中国科学院半导体研究所专利技术

中国科学院半导体研究所共有5962项专利

  • 本发明提供一种薄膜化学气相沉积反应室装置及沉积设备,涉及薄膜沉积技术领域
  • 本发明关于一种激光雷达及其控制方法
  • 本公开提供一种氮化镓基激光器及其制备方法,氮化镓基激光器包括:依次叠加的
  • 本公开提供一种硅基
  • 本发明提供一种编码器码盘基线检测系统,包括:高速图像传感器模块,用于获取编码器码盘基线的原始图像;形态学滤波模块,用于预处理原始图像;基线分割模块用于对预处理图像进行基线特征筛选,基线特征提取模块用于提取图像的基线特征;缓存模块,用于实...
  • 本发明涉及半导体技术领域,提供一种体声波器件结构及制作方法,该方法包括:在衬底上采用目标外延方式外延生长得到缓冲层;在缓冲层上采用目标外延方式外延生长得到布拉格反射层;布拉格反射层用于声波反射;在布拉格反射层上采用目标外延方式外延生长得...
  • 本发明提供一种砷化铟晶体合成生长装置及方法,装置包括:旋转升级系统;石英合成生长管,设置于旋转升级系统上,用于提供真空环境,旋转升级系统用于控制石英合成生长管的旋转及升降;第一坩埚,设于石英合成生长管内部靠近旋转升级系统的一端,用于放置...
  • 本发明的实施例涉及了一种超晶格量子点及其制备方法,属于量子点和低维异质结构技术领域
  • 本发明公开了一种微型发光二极管及其制作方法,该微型发光二极管包括:衬底;缓冲层,形成在衬底上;n型层,形成在缓冲层上;有源层,有源层在n型层上形成第二台面;p型层,p型层在有源层上形成第一台面;n型电极和p型电极,n型电极形成在n型层上...
  • 本公开提供一种基于片上光波导的超声波成像芯片,包括基底层,底部包层,波导光栅层,以及上包层。基底层用于芯片的物理支撑;底部包层设于基底层上,用于限制光场以及降低传输损耗;波导光栅层设于底部包层上,包括多条波导光栅;上包层设于波导光栅层上...
  • 本发明提供一种混合陷光结构及其制备方法,用于增强量子点中间能带太阳能电池的吸收效率,包括:介质膜,设置于量子点中间能带太阳能电池的上表面;第一介质纳米金字塔阵列层,设置于介质膜的上表面;第二介质纳米金字塔阵列层,设置于量子点中间能带太阳...
  • 本发明的实施例涉及了一种偏振光探测器及其制备方法,属于光电技术领域。该偏振光探测器包括:作为栅电极的N型衬底;生长在N型衬底上的绝缘层;具有各向异性的锗锑硒三元晶体形成的有源层,有源层将入射至偏振光探测器的偏振光转换为光电流;形成在有源...
  • 本公开提供了一种薄膜铌酸锂电光调制器芯片及其调制方法,该芯片包括:衬底层、掩埋氧化层、铌酸锂波导层和电极层,从下至上依次叠加;铌酸锂波导层上表面包括相互平行的第一光波导和第二光波导;电极层包括复合行波电极和直流电极;复合行波电极为T型分...
  • 本发明涉及射频通讯技术领域,提供一种射频器件和制备方法,该方法包括:在衬底上采用目标外延方式外延生长得到缓冲层;在缓冲层上采用目标外延方式外延生长得到第一功能结构;第一功能结构用于制作射频器件的体声波
  • 本申请提出一种激光脉冲串时域形貌调制装置及方法,其中,该装置包括:激光源
  • 本公开提供了一种用于量子级联激光器的有源区和量子级联激光器,该有源区包括多个级联的周期级联结构,周期级联结构包括:增益区,增益区包括:多个增益量子阱;多个增益量子垒,其中,相邻两个增益量子阱之间至少设置一个增益量子垒;注入区,与最下方的...
  • 本公开提供了一种压缩感知重构温度场方法,包括:获取温度场先验信息,将温度场先验信息进行稀疏化处理,得到频域的稀疏矩阵;提取温度场先验信息的投影矩阵,基于模拟退火算法和投影矩阵计算温度场中传感器的最优放置位置,基于最优放置位置得到观测矩阵...
  • 本发明公开了一种适用于光通信的集成芯片,包括:衬底;依次层叠设置在衬底上的第一氮化物层和第二氮化物层,第二氮化物层形成多个凸台;多个传输单元,形成在第二氮化物层上,每个传输单元包括:发光器件,包括:第一电极,在凸台的一侧设置在第二氮化物...
  • 本发明公开了一种基于电子束曝光的T型栅制备方法,包括:通过在基底上覆盖敏感度不同的两层光刻胶,曝光并显影,得到栅足光刻掩模结构;在具有栅足光刻掩模结构的基底上沉积金属;剥离由两层光刻胶掩模形成的栅足金属结构,获得附着于基底上的栅足;在具...
  • 本发明提供一种基于P型氮化镓的欧姆接触生成方法及半导体器件,涉及半导体技术领域,其中方法包括:在衬底上制备外延结构,外延结构包括以下至少一项:氮化镓缓冲层、非故意掺杂氮化镓层、第一掺镁P型氮化镓层及第二掺镁P型氮化镓层;对氮化镓缓冲层、...