本实用新型提供了一种用于维修抛光盘供给轴的装置，属于机械技术领域。它解决了现有技术存在着稳定差的问题。本用于维修抛光盘供给轴的装置包括机架和呈长轴状的轴体，所述轴体包括轴体一、轴体二和旋转接头，上述轴体一和轴体二均连接在机架上，上述轴体...

本实用新型提供了一种用于吸附抛光盘的上定盘，包括呈圆盘状的本体，所述本体侧面开有用于吊装的螺纹孔一，所述本体侧面开有用于固定径向定位块的螺纹孔二，本体中心开有通孔，以通孔为圆心从内到外依次环绕设置有第一凸起块群、第二凸起块群、第三凸起块...

本实用新型涉及硅片加工技术领域，公开了一种抛光头装置及抛光机。抛光头装置包括基座，基座的一侧可拆卸连接于外部动力件，基座内设置有气通道；转轴，其一端连接于基座的另一侧；抛光头组件，连接于转轴的另一端并能够随转轴一起转动，同时，抛光头组件...

本实用新型涉及硅片研磨清洗技术领域，公开了一种清洗装置，包括机架两个第一清洗机构和第二清洗机构，两个第一清洗机构间隔且滑动地设置于机架上，第一清洗机构相对于机架能够沿水平第一方向移动，第一清洗机构包括第一驱动组件和第一清洗头，第一驱动组...

本实用新型涉及硅片研磨定位技术领域，公开了一种定位装置，包括放置台、定位组件和驱动件：放置台用于承载硅片，放置台上设置有至少三个滑动槽，所有的滑动槽所在的直线交于一点；定位组件与滑动槽一一对应设置，且能够沿滑动槽的长度方向移动，定位组件...

本实用新型涉及抛光设备技术领域，尤其涉及一种转盘及抛光设备。该转盘包括转盘本体和加强筋组件，转盘本体上设置有定位销安装位和多组抛光头安装位，加强筋组件包括第一加强筋组件、第二加强筋组件和第三加强筋组件，第一加强筋组件围设在定位销安装位的...

本实用新型涉及抛光技术领域，公开一种抛光头驱动装置及抛光设备。抛光头驱动装置包括安装板、升降机构和动力机构。升降机构设置在安装板上，升降机构包括升降电机、丝杆、丝杆螺母和升降板，升降电机能够驱动丝杆转动以使丝杆螺母带动升降板升降。动力机...

本实用新型涉及抛光技术领域，公开一种抛光设备。所述抛光设备包括工作台、抛光盘、抛光盘清洗器、转盘、抛光头组件和传送机构。工作台上设置有一个上下料工位和多个相分隔的抛光工位。每个抛光工位均设置有一个抛光盘和一个抛光盘清洗器。转盘可转动地设...

本实用新型涉及抛光技术领域，尤其涉及一种抛光设备。该抛光设备，包括上下料工位、转接工位和抛光清洗工位，上下料工位上设置有上料盒和下料盒；转接工位上设置有第一机械手、定位机构和清洗干燥机构，第一机械手能够将上料盒内的硅片取出并转移至定位机...

本实用新型涉及抛光技术领域，公开了一种抛光设备，包括抛光工位和第一转接工位，抛光工位包括第一上下料区、第一抛光区、第二上下料区和第二抛光区，抛光工位上设置有转盘、抛光盘、抛光头和抛光盘清洗机构，两个抛光头分别设置在第一抛光区和第二抛光区...

本实用新型涉及硅片加工设备技术领域，尤其涉及一种抛光设备。本实用新型提供的抛光设备，包括工作台、抛光盘模组和抛光头模组，抛光头模组包括抛光头和抛光头驱动装置，在工作台上依次设置上下料工位、粗抛工位、中抛工位和精抛工位，并在粗抛工位、中抛...

本实用新型涉及抛光技术领域，公开一种抛光设备。所述抛光设备包括安装台、传送机构和抛光机构。安装台上沿第一水平方向排列设置有多个独立的抛光区。传送机构沿第一水平方向可移动地设置在安装台上，以传送晶圆。每个抛光区内均设置有抛光机构，抛光机构...

本实用新型提供了一种用于硅片上料传送的装置，包括机架、直线模组、拖链、连板组件、底板，底板上分别设置有两组治具，治具包括气缸、法兰、定位销、限位销、工作台组件，所述气缸和定位销均竖直固定在底板上，若干根定位销周向均布在气缸周围，所述法兰...

本实用新型提供了一种硅片的清洗甩干装置，属于机械技术领域。它解决了现有技术存在着稳定性差的问题。本硅片的清洗甩干装置包括机架，还包括旋转轴、罩筒、喷气管和喷水管，上述旋转轴竖直设置且旋转轴下端轴向固连在机架上，所述旋转轴上端具有用于定位...

本发明提供了一种用于卸载和传送硅片的装置，包括电机、支撑架、回转轴、套管、上封盖、下封盖和回转基座，回转基座上设有两组治具，电机固定在支撑架上，下封盖卡嵌在卡孔内，套管下端与下封盖嵌套连接，套管上端与上封盖嵌套连接，回转轴穿设在套筒内，...

本发明提供了一种用于硅片上料传送的装置，包括机架、直线模组、拖链、连板组件、底板，底板上分别设置有两组治具，治具包括气缸、法兰、定位销、限位销、工作台组件，所述气缸和定位销均竖直固定在底板上，若干根定位销周向均布在气缸周围，所述法兰上开...

本发明涉及抛光技术领域，公开一种抛光头驱动装置及抛光设备。抛光头驱动装置包括安装板、升降机构和动力机构。升降机构设置在安装板上，升降机构包括升降电机、丝杆、丝杆螺母和升降板，升降电机能够驱动丝杆转动以使丝杆螺母带动升降板升降。动力机构设...

本发明为一种抛光头清洗装置，包括，基板，能固定连接于机体上；毛刷结构，包括基板上方能拆卸地设置的第一毛刷部和第二毛刷部，第一毛刷部和第二毛刷部能升降且能旋转，第一毛刷部用于刷洗抛光头的侧面，第二毛刷部用于刷洗抛光头的加工端面；旋转驱动结...

本发明提供了一种抛光转盘驱动装置，其包括驱动机构、转盘和机架，其中，驱动机构包括主轴和与主轴的下端相接的驱动电机，驱动电机能驱动主轴转动；转盘连接于主轴的上端并能与主轴同步转动，转盘的底面沿周向连接有至少四个间隔设置的滑块；机架上连接有...

本发明为一种抛光垫清洗装置，包括毛刷结构，毛刷结构包括能周向旋转的盘面毛刷，盘面毛刷用于抵靠接触且旋转清洁抛光垫；盘面毛刷安装于毛刷臂上，毛刷臂的一端连接升降部上，升降部上设置能驱动毛刷臂在水平方向上摆动和能驱动盘面毛刷周向旋转的旋转驱...