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中国科学院半导体研究所专利技术
中国科学院半导体研究所共有5962项专利
采用标准CMOS工艺制作的叉指型结构硅发光二极管制造技术
一种采用标准CMOS工艺制作的叉指型结构硅发光二极管,包括:一P型硅衬底;一N阱阱制作在P型衬底上的中间部位;一N+叉指型扩散区制作在N阱内;一第一金属接触制作在该N+叉指型扩散区上;一P+叉指型扩散区制作在N阱内;一第二金属接触制作在...
采用衬底表面粗化技术的倒装结构发光二极管制作方法技术
一种采用衬底表面粗化技术的倒装结构发光二极管制作方法,包括如下步骤:在衬底上依次外延生长氮化镓N型接触层、多量子阱有源区和氮化镓P型接触层;刻蚀露出氮化镓N型接触层;制作N接触电极;制作高反射P接触电极;在芯片表面沉积介质膜;在器件的整...
半导体晶片精密化学机械抛光剂制造技术
一种半导体晶片精密化学机械抛光剂,其特征在于,该抛光剂按重量百分比含有以下成分:二氧化氯融合剂1%-10%;pH调节剂3.5%-10%;其余为水;混合、搅拌,形成半导体晶片精密化学机械抛光剂。
一种高质量InN薄膜的获取方法技术
本发明涉及半导体材料与器件技术领域,特别是半导体InN薄膜材料的制备方法。在衬底上生长完InN薄膜之后,再在上面生长一层易于去除的、熔点和分解温度都高于InN材料的可在低温下生长的材料,我们称这层材料为盖层;接下来在氮气和氨气保护下对上...
用于键合的清洗和干燥装置制造方法及图纸
一种用于键合的清洗和干燥装置,包括:一圆形底座,其下部为一圆盘,圆盘上有一凸柱,整体截面的形状为倒T形;一装样容器,包括上下两部分,下部为中空的圆柱体,其中间空出部分为圆柱形可套在底座的凸柱上;上部为方形体,其中间为带有二级台阶的中空部...
LED照明的LCD背光源结构制造技术
本发明一种LED照明的LCD背光源结构,包括:一支架,该支架是一个底面连着散热板的顶端具开口的盒体,盒体内侧壁和内底面均为反射面;一二维排布的单色LED阵列,该单色LED阵列制作在支架上,排布在支架内底面上;一扩散板,该扩散板制作在二维...
多功能半导体晶片键合装置制造方法及图纸
一种多功能半导体晶片键合装置,包括键合腔室,该键合腔室中间的下部安装有一下压头;抽真空装置与键合腔室连接,控制真空泵机组对键合腔室抽真空,并且实时监测键合腔室的真空度;加热装置位于键合腔室内,对键合腔室加热到设定的温度,并且通过反馈装置...
采用有机电子受体层促进空穴有效注入的有机发光二极管制造技术
一种采用有机电子受体层促进空穴有效注入的有机发光二极管,由以下部分组成:一衬底;一正极沉积在衬底上;一有机电子受体层沉积在正极上,用于向正极有效的传递电子;一金属薄层沉积在有机电子受体层上,用于产生电子和空穴;一有机空穴注入层沉积在金属...
半导体应变弛豫材料的制作方法技术
一种半导体应变弛豫材料的制作方法,其特征在于,包括如下步骤:(1)在硅衬底上生长应变的锗硅薄膜;(2)在衬底上制作柔性键合介质;(3)将步骤(1)的锗硅薄膜/硅衬底与步骤(2)的衬底/柔性键合介质柔性键合,锗硅薄膜与柔性键合介质相对;(...
二维纳米结构深刻蚀方法技术
一种二维纳米结构深刻蚀方法,其特征在于,包括如下步骤:S01、在衬底上涂覆光刻胶,采用电子束曝光或其它曝光技术在光刻胶上制作出光子晶体纳米图形;S02、将光子晶体纳米图形转移到衬底上;S03、在纳米图形转移之后,将衬底表面的光刻胶去除,...
