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中国科学院半导体研究所专利技术
中国科学院半导体研究所共有5962项专利
一种电光调制器制造技术
本公开提供了一种电光调制器,包括调制器主体和均衡电路;均衡电路,包括:第一掺杂半导体,包括第一N型掺杂区和第一P型掺杂区,第一N型掺杂区连接第一电极和信号输入端,第一P型掺杂区连接第二电极和电极臂,第一电极和第二电极用于接收反向偏置的第...
具有深台面结构的晶圆片的光刻方法技术
本公开提供一种具有深台面结构的晶圆片的光刻方法,包括:在具有深台面结构的晶圆片表面匀涂光刻胶;对匀涂过光刻胶的晶圆片进行预烘;对预烘的晶圆片依次进行完成第一次曝光、第一次显影、第二次曝光以及第二次显影,以减弱曝光时的边缘衍射效应;其中,...
一种匀光及散斑抑制装置和一种激光投影系统制造方法及图纸
本发明公开了一种匀光及散斑抑制装置和一种激光投影系统,该装置包括:激光光源(001),用于产生激光光束;会聚透镜(101),用于增加所述激光光束的发散角;匀光棒(201),用于将经过所述会聚透镜(101)的所述激光光束进行匀化;成像透镜...
多模式日盲紫外偏振通信方法及偏振光探测器技术
本公开提出了一种多模式日盲紫外偏振通信方法,应用于接收端,通信方法包括:接收来自发送端的紫外光信息波,其中,紫外光信息波为包含至少两个偏振角已在发送端被调制的偏振光,设定每个偏振角对应于一个数字信号;响应于紫外光信息波,接收端产生光电流...
一种复合型光波导端面耦合器制造技术
本发明公开一种复合型光波导端面耦合器,包括:硅衬底(1)、埋氧层(2)、第一波导层、第二波导层和二氧化硅包层(3);所述第一波导层包括条形过渡波导(5)和脊形波导(6);所述条形过渡波导(5)生长在所述埋氧层(2)的中线上,依次包括第一...
空间光调制器及其制备方法技术
一种空间光调制器及其制备方法,该空间光调制器包括:调制单元层,调制单元层包括阵列式排布的多个像素调制单元;电极组层,设置在调制单元层的第一表面上,电极组层包括多个间隔设置的电极组,每个电极组包括第一电极和第二电极,电极组的第一电极和第二...
一种用于组装变形镜的装置及变形镜组装方法制造方法及图纸
本公开提供了一种用于组装变形镜的装置,该装置用于变形镜驱动器大阵列与变形镜镜面高精度装配,包括:底座;气浮轴承,设置在底座上,用于支撑变形镜镜面及为变形镜镜面提供参考平面;其中,变形镜镜面上设置多个胶点,每个胶点上设置具有弹性的黏胶;定...
目标检测方法、目标检测模型的训练方法以及电子设备技术
本公开提供了一种目标检测方法、目标检测模型的训练方法以及电子设备,可以应用于人工智能、计算机视觉、图像识别、图像传感器、模型压缩和目标检测技术领域。该目标检测方法包括:对彩色滤波阵列图像进行通道重排,得到第一中间特征图;根据第一中间特征...
多种痕量气体浓度测量装置、方法制造方法及图纸
一种多种痕量气体浓度测量装置,包括:激光模块,适用于输出测量光束,测量光束的波长范围包括多种待测气体的多个吸收峰,并在多个吸收峰位置上分别叠加不同频率的第一调制信号;气室;转换单元,适用于将从气室中射出的测量光束转换为电信号,电信号叠加...
一种带侧向光栅的超对称半导体激光器制造技术
本申请公开了一种带侧向光栅的超对称半导体激光器,包括:沿外延方向由下至上依次堆叠的N面电极、衬底、缓冲层、N型波导层、有源层、P型波导层和超对称结构;所述超对称结构包括P型盖层和上接触层,上接触层堆叠在P型盖层上,超对称结构的中间部分为...
