中国科学院半导体研究所专利技术

中国科学院半导体研究所共有5962项专利

  • 一种增强型氮化物场效应晶体管及其制备方法
    本发明公开了一种增强型氮化物场效应晶体管及其制备方法,该方法在衬底上依次生长成核层、铟镓氮高阻缓冲层、铝铟镓氮势垒层;在铝铟镓氮势垒层上制备源极和漏极;源漏之间刻蚀有单条或多条沟槽,沟槽的深度大于铝铟镓氮势垒层的厚度,沟槽内填充有高介电...
  • 柔性紫外图像传感器及其制备方法
    本发明提供了一种柔性紫外图像传感器的制备方法,包括:准备柔性衬底;在柔性衬底上覆盖一维无机半导体纳米线;在覆盖有一维无机半导体纳米线的柔性衬底上进一步加工以形成所述柔性紫外图像传感器。本发明采用一维无机半导体纳米线,具有较强的柔性,具有...
  • 多波长硅基混合集成slot激光器阵列及其制备方法
    一种多波长硅基混合集成slot激光器阵列及其制备方法,多波长硅基混合集成slot激光器阵列包括硅基波导结构及键合在所述硅基波导结构上的多模半导体增益激光器阵列,其中,所述硅基波导结构包括硅基衬底以及设置在所述硅基衬底上的n条波导通道,每...
  • 一种基于非对称光束整形的半导体激光模块
    本发明公开了一种基于非对称光束整形的半导体激光模块,包括半导体激光器叠阵(2个)、半波片、偏振片、切割镜片、整形镜片、水冷底板、水冷挡板、壳底热沉、保护罩和上盖板。通过对半导体激光叠阵先进行偏振合束合为一束光,再对合束的光束进行非对称光...
  • 基于褶皱导电薄膜的摩擦发电机及制备方法、集成结构
    本发明提供了一种基于褶皱导电薄膜的摩擦发电机,包括:上摩擦层,包含:上绝缘层(200),由柔性材料制备;上电极(100),位于上绝缘层之上;下摩擦层,包含:衬底(400),由柔性材料制备;下电极(300),位于衬底之上,由褶皱的导电薄膜...
  • 碳化硅半导体器件及其制备方法
    本发明提供了一种碳化硅半导体器件,可应用于高压领域,由多个元胞并联形成,各元胞结构包括:p+衬底;外延层,位于所述衬底之上;两个离子注入的n势垒区,分别叠置于所述外延层上两侧;两个离子注入的p+屏蔽区,分别叠置在各所述n势垒区之上;两个...
  • 激光差分成像探测方法及其装置
    一种激光差分成像探测方法及其装置,该方法包括以下步骤:采用一帧一脉一门的曝光方式,距离选通成像得到待探测区n个切片的n帧后向反射图像;根据灰度阈值将所述n帧后向反射图像分成m个信息帧和n‑m个背景帧;对m个信息帧和背景帧求差分得到m个信...
  • 基于耦合串扰理论的光网络物理攻击装置及方法
    本发明提供了一种基于耦合串扰理论的光网络物理攻击装置,包括:信号获取与转发模块;激光合流模块,用于接收信号获取与转发模块输出的业务信号;光电信号处理模块,根据接收的业务信号调节控制参数;激光器模块,根据所述控制参数调节攻击信号的波长和输...
  • 一种长波长垂直腔面发射激光器
    本发明公开了一种长波长垂直腔面发射激光器,包括衬底,衬底上依次为n型DBR、n型空间层、有源区、p型空间层、出光孔,p面电极蒸镀于p型空间层上,并包围出光孔,n型DBR中间设有电流限制层,电流限制层上形成有圆形电流限制孔,衬底和n型DB...
  • 量子级联激光器
    本发明提供了一种量子级联激光器,该量子级联激光器包括:阶梯热沉,其壁面上开有若干个阶梯平面;单管量子级联激光器,固定安装在所述阶梯热沉的阶梯平面上;非球面透镜,固定安装在所述阶梯热沉的阶梯平面上,位于单管量子级联激光器的前端;以及反射镜...