提高GaN基pin结构性能的紫外探测器及制作方法技术
一种提高GaN基pin结构性能的紫外探测器,其特征在于,器件结构包括:一衬底;一成核层,该成核层制作在衬底上;一N型欧姆接触层,该N型欧姆接触层制作在成核层上;一有源层,该有源层制作在欧姆接触层上面的中间;一P型欧姆接触层,该P型欧姆接...
提高GaN基肖特基结构性能的紫外探测器及制作方法技术
一种提高GaN基肖特基结构性能的紫外探测器,其特征在于,器件结构包括:一衬底;一成核层,该成核层制作在衬底上;一高浓度的N型欧姆接触层,该N型欧姆接触层制作在成核层上;一有源层,该有源层制作在N型欧姆接触层上面的中间;一肖特基接触电极,...
一种照明用氮化镓基发光二极管器件制造技术
本发明公开了一种照明用氮化镓基发光二极管器件,该二极管器件包括:蓝宝石衬底(1);在蓝宝石衬底(1)上依次外延生长的n型GaN基化合物(4)和p型InGaN有源层(7);采取干法刻蚀或湿法腐蚀的方法将p型InGaN有源层(7)局部去除,...
AlGaInP基发光二极管制造技术
一种AlGaInP基发光二极管,其特征在于,包括:一反射器;一n型下限制层,该n型下限制层制作在反射器之上,提供载流子限制作用;一有源层,该有源层生长在n型下限制层之上;一p型上限制层,该p型上限制层制作在有源层之上,提供载流子限制作压...
用MBE外延InAlGaN单晶薄膜的方法技术
一种用MBE外延InAlGaN单晶薄膜的方法,其特征在于,包括如下步骤:1)选择一衬底;2)在衬底上采用分子束外延法生长一层氮化层,使得蓝宝石表面形成生长氮化物的浸润层;3)升高衬底的温度;4)在氮化层上生长一层成核层,为生长InAlG...
一种照明用氮化镓基发光二极管器件制造技术
本发明公开了一种照明用氮化镓基发光二极管器件,该二极管器件包括:n型衬底(2);在n型衬底(2)上依次外延生长的n型GaN基化合物(4)和p型InGaN有源层(7);在p型InGaN有源层(7)上制备的p型透明电极(9);和在n型衬底(...
一种照明用氮化镓基发光二极管器件制造技术
本发明公开了一种照明用氮化镓基发光二极管器件,该二极管器件包括:p型衬底(3);在p型衬底(3)上依次外延生长的p型GaN基化合物(5)和n型InGaN有源层(6);在n型InGaN有源层(6)上制备的n型透明电极(12);和在p型衬底...
一种照明用氮化镓基发光二极管器件制造技术
本发明公开了一种照明用氮化镓基发光二极管器件,该二极管器件包括:p型衬底(3);在p型衬底(3)上依次外延生长的p型GaN基化合物(5)、p型InGaN有源层(7)和n型GaN基化合物(4);在n型GaN基化合物(4)上制备的n型透明电...
宽带隙氮化镓基异质结场效应晶体管结构及制作方法技术
一种宽带隙氮化镓基异质结场效应晶体管结构,包括:一衬底;一高温氮化铝成核层,该高温氮化铝成核层制作在衬底的上面;一铝(铟)镓氮超晶格缓冲层,该铝(铟)镓氮超晶格缓冲层制作在高温氮化铝成核层的上面;一非有意掺杂或掺杂氮化镓高阻层,该非有意...
用于MEMS器件的大面积3C-SiC薄膜的制备方法技术
本发明一种用于MEMS器件的大面积3C-SiC薄膜的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:1)取一衬底;2)将衬底外延生长面进行原位氢气刻蚀;3)在低压化学汽相沉积炉中在该衬底刻蚀面上外延生长一炭化层,此炭化层作为衬底和3C-SiC薄膜的...
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