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中国科学院半导体研究所专利技术
中国科学院半导体研究所共有5962项专利
声子调控间接带隙半导体材料横向电注入发光器件制造技术
一种声子调控间接带隙半导体材料横向电注入发光器件,包括:一p-型或n-型间接带隙半导体材料衬底;一n重掺杂层制作在衬底上的一侧,其是器件的源区;一p重掺杂层制作在衬底上的另一侧,是器件的漏区;一负极制作在n重掺杂层上;一正极制作在p重掺...
一种采用极化空穴注入结构的有机发光二极管制造技术
一种采用极化空穴注入结构的有机发光二极管,其特征在于,包括:一衬底;一正极,该正极沉积在衬底上;一有机电子受体层,该有机电子受体层沉积在正极上,用于产生内载流子;一有机电子给体层,该有机电子给体层沉积在有机电子受体层上,用于产生内载流子...
一种制作纵向双栅金属-氧化物-半导体器件的方法技术
本发明公开了一种制作纵向双栅MOS器件的方法,该方法包括:A.在SOI衬底的顶层硅表面采用离子注入技术形成N-P-N结构,其中N区高掺杂,P区低掺杂;B.采用电子束曝光和ICP刻蚀方法在形成的N-P-N结构的N区与P区的分界面处形成纵向...
GaN基功率型LED的N型欧姆接触电极的制备方法技术
一种GaN基功率型LED的N型欧姆接触电极的制备方法,包括:在GaN基功率型LED的材料结构上沉积一掩蔽层;腐蚀出叉指状N-GaN电极;去除光刻胶清洗;在GaN基片表面沉积一隔离层;电极剥离;腐蚀掉SiO↓[2]掩蔽层;电子束蒸发制备P...
检测键合质量的红外透视成像装置及调节方法制造方法及图纸
本发明一种检测键合质量的红外透视成像装置,其特征在于,包括如下几个部分:一灯箱,该灯箱为黑色,该灯箱前端开有一出光孔;一导轨,该导轨位于灯箱上的出光孔的前端,在该导轨上依次排列有第一凸透镜、小孔光阑、第二凸透镜、样品架及红外摄像头;一监...
砷化镓衬底上的多层变形缓冲层的制作方法技术
一种砷化镓衬底上的多层变形缓冲层的制作方法,其特征在于,包括如下步骤:步骤1:取一砷化镓衬底;步骤2:将砷化镓衬底进行脱氧处理;步骤3:在砷化镓衬底上生长砷化镓缓冲层,以获得平整的表面;步骤4:在低温范围内生长一铟铝砷缓冲层,该铟铝砷缓...
提高氮化镓材料载流子迁移率的方法技术
本发明一种提高氮化镓材料载流子迁移率的方法,其特征在于,包括如下步骤:步骤1:取一衬底;步骤2:在衬底上生长氮化镓材料;步骤3:在生长氮化镓材料时轻掺硅杂质;由硅杂质电离出来的自由电子对位错有屏蔽作用。
聚光太阳电池单元制造技术
一种聚光太阳电池单元,其特征在于,包括:一散热片;一管座,该管座位于散热片的上面;一太阳电池芯片,该太阳电池芯片焊接在管座的上面;一导光筒,该导光筒为一锥形筒状,其端部有一开放口,该导光筒的开放口罩扣于电池芯片的上面,该导光筒与管座连接...
等离子去胶台可调式载片体制造技术
本发明一种等离子去胶台可调式载片体,用于等离子去胶台中承载并固定待清洗或去胶的外延片,其特征在于,包括:一承载体,该承载体为一矩形,该承载体的上面中间两侧分别有一螺孔;两探针架,该两探针架类似于套管天线的结构,其长度可以伸缩调节,该两探...
一种异质结双极晶体管及其制备方法技术
一种异质结双极晶体管,包括:基片;基片上的第一掺杂类型的收集极区域,收集极区域包括收集区和收集极接触区;收集极区域上的第二掺杂类型的基极区域;基极区域之上的第一掺杂类型的发射极区域,发射极区域包括发射区和发射极帽层区域;以及发射极帽层区...
