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中国科学院半导体研究所专利技术
中国科学院半导体研究所共有5962项专利
银铜扩散焊接方法及焊接装置制造方法及图纸
本发明提出了一种新型的银铜扩散焊接方法及其使用的焊接装置。利用该方法和焊接装置可以将多层薄片热沉或者带有微型散热图形的热沉焊接在一起,具有方法简单、焊接成品率高、焊接质量和可靠性好的优点,主要应用于功率型电子元器件、激光器或者光学增益介...
表面等离子体调制的倒装VCSEL激光器及其制造方法技术
本发明公开了一种表面等离子体调制倒装VCSEL激光器的制造方法,包括:(1)外延片准备;(2)台面制备;(3)湿法氧化;(4)P面生长SiO2;(5)制作隔离窗口;(6)P面制作电极;(7)N面减薄;(8)N面生长SiO2;(9)N面S...
GaAs基PHEMT生物传感器及其制作方法技术
本发明公开了一种用于检测汞离子(Hg2+)的GaAs基PHEMT生物传感器,其以GaAs基PHEMT为基底,利用GaAs基PHEMT器件源漏电流随着栅极电荷的改变会发生规律性变化的特性,在特定条件下,通过在栅极固定生物敏感元件,当吸附重...
一种快速检测重金属离子的多通道传感器及其制作方法技术
本发明公开了一种用于检测重金属离子的InP基HEMT多通道传感器,其采用分子束外延系统制备InP基HEMT,一定条件下将特异性生物分子固定于栅极表面通过将InP基HEMT高跨导低噪声的特性与检测技术和微流控技术相结合,研制了能够同时检测...
无掺杂剂的AlGaN基紫外发光二极管及制备方法技术
本发明一种无掺杂剂的AlGaN基紫外发光二极管及制备方法,其中无掺杂剂的AlGaN基紫外发光二极管,包括:一衬底;一无掺杂剂n型层,其制作在衬底上;一有源区,其制作在无掺杂剂n型层上;一无掺杂剂p型层,其制作在有源区上。本发明不用引入任...
基于多模干涉器结构的外调制型少模光通信发射芯片制造技术
本发明公开了一种基于多模干涉器结构的外调制型少模光通信发射芯片,涉及少模光通信领域,该芯片包括:单纵模激光器单元、多模干涉器模式复用器组合单元、调制器阵列和光波导单元,其中:单纵模激光器单元用于产生基模光信号;多模干涉器模式复用器组合单...
基于数据分组量化的局部放电识别方法技术
一种基于数据分组量化的局部放电识别方法,包括如下步骤:步骤1:采集局部放电数据;步骤2:对采集到的局部放电数据进行预处理,得到脉冲时间序列;步骤3:对获得的脉冲时间序列进行分组量化,统计每个量化区间的脉冲数据;步骤4:对分组脉冲数据进行...
一种具备图像增强功能的视频监控与采集系统技术方案
本发明公开了一种具备图像增强功能的视频监控与采集系统,包括用于获取图像的图像获取装置、模数转换装置AD、用于对经模数转换的数字图像信号进行增强处理的图像处理模块、数模转换装置DA、视频存储模块、监视器终端,以及用于控制整个系统运行状态的...
全光谱LED光源模组制造技术
一种全光谱LED光源模组,其特征在于,包括:一基板,中央有圆形或多边形的凹槽,该凹槽位于基板的中间,该凹槽有多个电极焊点及多个电源电极;多个LED芯片,位于所述基板正面凹槽的底部,该LED芯片发出连续谱的光线;多个电阻,位于所述基板正面...
一种叠层太阳能电池及其制备方法技术
本发明公开了一种叠层太阳能电池及其制备方法,该叠层太阳能电池包括:硅太阳能电池;在该硅太阳能电池上表面形成的高带隙光电转换材料;和/或在该硅太阳能电池下表面形成的低带隙光电转换材料。本发明针对硅太阳能电池性能难以大幅度提高的问题,添加额...
