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中国科学院半导体研究所专利技术
中国科学院半导体研究所共有5962项专利
蓝宝石图形衬底的制备方法技术
本发明公开了一种蓝宝石图形衬底的制备方法,其包括如下步骤:步骤1:在蓝宝石衬底表面形成掩膜层;步骤2:将掩膜层图形化,形成掩膜图形;步骤3:利用干法刻蚀具有掩膜图形的蓝宝石衬底,并形成与所述掩膜图形对应的原始凸起;步骤4:利用湿法修饰所...
纳米孔与金属颗粒复合陷光结构太阳能电池及制备方法技术
一种纳米孔与金属颗粒复合陷光结构太阳能电池及制备方法,其中太阳能电池,包括:一P型硅基材料薄膜;一N+型硅纳米孔二维阵列层,其制作在P型硅基材料薄膜的上表面,该N+型硅纳米孔二维阵列层上有纳米孔;Ti/Pd/Ag条形欧姆金属电极,该Ti...
一种制备基于量子点的空穴型存储器的方法技术
本发明公开了一种制备基于量子点的空穴型存储器的方法,包括:在衬底上依次生长缓冲层和第一p掺杂层;在第一p掺杂层上生长p+掺杂势垒层和非掺杂势垒层,形成二维空穴气;在二维空穴气上依次生长第一非掺杂空间层、具有II类异质结构的量子点层和第二...
多端口读写的片内存储器制造技术
一种多端口读写的片内存储器,包括:依次连接的三级电路结构,第一级电路结构用于输入数据的锁存与存储单元的选通,第二级电路结构用于将数据写入存储单元中并存储起来,第三级电路结构用于存储数据的读出,其中,该第一级电路结构包括写地址译码器,时钟...
采用棱镜的半导体激光器偏振耦合装置制造方法及图纸
一种采用棱镜的半导体激光器偏振耦合装置,包括:一半导体激光器阵列,该半导体激光器阵列包括第一输出光路和第二输出光路;一半波片,该半波片位于半导体激光器阵列的第二输出光路上;一偏振分光棱镜,该偏振分光棱镜位于半导体激光器阵列的第二输出光路...
一种制作发射极环绕型太阳电池的方法技术
本发明公开一种制作发射极环绕型太阳电池的方法,包括:在基片上制作呈等边三角形阵列排布的通孔阵列;将基片在碱性溶液中进行各向异性腐蚀制作减反绒面;将基片在管式扩散炉内进行杂质扩散形成发射极;在基片正面和背面制作氮化硅或氧化硅形成正面减反介...
柱状金属表面的激光毛化方法技术
一种柱状金属表面的激光毛化方法,包括如下步骤:步骤1:取一用于液压密封的柱状金属;步骤2:采用激光器,将脉冲激光束聚焦照射到柱状金属的表面形成微小熔池;步骤3:用辅助气体从侧边吹向柱状金属表面的熔池,将熔池中已融化的金属吹到熔池的边缘;...
基于倾斜光束边发射激光器的硅波导输出面上光源装置制造方法及图纸
本发明公开了一种基于倾斜光束边发射激光器的硅波导输出面上光源装置,适用于硅基光子集成芯片的光源部分。该面上光源装置包括硅基耦合光栅部分和III-V族倾斜光束边发射激光器部分,其中硅基部分采用SOI材料,其上分布着布拉格光栅和耦合输出波导...
超低发散角倾斜光束单纵模人工微结构激光器制造技术
一种超低发散角倾斜光束的单纵模人工微结构激光器,包括:一衬底和在衬底上制作的N型下限制层、N型下波导层、有源区、P型上波导层、P型上限制层、P型欧姆接触层、绝缘层,一P型电极制作在绝缘层上;一N型电极,制作在衬底的背面;该P型上限制层的...
端泵激光器的冷却方法和冷却装置制造方法及图纸
本发明公开了一种端泵激光器的冷却方法,所述端泵激光器包括激光腔和位于激光腔内的激光晶体棒,其采用端泵的泵浦方式,将泵浦激光聚焦在激光晶体棒内部,所述方法包括:在所述激光腔的腔壁上设置多个喷雾装置,该喷雾装置向所述激光晶体棒喷射水雾;在激...
