装置上设有若...
一种掺杂荧光染料的多孔海绵伞状结构PDMS芯片及其制备方法以及应用技术
本发明提供一种掺杂荧光染料的多孔海绵伞状结构PDMS芯片及其制备方法以及应用,该制备方法包括:将SU8环氧胶常温固化,雕刻出一定的模具图形;将附着荧光染料的氯化钠颗粒加入模具的检测区凹槽中,使氯化钠颗粒充分吸附在各个检测区凹槽中;将PD...
MEMS微执行器、原位单轴拉伸器件及其制作方法技术
本发明提供一种MEMS微执行器,包括:衬底层和位于所述衬底层上的器件层,衬底层上形成有凹槽,凹槽底部形成有上下贯通的通孔;器件层包括样品搭载部,驱动部及电极部,样品搭载部和驱动部位于衬底层的凹槽上;驱动部包括支撑单元和静电梳齿驱动单元,...
异步时钟ADC电路的亚稳态的检测消除电路制造技术
本发明涉及一种异步时钟ADC电路的亚稳态的检测消除电路,包括:异步时钟生成电路,用于根据所述异步时钟ADC电路的比较器的输出和反向输出生成一异步时钟信号,作为所述异步时钟ADC电路的比较器的时钟信号输入至所述异步时钟ADC电路的比较器的...
同步时钟ADC电路的亚稳态的检测消除电路制造技术
本发明涉及一种同步时钟ADC电路的亚稳态的检测消除电路,包括:亚稳态标志信号生成电路,用于连接至所述同步时钟ADC电路的比较器的输出端,根据所述比较器的输出和反向输出生成亚稳态标志信号,以控制同步时钟信号的生成,所述同步时钟信号用于供给...
异质薄膜复合结构及其制备方法技术
本发明提供一种异质薄膜复合结构及制备方法,制备包括:提供键合衬底,具有离子注入面;于离子注入面进行离子注入,以在键合衬底的预设深度处形成缺陷层;提供支撑衬底,且具有刻蚀面,自刻蚀面刻蚀支撑衬底,以在支撑衬底上形成凹槽结构;将离子注入面与...
网络节点间计算任务卸载平衡方法、系统、介质及设备技术方案
一种网络节点间计算任务卸载平衡方法、系统、介质及设备,包括:在终端节点周围的Ntotal个雾节点获取自身的处理性能数据;终端节点根据雾节点的处理性能数据,以预设逻辑计算得出所有Ntotal个备选雾节点的调度优先级信息;终端节点根据雾节点...
大偏振消光比微纳光纤耦合超导纳米线单光子探测器制造技术
本发明提供一种大偏振消光比微纳光纤耦合超导纳米线单光子探测器,包括:衬底;超导纳米线,位于所述衬底的表面;微纳光纤,位于所述衬底上,且横跨所述超导纳米线;光学胶,位于所述衬底上,且固化包覆于所述超导纳米线及所述微纳光纤的外围;所述光学胶...
一种基于SOI衬底的电容隔离结构及其制备方法技术
本发明公开了一种基于SOI衬底的电容隔离结构及其制备方法,所述结构包括:SOI硅片,包括依次叠加的衬底硅、埋氧层和顶层硅;顶层硅包括第一硅岛和第二硅岛,第一硅岛用于制备低压端电路,第二硅岛用于制备高压端电路;隔离槽,设置在第一硅岛和第二...
一种驱动电路、驱动方法及微反射镜阵列技术
本发明公开了一种驱动电路,所述驱动电路包括逻辑控制单元、数模选择器、数模转换器、支路选择器和电压输出支路;所述电压输出支路与微反射镜连接;每个所述数模转换器连接有多个所述电压输出支路;所述数模选择器连接有多个所述数模转换器;所述支路选择...
宽谱微纳光纤耦合超导纳米线单光子探测器及其制备方法技术
本发明提供一种宽谱微纳光纤耦合超导纳米线单光子探测器及其制备方法,包括:衬底;超导纳米线,位于衬底的表面;超导纳米线包括若干个平行间隔排布的直线部及位于相邻直线部之间以将各直线部依次首尾连接成曲折蜿蜒状的连接部;直线部的长度介于100μ...
一种外泌体分离与表面蛋白检测微流控装置及使用方法制造方法及图纸
本发明涉及一种外泌体分离与表面蛋白检测的微流控装置及使用方法,该装置包括依次连接有进样泵、微量注射器、设有磁铁的微流控芯片以及废液收集器。本发明可以实现外泌体在同一芯片系统上的分离与检测,提供了一种操作简单、低成本、样品量少的外泌体分离...
一种直接序列扩频信号的快速捕获装置及方法制造方法及图纸
本发明提供一种直接序列扩频信号的快速捕获装置,包括一个共轭复乘模块和通过两个FFT相关器与共轭复乘模块的两个输入端相连的数字下变频器和m序列发生器,共轭复乘模块的输出端依次连接有iFFT相关器、存储器、FFT相关器、自相关累积模块、检波...
一种相变存储器及其制作方法技术
本发明提供一种相变存储器及其制作方法,该相变存储器包括衬底、多个相变存储器单元及隔离材料层,其中,多个相变存储器单元分立设置于衬底上,自下而上依次包括第一电极材料层、第一过渡材料层、阈值选通管材料层、第二过渡材料层、第二电极材料层、第三...
相变存储器的多级存储读写方法及系统技术方案
本发明提供一种相变存储器的多级存储读写方法及系统,包括:数据存储模块,包括多个存储数据的数据单元;参考模块,包括多个参考单元,2
一种无线通信全数字射频接收装置制造方法及图纸
本发明涉及一种无线通信全数字射频接收装置,包括射频脉冲宽度调制模数转换模块和多相数字下变频模块,所述射频脉冲宽度调制模数转换模块将接收下来的射频模拟信号通过脉冲宽度调制实现模拟信号的采样和量化,得到模拟输入的数字信号;所述多相数字下变频...
高通量薄膜沉积设备及薄膜沉积方法技术
本发明提供一种高通量薄膜沉积设备及薄膜沉积方法,高通量薄膜沉积设备包括:反应腔室;工作台,位于反应腔室内;挡板,位于反应腔室内,且位于工作台的上方,与工作台具有间距;挡板上设有沿挡板的厚度方向贯穿的通孔;驱动装置,与工作台及挡板二者中的...
非易失存储器读出电路及读出方法技术
本发明提供一种非易失存储器读出电路及读出方法,包括:纳秒级充电脉冲产生模块,产生后充电脉冲信号;充电电压产生模块,产生后充电电压;读位线充电模块,给读位线充电;第一参考读电压生成电路,给参考读位线充电,并产生参考读电流和第一参考读电压;...
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