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中国科学院半导体研究所专利技术
中国科学院半导体研究所共有5962项专利
具有布拉格反射器的n+/p型高抗辐照GaAs太阳电池制造技术
一种具有布拉格反射器的n↑[+]/p型高抗辐照砷化镓太阳电池结构,包括:一衬底,该衬底用于在其上进行太阳电池各层材料外延生长;一缓冲层,该缓冲层制作在衬底上;一布拉格反射器结构,该布拉格反射器结构制作在缓冲层上;一基区,该基区制作在布拉...
一种键合具有不同热膨胀系数材料的晶片的方法技术
一种利用温度改变不同热膨胀系数材料的晶片键合的方法,其特征在于,包括如下步骤:a)将晶片进行清洗与表面处理;b)将清洗及表面处理后的晶片固定在带有附加加热装置的键合夹具中,放入密闭石英腔体中抽真空;c)把装有键合夹具及晶片的石英腔体放入...
通过注氧进行量子限制的硅基单电子晶体管制造技术
一种通过注氧进行量子限制的硅基单电子晶体管,包括:一硅衬底;一氧化物绝缘层制作在硅衬底上;一硅纳米电导细线制作在氧化物绝缘层上;一源极和漏极分别制作在氧化物绝缘层上,分别位于硅纳米电导细线的两端,并与硅纳米电导细线连接;一平面栅电极制作...
磁控溅射仪衬底固定夹具制造技术
本发明涉及固定夹具技术领域,特别是一种磁控溅射仪衬底固定夹具。用于固定磁控溅射仪所用的衬底。包括:一盖片,该盖片主体为长方形,在其一边有三个方形缺口,两端各有一个通孔;一衬底托,该衬底托为圆形,内部有两个螺丝孔,其孔距与盖片上的通孔孔距...
提高铝镓氮材料质量的方法技术
本发明一种提高铝镓氮材料质量的方法,其特征在于,包括如下步骤:步骤1:取一衬底;步骤2:在该衬底上生长一层成核层;步骤3:在该成核层上生长一层过渡层;步骤4:在该过渡层上生长一层掺杂的铝镓氮层,完成材料的制作。
背照射氮化镓基肖特基结构紫外探测器制造技术
本发明一种背照射氮化镓基肖特基结构紫外探测器,其特征在于,包括:一衬底;一成核层,该成核层生长在衬底上;一欧姆接触层,该欧姆接触层生长在成核层上;一有源层,该有源层生长在欧姆接触层上,该有源层的面积小于欧姆接触层的面积,位于欧姆接触层上...
氧化锌基的蓝光发光二极管及其制备方法技术
一种氧化锌基的蓝光发光二极管,包括:一衬底,该衬底为圆形;一缓冲层制作在衬底上,该缓冲层有利于提高材料的外延生长质量;一n-氧化锌层制作在缓冲层上,在该n-氧化锌层的边缘刻蚀出环形台阶,该n-氧化锌层有利于作出环形金/钛电极;一i-氧化...
在硅衬底上生长无裂纹氮化镓薄膜的方法技术
本发明一种在硅衬底上生长无裂纹氮化镓薄膜的方法,其特征在于,包括如下步骤:(1)选择一大失配衬底;(2)在大失配衬底上生长氧化物缓冲层,氧化物缓冲层可以缓解衬底与氮化镓薄膜之间的晶格失配,阻隔金属镓与衬底反应;(3)在氧化物缓冲层上生长...
一种精密抛光晶片用有机物清洗液制造技术
本发明涉及清洗液技术领域,特别是一种适用于精密抛光晶片的有机物去除清洗液。该有机物清洗液由醚和醇两种有机溶剂组成。醚在混合液中所占重量含量为5%到95%,醇所占重量含量为95%到5%。其中醚由下列中选出:甲醚、乙醚、乙二醚、丙醚、丁醚、...
制作高频大功率硅锗异质结双极晶体管结构的方法技术
一种制作高频大功率硅锗异质结双极晶体管结构的方法,包括:在轻参杂硅衬底上依次生长子收集区、收集区、基区及发射区,形成制作器件的基片;采用于法刻蚀的方法,在器件基片的表面相隔预定间距刻蚀至收集区,形成子单元台面;在子单元台面上制作发射极金...
