本技术公开了一种晶圆载具POD兼容不同平台，包括装置本体，所述装置本体包括英寸底盖组合、英寸晶圆片、6英寸花篮载具，所述6英寸花篮载具安装在英寸底盖组合顶部，所述6英寸晶圆片固定在6英寸花篮载具内部；所述英寸底盖组合呈方形结构，所述英寸...

一种全自动晶圆盒开盒及抓取设备包括安装架，检测仓，料口，检测工作台机构，传输机构。所述传输机构包括传输升降组件，转动臂组件，以及夹持组件。所述夹持组件包括夹持支架，夹持装置，以及转动驱动装置。所述夹持支架包括支架主体，转动支架，安装板。...

一种无接触晶圆盒开盒设备包括保护壳，工作台，出料口，滑动槽，放置机构，以及取料机构。所述取料机构包括取料平移组件，以及取料夹持组件。所述取料平移组件包括取料驱动装置，以及安装架。所述取料夹持组件包括安装板，夹持定位装置，旋转锁紧装置，以...

本实用新型公开了一种晶圆载具

本实用新型公开了一种晶圆载具

本发明属于旋转平台技术领域，具体为一种大型旋转平台，包括：下框架，所述下框架包括四根立柱和设置在四根立柱顶部的支撑台，四根所述立柱的底部设置有底板；设置在下框架上表面的旋转平台一和旋转平台二，所述旋转平台二位于旋转平台一的内侧，且旋转平...

本发明属于支撑底座技术领域，具体为一种可以双向调节底座，包括：上部基板和设置在上部基板下侧的上下调整板；其中，所述上部基板的一侧两个边角处下凹形成下凹安装位，所述下凹安装位内安装有重复定位块，所述重复定位块的上表面高度高于上部基板的上表...

本发明属于物品存储技术领域，具体为一种基于旋转平台的方格仓储结构，包括：外部框架，所述外部框架包括四根矩阵设置的立柱和设置在四根立柱顶端之间的顶架；悬吊在顶架下侧的外存放架和内存放架，所述外存放架包围在内存放架的外侧，且外存放架和内存放...

本实用新型公开了一种机械夹爪结构，包括夹臂以及与夹臂活动连接的夹爪，夹臂包括依次固定连接的左固定板、上固定板和右固定板，左固定板的内部设有驱动机构，驱动机构包括过渡轮、夹连杆和旋转柄，夹爪包括夹持机构、装夹固定板以及固定连接在装夹固定板...

本实用新型公开了一种运用于晶圆载具FOUP门底座,包括晶圆和门底座，所述门底座的一侧中部设置有安装槽，所述安装槽的中部设置有槽板，所述安装槽内设置有缓冲器，所述缓冲器内两侧等间距安装有若干舌片，所述舌片在靠近槽板的一侧上设置有舌片槽。本...

本实用新型公开了一种晶圆载具FOUP缓冲器，包括缓冲器、门板、箱体和晶圆，所述门板通过箱体卡接方式安装在箱体的前端，所述缓冲器安装在门板后端，所述晶圆安装在箱体内部；所述缓冲器包括外部框架和安装板，所述外部框架呈矩形状结构，所述安装板安...

本实用新型公开了一种晶圆载具FOUP把手，包括把手、FOUP箱体、帽扣、顶部销钉、天车盘、底部销钉和输送盘，所述把手设有一组，一组所述把手呈对称方式安装在FOUP箱体左右两侧，所述天车盘安装在FOUP箱体顶部，所述输送盘安装在FOUP箱...

本实用新型公开了一种晶圆载具FOUP门板防摩擦结构，包括：FOUP箱体，所述FOUP箱体的开口处设置有门板且门板与FOUP箱体之间相互嵌合，所述门板的内部设置有导向角零件且导向角零件包括安装板，所述安装板的侧面设置有零件卡扣且两头设置有...