  • 基于多孔DBR的GaN基VCSEL芯片及制备方法
    一种基于多孔DBR的GaN基VCSEL芯片,包括:一衬底;制作在衬底上的缓冲层;制作在缓冲层上的底部多孔DBR层;制作在底部多孔DBR层上的n型掺杂GaN层及外围向下刻蚀形成有台面;制作在n型掺杂GaN层上的有源层;制作在所述有源层上的...
  • GaN基多孔DBR的制备方法
    一种GaN基多孔DBR的制备方法,包括如下步骤:步骤1:在一衬底上依次生长缓冲层、n型GaN导电层、交替堆叠的n型高掺杂层和非掺杂层,该交替堆叠的n型高掺杂层和非掺杂层构成多周期的氮化物外延结构;步骤2:在氮化物外延结构的上表面沉积绝缘...
  • 采用变温PL谱获取半导体材料杂质电离能的无损测量方法
    一种采用变温PL谱获取半导体材料杂质电离能的无损测量方法,其是通过分析半导体材料变温PL谱谱峰强度随温度升高而下降的热淬灭行为,计算获得半导体材料的杂质电离能,具体方法包括:步骤1:测量待测半导体材料的变温PL谱;步骤2:通过谱峰拟合,...
  • 一种匀化白光光源及其匀化方法
    一种匀化白光光源,包括一光源、一匀化系统和一荧光转换器件,其中:光源为点光源,用于发射光束;匀化系统用于对光束进行匀化,以使光束形成匀化面光源;荧光转换器件,用于接收匀化面光源的光束,实现白光输出。上述匀化系统为扩散片、衍射光学元件或微...
  • 异质外延金刚石及其制备方法
    本发明提供了一种异质外延金刚石及其制备方法。该异质外延金刚石包括:异质衬底;石墨烯柔性层,制备于异质衬底上;金刚石层,外延生长于石墨烯柔性层上;其中,石墨烯柔性层作为异质衬底上生长金刚石的柔性中间层。本发明利用石墨烯作为外延金刚石的模板...
  • 太赫兹量子级联激光器的液氮冷却系统及采用其的激光器
    一种太赫兹量子级联激光器的液氮冷却系统及采用其的激光器,该液氮冷却系统包括:一液氮杜瓦瓶,所述液氮杜瓦瓶的内壳为“L”形结构;一管芯安装座,所述管芯安装座位于所述液氮杜瓦瓶内壳拐角一端的端部,与所述内壳为一体结构,且所述管芯安装座上设有...
  • LED倒装基板的结构
    一种LED倒装基板的结构,其特征在于,包括:一基板,该基板向下有一凹槽;一绝缘层,其制作在基板上,该绝缘层并覆盖凹槽的表面;一反射金属层,其制作在绝缘层的表面,该反射金属层的中间有一道隔离槽,该隔离槽将反射金属层分成两部分;两块金属电极...
  • 声磁同测的分布式光纤传感系统
    本发明提供了一种声磁同测的分布式光纤传感系统,包括:声磁同测探头阵列,包括至少一个声磁同测探头,所述声磁同测探头包含传感光纤,用于获取外部声磁信号,产生拉伸,且引起其光折射率变化;分布式光纤传感解调仪,与所述声磁同测探头阵列连接,用于向...
  • 一种防止交叉污染的多试剂顺序进液装置
    本发明提供了一种防止交叉污染的多试剂顺序进液装置,包括壳体、多试剂顺序进液系统;所述多试剂顺序进液系统设于所述壳体内;所述多试剂顺序进液系统为多层结构,其至少包括管道连接层、试剂注入导流层、废液导流层、清洗液导流层和反应池连接层,所述管...
  • 完全植入式光学医疗器械
    本发明涉及一种完全植入式光学医疗器械,包括体外装置和体内装置,其中,体外装置用于向体内装置提供无线能量和电磁波控制信号;体内装置中,集成线圈用于接收体外装置提供的无线能量和控制信号,并发送数据采集信号;驱动电路用于将集成线圈接收到的能量...