细胞培养监测系统技术方案
本发明提供一种细胞培养监测系统,包括:一个或多个柔性传感器,以柔性基底为支撑,用于探测细胞培养过程中的多个物理化学参数,得到探测信号;信号处理模块,与柔性传感器通信连接,用于对探测信号进行转换、滤波、放大中的至少一种处理,得到处理信号;...
一种低动态电阻的静电式MEMS谐振器及其阵列制造技术
本公开提供了一种低动态电阻的静电式MEMS谐振器,包括:第一谐振单元,其为环形结构;第一支撑单元,其一端与第一谐振单元连接,另一端与第一基座连接;其中,第一支撑单元的长度等于该静电式MEMS谐振器谐振波长的四分之一;对电极,包括:第一电...
一种可调谐窄线宽高速激光器及其调制方法技术
本公开提供了一种可调谐窄线宽高速激光器及其调制方法,该激光器包括:衬底(1);第一温度控制载体(2)、第二温度控制载体(3)、第三温度控制载体(4)、标准载体(5)及第四温度控制载体(6),沿着激光器芯片的出光方向,依次且间隔设于衬底(...
光电集成模块及其制备方法技术
本公开涉及了一种光电集成模块及其制备方法,光电集成模块包括:激光器单元,包括激光器芯片,被构造成发射激光;硅基芯片,设置于激光器单元上,适用于接收来自于激光器芯片的激光;转接芯片,设置于激光器单元和硅基芯片之间,以将激光器芯片发射的激光...
光电集成模块及其制备方法技术
本公开涉及了一种光电集成模块及其制备方法,该光电集成模块包括:热沉垫块;薄膜铌酸锂芯片,设置于热沉垫块上并包括第一波导层;氮化硅芯片,设置于热沉垫块上,并包括第二波导层,第二波导层包括:输入波导,与光纤的模场匹配,以接收光纤传输的激光;...
柔性裂纹应变传感器的制备方法技术
本发明提供一种柔性裂纹应变传感器的制备方法,包括:将聚二甲基硅氧烷溶液进行气泡消除;处理后的聚二甲基硅氧烷溶液敷于第一硅片表面,待静置后进行固化处理,得到固化有聚二甲基硅氧烷薄膜的第二硅片;在第二硅片表面进行溅射Au处理,形成有Au/聚...
基于氧化镓纳米线的鳍式场效应晶体管及其制备方法技术
本公开提供了一种基于氧化镓纳米线的鳍式场效应晶体管,包括:衬底;绝缘介质层,设置在所述衬底上;至少一根氧化镓纳米线,作为导电沟道,设置在所述绝缘介质层上;金属层,设置在所述绝缘介质层上;栅极介质层,设置在所述至少一根氧化镓纳米线上;以及...
可编程并行处理装置、神经网络芯片和电子设备制造方法及图纸
本公开提供了一种可编程并行处理装置,应用于信息处理技术领域,包括:配置寄存器组用于存储可被重复使用的指令的配置信息,指令控制器用于从配置寄存器组中查找指令的配置信息并进行译码,得到指令对应的控制信息,基于控制信息将指令发送给指令执行单元...
在片夹具去嵌入的测试方法及装置制造方法及图纸
本公开提供了一种在片夹具去嵌入的测试方法,包括:提供一去嵌入的测试结构,去嵌入的测试结构包括相互独立的整体结构、第一传输线结构和第二传输线结构;其中,整体结构包括待测器件,第二传输线结构的长度为第一传输线结构的长度的二倍;分别测试整体结...
双工通信器件、集成芯片及其制备方法技术
本发明提供了一种双工通信器件,包括:衬底;成核层,设置在衬底上;超晶格过滤位错层,设置在成核层上;第一氮化物层,设置在超晶格过滤位错层上,第一氮化物层的顶面的一侧包含台面,台面的厚度小于第一氮化物层的厚度;主探测有源区,设置在第一氮化物...
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