具有角度调节功能的样品托制造技术

一种具有角度调节功能的样品托，包括：一基台，在圆心的直径方向有一条V形固定槽；一角度调节杆，为矩形结构，与角度调节杆纵向垂直的该角度调节杆下面有一条三角凸起，该三角凸起与基台上的V形固定槽配合；一弹簧，其一端位于基台上的通孔内，另一端位于角度调节杆上的第一通孔内，该弹簧的两端分别与第一小孔及第二小孔中的顶针固定；一螺杆，穿过角度调节杆上的第二通孔与基台上的螺纹通孔螺接。本发明专利技术具有一维调节角度功能的样品托，从而与厂家标配的样品台进行配合，实现样品的6维调节功能。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种扫描电子显微镜领域使用的样品托，尤其指具有角度调节功能的样品托，其是观察截面时使用的样品托。
技术介绍
扫描电子显微技术是通过对电子束与样品之间相互作用产生的二次电子、背散射电子或者其他信号进行探测、分析，从而反应样品表面形貌、样品成分等信息的科学。扫描电子显微镜以其超高分辨率、高可靠性、操作简单方便等等优点，在生物学、半导体科学、材料分析学等各个学科领域广泛使用，它已经成为一种必不可少的科学技术手段。扫描电子显微镜在观察样品时一般都将样品首先粘附在样品托上，然后将样品托固定在腔室中的可以进行平移运动和转动调节的样品台上，扫描电子显微镜厂家都有自己标配的样品台，但是由于样品腔室空间的限制，通常厂家标配的样品台具有5维调节功能，包括3维平移，分别是X轴、Y轴、Z轴，和2维转动，绕着Z轴的转动和绕着X轴的转动。由于缺少一维转动功能，在对样品进行截面观察时，如果需要分别对绕X轴和绕Y轴进行转动时，将无法实现，需要将样品从样品托上取下，重新进行粘贴，在这个过程增加了不必要的工作量，增加了对样品损伤的几率。
技术实现思路
基于上述原因，本专利技术的目的在于，提出一种具有角度调节功能的样品托，该样品托具有一维调节角度功能的样品托，从而与厂家标配的样品台进行配合，实现样品的6维调节功能。本专利技术提供一种具有角度调节功能的样品托，包括:一基台，为一圆柱体，在圆柱体的一平面上沿着通过圆心的直径方向有一条V形固定槽，与V形固定槽成90度方向且靠近基台边缘处的一侧有一个螺纹通孔，另一侧有一通孔，在该基台的侧壁上有一第一小孔，该第一小孔内插入有一顶针，该第一小孔与通孔连通；在该基台上的V形固定槽的V形开口的下方有一盲孔；—角度调节杆，为矩形结构，其一端边缘处具有一第一通孔，另一端具有一第二通孔，在角度调节杆端部的侧壁上有一第二小孔，该第二小孔与第一通孔连通，该第二小孔插入有一顶针，与角度调节杆纵向垂直的该角度调节杆下面有一条三角凸起，该三角凸起与基台上的V形固定槽配合；一弹簧，其一端位于基台上的通孔内，另一端位于角度调节杆上的第一通孔内，该弹簧的两端分别与第一小孔及第二小孔中的顶针固定；一螺杆，穿过角度调节杆上的第二通孔与基台上的螺纹通孔螺接。本专利技术具有以下优点，具有设计简单，使用方便，通过调节螺杆可以使角度调节杆的角度产生变化，使样品产生一维角度转动。附图说明为进一步说明本专利技术的具体
技术实现思路
，以下面结合附图和实施例进一步说明如后，其中:图1为本专利技术的结构示意图。具体实施例方式请参阅图1所示，本专利技术提供一种具有角度调节功能的样品托，包括:—基台10,为一圆柱体,在圆柱体的一平面上沿着通过圆心的直径方向有一条V形固定槽11，与V形固定槽11成90度方向且靠近基台10边缘处的一侧有一个螺纹通孔12，另一侧有一通孔13，在该基台10的侧壁上有一第一小孔14，该第一小孔14内插入有一顶针，该第一小孔14与通孔13连通；在该基台10上的V形固定槽11的V形开口的下方有一盲孔15，所述基台上的V形固定槽11的角度大于角度调节杆20上的三角形凸起24的角度；一角度调节杆20，为矩形结构，其一端边缘处具有一第一通孔21，另一端具有一第二通孔22，在角度调节杆20端部的侧壁上有一第二小孔23，该第二小孔23与第一通孔21连通，该第二小孔23插入有一顶针，与角度调节杆20纵向垂直的该角度调节杆20下面有一条三角凸起24，该三角凸起24与基台10上的V形固定槽11配合；所述该基台10与该角度调节杆20之间的角度调节范围在±5度之间。一弹簧30，其一端位于基台10上的通孔13内，另一端位于角度调节杆20上的第一通孔21内，该弹簧30的两端分别与第一小孔14及第二小孔23中的顶针固定，该弹簧30为螺旋弹簧，该弹簧30为拉紧弹簧；一螺杆40，穿过角度调节杆20上的第二通孔22与基台10上的螺纹通孔12螺接。