半导体硅衬底上氧化铝介电薄膜硅离子注入腐蚀方法技术
一种半导体硅衬底上氧化铝介电薄膜硅离子注入腐蚀方法,利用硅离子注入和HF化学腐蚀剂,对硅上氧化铝薄膜进行选择性腐蚀,形成陡峭、清晰、规则的氧化铝腐蚀图形,包括如下步骤:取一半导体硅单晶衬底;在半导体硅单晶衬底上外延生长氧化铝介电薄膜;在...
形成于PD SOI 衬底上的静态随机存储器及其制作方法技术
本发明涉及一种静态随机存储器,更具体地,一种形成于PD SOI衬底上的静态随机存储器及其制作方法。该SRAM单元为六管存储单元,即第一、第二存取NMOS晶体管,第一、第二驱动NMOS晶体管,第一、第二负载PMOS晶体管。其中,存取NM...
碳化硅衬底氮化镓高电子迁移率晶体管及制作方法技术
本发明一种碳化硅衬底氮化镓高电子迁移率晶体管的制作方法,其特征在于,包括如下步骤:选择一种碳化硅衬底;采用金属有机物化学气相沉积法,在衬底上生长一层高温氮化铝成核层;改变衬底温度,在高温氮化铝成核层上生长非有意掺杂或掺杂氮化镓高阻层;改...
具有超薄碳化硅中间层的硅基可协变衬底及制备方法技术
一种具有超薄碳化硅中间层的硅基可协变衬底,其特征在于,包括如下几部分:一硅衬底,该硅衬底起支撑的作用;一超薄3C-SiC中间层,该超薄3C-SiC中间层制备在硅衬底上,起失配应变协调的作用,并与硅衬底一起构成硅基可协变衬底;一外延层,该...
利用可协变衬底制备生长氧化锌薄膜材料的方法技术
一种制备氧化锌薄膜材料的方法,特别是指一种利用SOI可协变衬底,采用磁控溅射设备制备生长氧化锌薄膜材料的方法,其特征在于,包括如下步骤:步骤1:选用顶部具有超薄硅单晶层的SOI材料作为硅基可协变衬底;步骤2:将溅射靶材装入磁控溅射设备主...
具有金属铪薄中间层的SOI型复合可协变层衬底制造技术
一种具有金属铪薄中间层的SOI型复合可协变层衬底,其特征在于,包括如下几部分:一常规SOI可协变衬底,包括起支撑作用的底部Si(100)衬底、中间起解偶合作用的氧化硅绝缘层,顶部起失配应变协调作用的超薄Si单晶可协变层;一具有六方结构的...
具有氮化铪薄中间层的SOI型复合可协变层衬底制造技术
一种具有氮化铪薄中间层的SOI型复合可协变层衬底,其特征在于,包括如下几部分:一常规SOI可协变衬底,包括起支撑作用的底部Si(100)衬底、中间起解偶合作用的氧化硅绝缘层,顶部起失配应变协调作用的超薄Si单晶可协变层;一具有立方结构的...
Mg-Sb共掺杂p型ZnO薄膜的制备方法技术
一种Mg-Sb共掺杂p型ZnO薄膜的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:步骤1:采用射频磁控溅射方法,所需靶材由高纯ZnO、MgO和Sb2O3粉末混合压制而成,得到磁控溅射靶材;步骤2:将衬底加温至一恒温;步骤3:利用射频磁控溅射方法,...
半导体纳米结构及其制作方法技术
一种半导体纳米结构,包括:一衬底作为半导体器件的承载体;一半导体缓冲层,通过外延生长技术形成在衬底上,起到缓冲衬底和其他层之间应力的作用;一半导体模板层,通过外延生长技术形成在半导体缓冲层上,作为支撑模板;一钝化层,通过表面钝化形成在半...
可以修整抛光晶片平整度的抛光头制造技术
一种可以修整抛光晶片平整度的抛光头,其特征在于,包括:一晶片固定盘;一上抛光盘,该上抛光盘的断面为倒T形;一气囊,该气囊固定在上抛光盘的底面,该气囊可以充气;一抛光垫,该抛光垫固定在气囊的底面;欲将晶片抛光时,将气囊充气,将晶片固定在晶...
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