一种用于氧化锌外延薄膜生长的硅基可协变衬底材料制造技术
本发明涉及半导体材料中氧化锌外延薄膜制备技术领域,公开了一种用于氧化锌外延薄膜生长的硅基可协变衬底材料,该材料包括:一硅单晶衬底,用于支撑整个硅基可协变衬底材料;一薄金属铪可协变层,该薄金属铪可协变层制备在硅单晶衬底上,用于对在其上外延...
一种生长氧化锌薄膜的装置及方法制造方法及图纸
本发明公开了一种生长氧化锌薄膜的装置,包括:衬底基座、三路射流进气喷管、辅气吹嘴、衬底旋转机构和不锈钢外壳。兼顾了氧化锌薄膜P型掺杂适宜采用低生长温度,而结晶质量提高适宜采用高生长温度的特殊要求。将衬底基座设计成双温区,下部为恒温区,工...
在半导体衬底上制备均匀有序量子结构的方法技术
本发明一种在半导体衬底上制备均匀有序量子结构的方法,其特征在于,包含下列步骤:步骤1:取一半导体衬底;步骤2:把制备好的均匀有序的阳极氧化铝通孔模板放置在半导体衬底上;步骤3:将带有阳极氧化铝模板的半导体衬底进行离子注入;步骤4:剥离模...
一种互补式金属氧化层半导体磁传感器制造技术
本发明涉及用于信息采集系统的磁传感器技术领域,公开了一种CMOS磁传感器,包括:一偏置电路,用于为MagFET电流镜和差分放大器提供直流工作点;一MagFET电流镜,用于将磁信号转换为双端电信号,并输出给差分放大器;一差分放大器,用于将...
一种生长二氧化硅薄膜的方法技术
本发明涉及半导体技术中二氧化硅薄膜生长技术领域,公开了一种生长二氧化硅薄膜的方法,包括:A.配制二氧化硅饱和溶液;B.在配制的二氧化硅饱和溶液中加入去离子水或蒸馏水,搅拌得到二氧化硅的过饱和溶液;C.在二氧化硅的过饱和溶液中加入硼酸或铝...
在半导体衬底上制备有序砷化铟量子点的方法技术
一种在半导体衬底上制备有序砷化铟量子点的方法,包含下列步骤:步骤1.取一半导体衬底和制备好的有序的阳极氧化铝通孔模板;步骤2.把制备好的有序的阳极氧化铝通孔模板放置在半导体衬底上,阳极氧化铝通孔模板的作用是在半导体衬底上选择性注入金属离...
具有光伏效应和电致发光双重功能的器件制造技术
一种具有光伏效应和电致发光双重功能的器件,其特征在于,其中包括:一衬底;一缓冲层,该缓冲层制作在衬底上,可以降低衬底表面的粗糙度,并使衬底和活性层形成良好的接触;一活性层,该活性层制作在缓冲层上,可以作为光电转换层;一铝电极,该铝电极制...
具有光伏效应和电致发光双重功能的器件的制备方法技术
一种具有光伏效应和电致发光双重功能的器件的制备方法,其特征在于,其中包括:步骤1.取一衬底;步骤2.在衬底上旋涂一层缓冲层溶液,形成缓冲层,可以降低衬底表面的粗糙度,并使衬底和活性层形成良好的接触;步骤3.在缓冲层上旋涂一层活性层溶液,...
氮化镓基双异质结场效应晶体管结构及制作方法技术
一种氮化镓基双异质结场效应晶体管结构,其特征在于,其中包括: 一衬底; 一低温氮化镓或高温氮化铝层,该低温氮化镓或高温氮化铝层制作在衬底的上面; 一非有意掺杂或掺杂氮化镓高阻层,该非有意掺杂或掺杂氮化镓高阻层制作在低温...
量子点-阱红外探测器的结构及其制备方法技术
一种量子点-阱红外探测器结构,包括:一半绝缘GaAs衬底;一GaAs底接触层制作在半绝缘GaAs衬底上;一下GaAs隔离层制作在GaAs底接触层上的一侧,在GaAs底接触层上的另一侧形成一台面;一10个周期的InAs/InGaAs点-阱...
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