一种具有DBR高反射结构的紫外发光二极管及其制备方法技术
本发明公开了一种AlGaN基DBR高反射紫外发光二极管及制作方法。该紫外发光二极管依次包括:衬底、AlN成核层、n型AlGaN势垒层、有源区、p型AlGaN势垒层和p型GaN冒层;其中,所述p型AlGaN势垒层上制作有DBR高反射结构。...
InSb晶片与Si晶片键合的方法技术
本发明提供了一种InSb晶片与Si晶片键合的方法。该方法包括:步骤A,将至少单面抛光的InSb晶片和Si晶片在有机溶剂中分别进行高温超声煮洗,而后用去离子水清洗;步骤B,将所述Si晶片置于酸溶液中煮洗,而后用去离子水冲洗;步骤C,将所述...
具有角度调节功能的样品托制造技术
一种具有角度调节功能的样品托,包括:一基台,在圆心的直径方向有一条V形固定槽;一角度调节杆,为矩形结构,与角度调节杆纵向垂直的该角度调节杆下面有一条三角凸起,该三角凸起与基台上的V形固定槽配合;一弹簧,其一端位于基台上的通孔内,另一端位...
用于超薄半导体芯片接触式曝光的方法技术
一种用于超薄半导体芯片接触式曝光的方法,包括如下步骤:步骤1:取一半导体芯片;步骤2:取一半导体衬片;步骤3:用粘结剂将半导体芯片和半导体衬片粘接,形成基片;步骤4:将基片进行甩胶处理;步骤5:将基片置于光刻机上,对基片进行接触式曝光,...
阵列定向光耦合装置制造方法及图纸
本发明提供了一种阵列定向光耦合装置。该阵列定向光耦合装置包括:管壳及刚性固定于管壳内的第一芯片支架、第一光学透镜组、共用光隔离器、第二光学透镜组和第二芯片支架;共用光隔离器为片状,其纵切面与固定于第一芯片支架的第一光电子阵列芯片出射光区...
一种低密度InAs量子点的分子束外延生长方法技术
本发明公开了一种低密度InAs量子点的生长方法,该方法包括:步骤1:生长InAs有源层量子点前插入InAs牺牲层量子点;步骤2:原位高温退火使InAs牺牲层量子点完全解吸附;步骤3:微调InAs牺牲层量子点二维到三维转化的临界生长参数,...
高压发光二极管芯片及其制造方法技术
一种高压发光二极管芯片的制作方法,包括:在衬底形成绝缘缓冲层;在绝缘缓冲层上形成n型半导体层、有源层和p型半导体层;图形化后蚀刻所述n型半导体层、有源层和p型半导体层形成沟槽,直至沟槽底部暴露出绝缘缓冲层,从而形成多个通过沟槽隔离的发光...
一种视频压缩编码与解码方法及其装置制造方法及图纸
本发明公开了一种基于视频内容分析的视频压缩编码与解码方法,其包括:实时建立视频的背景模型,并根据背景模型对背景视频进行压缩编码;检测前景运动目标,保存前景运动目标的相关信息,并根据检测到的前景运动目标对前景视频数据进行压缩编码;将上述压...
基于可调谐微环谐振器的混沌信号发生器制造技术
一种基于可调谐微环谐振器的混沌信号发生器,包括:一输入光波导,其具有一个输入端和一个输出端;一环形波导,其首尾相接形成闭合的光波回路,该环形波导与输入光波导相邻,并与输入光波导中传输的光有能量交换;一输出光波导,其具有一个输入端和一个输...
基于离子摩尔浓度监测的路面冰点温度测试系统及方法技术方案
本发明公开了一种基于离子摩尔浓度监测的路面冰点温度测试系统及方法,根据溶液冰点温度与离子摩尔浓度的线性单调关系,通过溶液阻抗监测进行离子摩尔浓度测量,结合当前溶液温度,通过标定和校准即可测得溶液当前冰点温度。与常规冰点温度测试方法相比,...
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