如图1所示，将角度调节杆20的三角形凸起24放入到基台10的V形固定槽11中，三角形凸起24的顶边和V型槽11的底边应具有高的光洁度和陡直度，圆角控制在R< 0.05mm ;三角形凸起24在V型槽11中可以自由地、光滑地转动，转动角度取决于V型槽11与三角形凸起24的角度之差；弹簧30的自由长度应小于角度调节杆的高度，在整个调节过程中均处于拉紧状态；螺杆40的螺纹与基台10上螺纹通孔12的螺纹均为细牙螺纹，保证角度调节的精度；基台10、角度调节杆20、螺杆40和顶针应采用轻的金属材料制成，例如硬铝；弹簧30的外径略小于角度调节杆20上第一通孔23的内径，在角度调节的过程中，弹簧30保持竖直，不会与第一通孔23的内壁相触碰；顶针固定在基台10的第一小孔14和角度调节杆20的第二小孔23中，不能转动，不能相对移动；基台10的形状可以是圆柱形，也可以是方柱形。角度调节杆20的形状可以是其他形状；在对样品60进行扫描电镜观察时，首先将扫描电镜专用的导电胶带50粘贴在角度条件杆20的侧面，然后将样品60粘贴在导电胶带50上。调节螺杆40，由于弹簧30的拉紧调节作用，使样品托绕着三角形凸起24的顶边转动到所需要的角度，然后将样品托放入扫描电镜样品室中进行观察。本专利技术的具有角度调节功能的样品托，可以实现一维角度调节，调节范围为±5度之间，与扫描电镜本身具有的平移和转动配合可以实现三维平移和三个方向的角度转动，避免了样品反复粘贴产生破损，样品托设计简单，使用方便。最后所应说明的是，以上实施例仅用以说明本专利技术的技术方案而非限制。尽管参照实施例对本专利技术进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，对本专利技术的技术方案进行修改或者等同参照，都不脱离本专利技术技术方案的精神和范围，其均应涵盖在本专利技术的权利要求范围当中。权利要求1.一种具有角度调节功能的样品托，包括: 一基台，为一圆柱体，在圆柱体的一平面上沿着通过圆心的直径方向有一条V形固定槽，与V形固定槽成90度方向且靠近基台边缘处的一侧有一个螺纹通孔，另一侧有一通孔，在该基台的侧壁上有一第一小孔，该第一小孔内插入有一顶针，该第一小孔与通孔连通；在该基台上的V形固定槽的V形开口的下方有一盲孔； 一角度调节杆，为矩形结构，其一端边缘处具有一第一通孔，另一端具有一第二通孔，在角度调节杆端部的侧壁上有一第二小孔，该第二小孔与第一通孔连通，该第二小孔插入有一顶针，与角度调节杆纵向垂直的该角度调节杆下面有一条三角凸起，该三角凸起与基台上的V形固定槽配合； 一弹簧，其一端位于基台上的通孔内，另一端位于角度调节杆上的第一通孔内，该弹簧的两端分别与第一小孔及第二小孔中的顶针固定； 一螺杆，穿过角度调节杆上的第二通孔与基台上的螺纹通孔螺接。2.根据权利要求1所述的具有角度调节功能的样品托，其中基台上的V形固定槽的角度大于角度调节杆上的三角形凸起的角度。3.根据权利要求1所述的具有角度调节功能的样品托，其中该弹簧为螺旋弹簧。4.根据权利要求3所述的具有角度调节功能的样品托，其该弹簧为拉紧弹簧。5.根据权利要求1所述的具有角度调节功能的样品托，其中该基台与该角度调节杆之间的角度调节范围在±5度之间。全文摘要一种具有角度调节功能的样品托，包括一基台，在圆心的直径方向有一条V形固定槽；一角度调节杆，为矩形结构，与角度调节本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种具有角度调节功能的样品托，包括：?一基台，为一圆柱体，在圆柱体的一平面上沿着通过圆心的直径方向有一条V形固定槽，与V形固定槽成90度方向且靠近基台边缘处的一侧有一个螺纹通孔，另一侧有一通孔，在该基台的侧壁上有一第一小孔，该第一小孔内插入有一顶针，该第一小孔与通孔连通；在该基台上的V形固定槽的V形开口的下方有一盲孔；?一角度调节杆，为矩形结构，其一端边缘处具有一第一通孔，另一端具有一第二通孔，在角度调节杆端部的侧壁上有一第二小孔，该第二小孔与第一通孔连通，该第二小孔插入有一顶针，与角度调节杆纵向垂直的该角度调节杆下面有一条三角凸起，该三角凸起与基台上的V形固定槽配合；?一弹簧，其一端位于基台上的通孔内，另一端位于角度调节杆上的第一通孔内，该弹簧的两端分别与第一小孔及第二小孔中的顶针固定；?一螺杆，穿过角度调节杆上的第二通孔与基台上的螺纹通孔螺接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：刘媛媛，杨富华，
申请(专利权)人：中国科学院半导体研究所，
类型：发明
国别省市：