本发明涉及半导体器件制备技术领域，具体为一种基于聚酰亚胺牺牲层的RF MEMS开关的制备方法，S1、在衬底上制备隔离层；S2、在绝缘隔离层上制备金属共面波导以及开关驱动电极；S3、在金属共面波导上旋涂聚酰亚胺牺牲层，并固化；S4、在聚酰...

本公开提供一种马赫曾德尔型定向耦合器的制备方法，涉及光通信与集成光学技术领域，包括：获取单模波导在工作波段内各波长处的第一有效折射率、偶对称超模的第二有效折射率和奇对称超模的第三有效折射率；分别根据各波长处的第一有效折射率，计算与各波长...

本公开实施例提供了一种氮化镓基纳米柱阵列结构，包括：氮化镓模板；介质掩模层，生长于氮化镓模板上，具有刻蚀至氮化镓模板的周期性的纳米圆孔；纳米柱阵列，生长于介质掩模层的纳米圆孔所在位置，纳米柱阵列中的每个纳米柱从下至上依次包括N型氮化镓纳...

本发明提供一种平面型高速高增益雪崩光电探测器及制备方法。其中，雪崩光电探测器包括：绝缘衬底；在绝缘衬底上依次叠置第一N型接触层、第二N型接触层、倍增层、P型电荷层、渡越层、吸收层、渐变层和光窗层；N电极设置于第一N型接触层上，且与第二N...

本发明提供了侧向非晶硅光子晶体激光器、激光器阵列及制备方法，涉及半导体激光器技术领域。侧向非晶硅光子晶体激光器包括：P型波导结构；有源层，设置在所述P型波导结构的第一面；以及第一电极和第二电极，设置在所述P型波导结构的第二面且所述第一电...

本发明提供了一种基于锆钛酸铅薄膜波导的非对称非均匀光栅耦合器，涉及光电集成器件技术领域，包括：光子芯片及光纤(8)；光子芯片从下至上依次包括衬底硅(1)、埋氧层(2)、硅反射层(3)、氧化硅隔离层(4)、锆钛酸铅薄膜层(5)、波导耦合光...

本发明提供了氮化镓单晶片制备过程应力调控结构，可应用于半导体技术领域。包括：蓝宝石单晶衬底；第一目标氮化铝单晶薄膜模板层，位于衬底上；多孔氮化铝应力协变区，位于第一目标氮化铝单晶薄膜模板层远离衬底的一侧；第二目标氮化铝单晶薄膜模板层，位...

本发明提供了一种波分解复用阵列，可应用于光通信领域技术领域。包括：第一输入波导，用于从外部接收初始光信号，初始光信号包含双偏振信息；偏振旋转分束器，用于将初始光信号转换成具有相同偏振信息的第一光信号和第二光信号；第二输入波导，用于传输第...

本公开提供了一种近似概率降序口令生成方法，可以应用于口令安全技术领域。该近似概率降序口令生成方法包括：创建第一搜索队列；对第一搜索队列进行广度优先搜索获取公共搜索队列；创建多个子搜索进程；利用多个子搜索进程并行对公共搜索队列进行深度优先...

本发明提供了一种激光器的相噪测量装置，可以应用于光通信技术领域。该装置包括：待测激光器，用于输出待测的激光信号；光相位调制器，用于将第一射频信号调制到激光信号上，输出相位调制光信号；光凹陷滤波器，用于对调制信号进行滤波，输出强度调制光信...

本发明提供了一种基于光电振荡器的激光信号相噪测量装置，可以应用于光通信技术领域。该激光信号相噪测量装置包括：待测激光器用于输出激光信号；相位调制器用于将微波信号调制到激光信号上，输出相位调制光信号；光凹陷滤波器用于对相位调制光信号进行滤...

本发明提供一种偏振复用激光输出装置，包括相干合束单元与偏振光谱合束单元，相干合束单元与偏振光谱合束单元沿第一方向并列布设，其中；相干合束单元所生成的第一相干合束光与第二相干合束光共同入射至偏振光谱合束单元内并生成相互垂直的P偏振态光束与...

本公开提供了一种p型氮化物欧姆电极的制备方法及电力电子器件，制备方法包括：在p型器件的外延结构上制备p型氮化物；在p型氮化物上制备金属镍层，对金属镍层进行氧等离子体氧化，使金属镍层反应形成氧化镍层；在氧化镍层上制备金属层，得到p型氮化物...

本发明提供一种基于相干合束和波长合束的激光输出装置，包括第一相干合束单元与第二相干合束单元，其中；第一相干合束单元与第二相干合束单元沿第一方向并列布设，第一相干合束单元生成第一零级衍射光，第二相干合束单元生成第二零级衍射光；第二相干合束...

本发明提供一种基于连续域束缚态超表面的超声波传感芯片，包括：衬底层；第一包覆层，覆盖所述衬底层；连续域束缚态超表面层，覆盖所述第一包覆层，所述连续域束缚态超表面被配置为感应光场；以及第二包覆层，覆盖所述连续域束缚态超表面层，所述第二包覆...

本发明提供一种激光多普勒水流测速系统中的信号处理方法，包括：根据待测水流采样信号的频域特性，建立激光外差相干信号数学模型，用于表征采样信号与多普勒频率、噪声之间的数学关系；基于该数学模型，通过自适应功率谱减法对采样信号和采样噪声的功率谱...

本公开提供了一种高集成双层薄膜铌酸锂光子处理系统及其制备方法，该系统包括：衬底；两层二氧化硅层，分别设于衬底的相对两侧；两层薄膜铌酸锂层，分别朝着远离衬底的方向设于两层二氧化硅层上；其中，两层薄膜铌酸锂层中的其中一层薄膜铌酸锂层上至少集...

本发明提供了一种激光多普勒外差测速系统中的噪声抑制方法，包括：获取采样信号和采样噪声，其中，采样信号包括有效信号、有色噪声和随机噪声，采样噪声包括与采样信号相一致的有色噪声和随机噪声；基于预构建的自适应峰值频率提取算法，从采样信号的功率...

本公开提供了一种视觉信息解算神经网络、装置及方法，涉及数字信号处理技术领域，用以解决因现有计算视觉方法造成的图像信号处理器专用性强、难以复用，且硬件开销大的技术问题。该神经网络的结构包括：多个具有特征与信息提取功能的基本模块，用于对来自...

本发明提供了一种氮化镓单晶片的制备方法，可应用于半导体技术领域。该方法包括：准备硅单晶衬底；采用脉冲磁控溅射工艺在硅单晶衬底上制备第一外延层；采用原位退火工艺将第一外延层中的锌组分完全热分解析出，得到第二外延层；采用脉冲磁控溅射工艺在第...