一种超声波触觉反馈系统及其制造方法技术方案
本发明公开了一种基于电容式超声传感器的超声波触觉反馈系统,包括电容式超声传感器阵列、控制电路、驱动电路、计算机等部分。计算机控制超声发射信号加载到电容式超声传感器阵列单元上,使传感器各个单元在空间中产生多种幅度和相位的超声波辐射场,相互...
偏[111]晶向锗单晶片位错显示用腐蚀液及腐蚀方法技术
本发明公开了一种适合[100]偏[111]晶向的锗单晶片位错显示用腐蚀液及腐蚀方法,该方法包括:配置腐蚀液;将配置好的腐蚀液置于恒温水浴锅内加热;对锗单晶片进行表面清洁;将锗单晶片浸于腐蚀液内进行腐蚀,时间为5分钟;对腐蚀过的锗单晶片进...
新型外置荧光模块的显微镜制造技术
本发明提供一种新型外置荧光模块的显微镜,其照明装置,包括一个外置光源和一个滤光片组构成的荧光模块。所述荧光模块置于物镜与样品之间,位于物镜的正下方。显微镜的光源路径依次为外置光源,荧光模块,样品,荧光模块,物镜,目镜。本发明的新型外置荧...
基于SOI衬底的单杂质原子无结硅纳米线晶体管及制备方法技术
一种基于SOI衬底的单杂质原子无结硅纳米线晶体管及制备方法,其中基于SOI衬底的单杂质原子无结硅纳米线晶体管,包括:一SOI衬底;一源区,其位于SOI衬底上面的一侧;一漏区,其位于SOI衬底上面的另一侧;一硅纳米线,该硅纳米线位于SOI...
基于耦合腔的单模高速调制法布里‑珀罗半导体激光器制造技术
一种基于耦合腔的单模高速调制法布里一珀罗半导体激光器,包括:一管芯,该管芯为一叠层结构,包括:一下电极;一下接触层,其制作在下电极上;一N型衬底,其制作在下接触层上;在N型衬底上分为两部分,一是为法布里珀罗型微腔,二是为回音壁型微腔,该...
一种高功率密度半导体激光器热沉制造技术
本发明公开了一种高功率密度半导体激光器热沉,包括:进水热沉,为一具有上窄下宽横截面的柱状结构,柱体厚度大于列阵条长度(标准10mm),较窄的上表面用于焊接高密度封住的半导体激光器列阵条叠层。其一侧面开有入水孔,入水孔四周开有凹槽;所述入...
一种扫描探针及其制作方法技术
本发明公开了一种高分辨率、高灵敏度、高可靠性的扫描探针制作方法。该方法采用微纳加工工艺实现,即在衬底上通过光刻、刻蚀制作针尖和悬臂梁,针尖利用低温氧化技术进行锐化,并且利用荫罩对针尖进行局部金刚石薄膜淀积。本发明将常规微纳加工方法同金刚...
利用光电振荡器主动校准微波信号光纤传输的装置制造方法及图纸
一种利用光电振荡器主动校准微波信号光纤传输的装置,包括:一中心站和一基站,其中心站和基站之间通过一单模光纤连接。本发明可以克服传统电子学方法在带宽、重量、体积、电磁干扰等方面的劣势,并突破电子技术实现高频微波信号稳相传输的瓶颈。
一种测试复合硅衬底上多层石墨烯样品层数的方法技术
本发明公开了一种测试复合硅衬底上多层石墨烯样品层数的方法,包括如下步骤:利用椭圆偏光仪获得SiO2/Si衬底表面SiO2层的厚度,在SiO2/Si衬底上通过微机械剥离方法或各种转移方法获得多层石墨烯样品,利用显微拉曼谱仪分别测试SiO2...
融合波长可调谐光时域反射计与光纤衰荡腔传感阵列系统技术方案
一种融合波长可调谐光时域反射计与光纤衰荡腔传感阵列系统,包括:一可调谐激光器;一电光调制器,其输入端与可调谐激光器的输出端连接;一环行器,其端口1与电光调制器的输出端连接;一阵列波导光栅,其输入端与环行器的端口2连接;N×M个光纤衰荡腔...
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