中国科学院半导体研究所专利技术

中国科学院半导体研究所共有5962项专利

  • 本公开提供了硅基锗铅红外发光二极管及其制备方法,涉及硅基光电技术领域。硅基锗铅红外发光二极管,包括:硅衬底,设置有N区和P区,所述N区和所述P区分别位于所述硅衬底表面的不同区域且之间存在间隔;锗铅纳米片,设置在所述N区和所述P区之间,并...
  • 本发明提供了一种方石英栅氧介质层的制备方法,可应用于半导体技术领域。该方法包括以下步骤:准备4H碳化硅待氧化样品,高温加热使其表面氧化,生成初始方石英氧化层;以及退火处理初始方石英氧化层,得到氧化后的4H碳化硅。采用氧化与退火工艺制备全...
  • 本公开提供了一种量子点‑石墨烯探测器及其制备方法,应用于半导体技术领域,该方法包括:通过负胶光刻工艺在氧化硅片衬底的一边上蒸镀金属底电极;通过负胶光刻工艺在该金属底电极上溅射氧化镍层;在该氧化镍层转移单层石墨烯层;通过正胶光刻工艺和氧等...
  • 本发明提供一种距离可调的日盲紫外光通信系统。该系统依次包括信号发射模块,信号接收模块和信号处理模块;信号发射模块依次包括信号采集单元、信号同步单元、调制电路单元、光源发射单元和发射光学处理单元;信号接收模块依次包括接收光学处理单元、光电...
  • 本发明提供了一种高线性集成级联调制器,应用于集成微波光子技术领域,包括:依次相连的可调分束器、第一不等比分束器、GSG电极、第一等比合束器、第二等比合束器、第二不等比分束器、GS电极和第三等比合束器,以及,并联在所述第一不等比分束器、所...
  • 本公开提供了一种微纳结构制备方法,包括:在衬底上生长样品层,样品层用于制备微纳结构;在样品层上旋涂抗蚀剂;去除部分抗蚀剂,抗蚀剂的去除部分与微纳结构的图形对应;在抗蚀剂表面淀积Al<subgt;2</subgt;O<s...
  • 本公开提供了一种变形镜,包括薄膜镜面、极头、致动器阵列和基座。致动器采用预紧力外壳封装的压电柱,并阵列化布置,与基座连接,通过极头固定镜面。该变形镜通过减小致动器尺寸并使用强预紧力,提高谐振频率;通过降低镜面厚度,使镜面快速跟随驱动力变...
  • 本公开提供了一种用于降低变形镜胶层应力的组装方法,涉及自适应光学技术领域,旨在解决现有技术中变形镜的镜面局部形变大、胶层应力大的技术问题。该方法包括:配置平面台,并将镜面装配至平面台上;根据胶层固化对镜面的面形影响,确定胶层的大小;利用...
  • 本公开提出了一种疏水性宽带减反射涂层的制备方法,包括:将基底放置于带有加热装置的沉积腔室中;基于引发式化学气相沉积技术,向沉积腔室中通入包括引发剂、第一单体和第二单体的第一气体组,引发剂受热分解产生的自由基与第一单体和第二单体在沉积腔室...
  • 本公开提供了一种多普勒速度场信息解算神经网络、装置及方法,涉及数字信号处理技术领域,用以解决因传统多普勒速度场解算方法造成的速度场图像信号处理器专用性强、难以复用,且硬件开销大的技术问题。该神经网络的结构包括:多个具有特征与信息整合功能...
  • 本发明提供了一种基于光电振荡器的低相噪窄线宽激光信号产生装置,可以应用于光通信技术领域。该激光信号产生装置包括:本振激光器用于输出激光信号;相位调制器用于将微波信号调制到激光信号上,输出相位调制光信号;光滤波器用于对相位调制光信号进行滤...
  • 本发明提供了一种硅基III‑V族外延材料的制备方法,包括:对硅衬底的表面进行清洗和预处理,以清除表面杂质并平整硅衬底的表面;将预处理后的硅衬底置于特定环境下进行升温和退火;在退火后的硅衬底表面预沉积超薄插入层,在超薄插入层表面外延生长I...
  • 本技术提供了一种户外监测识别设备,包括内部形成第一空腔的柜机,柜机的底部设有第一通风孔;连接部设置于柜机的顶部,连接部的的侧壁设有第二通风孔;防护部设置于连接部的顶部,防护部内形成第二空腔,防护部与连接部之间设置有第一连通孔,连接部内设...
  • 本发明提供了一种MXene:MoS<subgt;2</subgt;量子点忆阻器,应用于无机半导体技术领域,该忆阻器包括依次设置的衬底、顶电极、阻变层和底电极,该阻变层包括介质层和敷设在该介质层上的MXene:MoS<s...
  • 本公开提供了一种基于白光干涉的分布式光纤传感系统,包括:宽谱光源,用于产生低相干光信号;光源调制模块,连接宽谱光源,用于将低相干光信号调制为高消光比的脉冲光信号;干涉仪模块,连接光源调制模块,用于对脉冲光信号进行分光,使分光后的脉冲光信...
  • 本公开提供了一种极紫外超透镜结构及电子设备。其中,该极紫外超透镜结构包括基底层以及超表面层,基底层用于作为极紫外超透镜结构的支撑结构;超表面层设置在基底层上,设置有基于几何相位原理分布的纳米孔结构单元阵列,以通过改变纳米孔结构单元阵列中...
  • 本公开提供了一种变形镜及自适应光学系统,变形镜包括:基座;多个驱动柱,以阵列方式垂直地设置在基座上,每个驱动柱包括:轴向叠设的多个压电驱动器,每个压电驱动器被构造成响应于外部的控制信号在轴向方向上延长或收缩,使每个驱动柱在轴向方向上延长...
  • 本发明提供了一种核酸检测装置及方法,可以应用于分子检测技术领域。该装置包括:第一腔室(1),用于储存第一反应试剂(11);第二腔室(2),用于储存第二反应试剂(21);密封件(3),位于第一腔室(1)和第二腔室(2)之间,用于密封第一腔...
  • 本公开提供了一种基于多材料平台的集成微波光子处理芯片,包括:基底(1)、发射芯片(2)、电光调制芯片(3)、接收芯片(4)及光子引线键合结构(5),发射芯片(2)、电光调制芯片(3)、接收芯片(4)均置于基底(1)上,依次通过光子引线键...
  • 本公开提供一种捷变频微波光子滤波器,包括:激光源,用于产生激光信号;电光调制器,用于将输入微波信号调制到激光信号上,得到调制光信号;滤波器,用于对调制光信号进行滤波处理,得到滤波光信号;光探测器,用于将滤波光信号转换为输出微波信号;其中...